【課題】粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有する真空ポンプ段を提供する。
【解決手段】粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有する真空ポンプ段を提供するために、ロータ部分が構造要素（１１４、１１６）を有し、これらの構造要素により、分子流れ範囲内においてはゲーデ（Ｇａｅｄｅ）に基づくポンプ作用が発生され、およびより高い圧力範囲内においてはサイド・チャネル原理に基づくポンプ作用が発生されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】サイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する真空ポンプを提供する
【解決手段】ガス入口、ガス出口およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプであって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部を設けた回転運動させられる羽根車を含み、前記羽根車は第１の部分羽根６２１および第２の部分羽根６２２を設けた羽根６０２を有し、前記羽根は羽根車の外周部に配置されている。改善された真空特性値および同時に簡単に製造可能なポンプ能動部品の形状を達成させるために、少なくとも１つの部分羽根６２１、６２２と羽根の運動方向６０７との間の角度６１５が９０°より小さい値であることが提案される。 （もっと読む）

【課題】サイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と、同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する、真空ポンプを提供する。
【解決手段】ガス入口、ガス出口およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプであって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部と少なくとも１つの羽根４０２を設けた回転運動させられる羽根車を含み、この場合、前記羽根は、運動方向４０７において後方に位置する、外側角部４０８を設けた後部４０５を有する。簡単な製造可能性において真空特性値を改善するために、前記羽根が前記後部の前記外側角部に面取り部４０６を有する。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプと同等の真空性能の磁気軸受式大気圧動作型真空ポンプが実現でき、磁気軸受の特徴である清浄（潤滑オイル必要なし）、超低振動（ロータとステータが無接触）、高信頼性（腐食性ガスに強い）等の利点を有する上に、１台のポンプで真空チャンバーを高真空に排気できる。
【解決手段】二つの回転翼間の結合方式を、片方の永久磁石による磁束と他方の導電体に発生する渦電流による結合方式とし、結合トルクが発生するために、常に分子流領域で動作する回転翼のほうが低い回転数であることを前提とした翼設計とする。少なくとも高真空側にある分子流領域で動作する回転翼は磁気軸受で支持し、例えば、高温超伝導磁気軸受を採用する。 （もっと読む）

本発明は半導体処理に使用するためのポンプ装置に関する。装置はほぼ分子圧からほぼ大気圧へ物質流れを移行させるように形状づけられた単一のポンプを有することができる。 （もっと読む）

【課題】粗引き用のサブポンプ等を用いず、高真空用ロータを高速回転させることができる真空ポンプを提供する。
【解決手段】第１の回転ポンプ部３、４は第２の回転ポンプ部２に比し高い圧力領域で回転し排気動作を行なうための低真空用ロータ３０１、４０１を備え、第２の回転ポンプ部２は、第１の回転ポンプ部３、４に比し低い圧力領域で回転し排気動作を行なうための高真空用ロータ２０１を備え、駆動モータ７は低真空用ロータ３０１、４０１を回転駆動し、上記マグネットカップリング９は、低真空用ロータ３０１、４０１と高真空用ロータ２０１とをその回転方向に磁気的に結合する手段として、同極どうしが互いに向かい合うように配置した駆動側磁石体９−１と被駆動側磁石体９−２を備えてなるとともに、その駆動側磁石体９−１が低真空用ロータ３０１、４０１に取り付けられ、被駆動側磁石体９−２が高真空用ロータ２０１に取り付けられるものとする。 （もっと読む）

【課題】平坦なポンピング面を備えた回転ディスクまたは回転円筒状ドラムを有する分子引きずりステージを含まない真空ポンプを提供する。
【解決手段】ハイブリッドターボ分子真空ポンプは、取入口と排出口とを有するハウジングと、前記ハウジング内部に設けられかつ傾斜ブレードを有する固定子と傾斜ブレードを有するインペラとを各々が含む１つ以上の軸方向フローステージと、軸方向フローステージではなくてかつハウジング内に設けられているとともに固定子とインペラとを含む少なくとも１つの追加真空ポンピングステージと、前記取入口から前記排出口へ気体をポンピングするように前記インペラを回転させる原動機とを含む。追加真空ポンピングステージは、インペラが粗いまたは溝付きのポンピング面を有するディスクを含む改良型分子引きずりステージ、および／または再生ステージであってもよい。 （もっと読む）

【課題】小型で、圧縮比が高い真空ポンプを提供する。
【解決手段】遠心流ポンプ部４を備える真空ポンプにおいて、遠心流ポンプ部４は、遠心流ポンプロータ４０１の回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプａ〜ｄを多段に配置し、外側の遠心流ポンプｄから内側の遠心流ポンプａの方向に排気を行なう構造とし、また、少なくとも最内側の遠心流ポンプａのシール面に、遠心流ポンプロータ４０１の回転により差圧を生じさせるリード溝が設けられるものとする。 （もっと読む）

【課題】逆行漏洩が低レベルである、改良された分子ドラッグ真空ポンプを提供する。
【解決手段】分子ドラッグコンプレッサ２２は、軸の周りに回転するように駆動シャフト３４、１０６に連結されたロータディスク３０、１００と、ロータディスクの周囲に配置されて、接線流チャネル１１０、１１２と、接線流チャネルへの入口１１５と接線流チャネルからの出口１２０とを規定しているステータ３２、１０２、１０４と、出口に近い接線流チャネル内に設けられた固定バッフル１１４とを含む。バッフル１１４とロータディスク３０、１００との間には空隙が形成されている。ロータディスクに面したバッフルの表面には、バッフル１１４とロータディスク３０、１００との間の空隙を通るガス乱流を生じさせ、それによって漏洩を低減するように構成されたキャビティ３３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低消費動力、小型でありながら短時間に高真空が得られる大気圧排気の真空ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部２、再生ポンプ部４、ネジ溝ポンプ部３の順に配設され、これらのポンプ部の各ロータ５、２０１、４０１、３０１は第１の駆動モータ６の出力軸６Ａに直結されて回転駆動され、円周流ポンプ部９のロータ９０３は第２の駆動モータ１０の出力軸１０Ａに直結されて回転駆動される。排気経路は、真空チャンバから真空ポンプのターボ分子ポンプ部２、ネジ溝ポンプ部３、再生ポンプ部４、円周流ポンプ部９の順の経路で大気へと排気されるようになっている。排気を始めるときは、先ず、第２の駆動モータ１０を駆動して円周流ポンプ部９を運転し、ターボ分子ポンプ部〜再生ポンプ部の気圧を低真空状態にする。この状態で、第１の駆動モータ６を起動してターボ分子ポンプ部〜再生ポンプ部の運転を開始する。分子ポンプ部〜再生ポンプ部は大気圧よりもはるかに気圧が低下しているから、抵抗が少なくて消費動力が少なく、第１の駆動モータは小型のものが使用でき、その発熱も少ない。 （もっと読む）

真空ポンプ排出装置は、直列に連結されたターボ分子ポンプ排出機構と分子ドラグポンプ排出機構を有する。分子ドラグポンプ排出機構のロータは、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根によって支持されている。
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再生ポンプ機構は、一方の側に環状列に位置決めされた一連のブレードを有するロータと、ブレードが回転する環状チャンネルを有するステータと、を含む。ロータとステータの間の軸方向クリアランスを制御するために、アキシャル磁気軸受がロータとステータの間の相対的な軸方向移動を積極的に制御する。これは、ポンプ機構に、ラジアルシールとは全く異なって、ロータとステータの間の制御可能なアキシャルシールを提供することができる。
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差圧ポンプ型質量分光計システムは、複数の圧力チャンバを有する質量分光計と、質量分光計に取付けられかつ少なくとも３つのポンプ入口を有する真空ポンプと、第一ポンピングセクションと、第一ポンピングセクションから下流側の第二ポンピングセクションと、第二ポンピングセクションから下流側の第三ポンピングセクションとを備え、比較的低圧の第一チャンバからの出口が第一ポンプ入口に連結されており、第一ポンプ入口を通って流体が第一チャンバからポンプに流入しかつ第一ポンピングセクション、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションだけを通ってポンプ出口へと流れることができる。分光計の第二中間圧力チャンバが第二ポンプ入口に連結され、第二ポンプ入口を通って流体がポンプに流入できる。分光計の第三の最高圧力チャンバの出口が第三ポンプ入口に連結され、第三ポンプ入口を通って流体がポンプに流入することができ、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションを通過する。第三ポンピングセクションの少なくとも一部だけがポンプ出口に向っている。バッキングポンプは、使用時に、分光計からポンピングされる流体質量の少なくとも９９％が、真空ポンプおよびバッキングポンプの両方を通って流れるようにポンプ出口に連結されている。
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真空ポンプは、分子ドラッグ排気機構と、再生排気機構と、を含む。分子ドラッグ排気機構のロータ要素は、再生排気機構のロータ要素を取り囲む。
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