【課題】耐久性を確保しつつ、軽い操作力での開閉を可能にすることができる回転ユニットを提供すること。
【解決手段】回転ユニット１０に、鉛直方向に延在する軸部１２を有する軸側部材１１と、軸部１２が入り込む中空部２３を有すると共に、中空部２３に軸部１２が入り込んだ状態で相対回転可能に軸部１２を支持する支持側部材２１と、軸側部材１１における鉛直方向で支持側部材２１に対向する面に配設される軸側磁石１６と、対向面同士の極性が同じ極性で軸側磁石１６に対向するように支持側部材２１に配設される支持側磁石２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】エアの消費が抑制されるとともに、供給されるエアの圧力が低下してもエアスピンドルユニットにカジリ現象が生じないエアスピンドルユニットを提供する。
【解決手段】スラストエアベアリング４２とラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂを画成するスピンドルハウジング３８と、スピンドル２６に連結されてスピンドル２６を回転するモータ４４と、を備えたエアスピンドルユニット３６であって、スラストエアベアリング４２及び第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂに高圧エアを分配するエア分配弁５６を具備している。エア分配弁５６は、エア供給源５８から供給されるエア圧が所定圧以上の場合は、第２のラジアルエアベアリング４０ｂのみにエアを供給し、供給されるエア圧が該所定圧未満の場合は、第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂにエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】主軸装置と工作物とを相対移動させて工作物を加工する工作機械における、衝突時の損傷防止機能を提供する。
【解決手段】主軸２を保持する軸受け４を外輪ケース５により保持し、外輪ケース５は、衝突時の軸方向負荷が所定の値を超えたに場合に、転がり軸受け４主軸２と共に後方へ移動する。衝突検知センサ３により衝突を検知すると、所定時間内に主軸送りモータを停止させる。外輪ケース５の後退ストロークは、衝突開始から主軸送りモータが停止までに要する時間より衝突時の外輪ケース５の後退時間が長くなるように、設定されている。このことにより、主軸２と工作物１１の衝突時に所定の値以上の力が転がり軸受け４に負荷されないので転がり軸受け４を損傷することなく工作機械を停止できる。 （もっと読む）

【課題】制御手段が停止した場合のテーブルの惰性進行をバネの反力により抑制し、テーブルに過度の負荷が発生したエマージェンシーにおいてのみ静圧軸受けを接地させる２段構えのフェールセーフ機構を実現できるようにする。
【解決手段】本体ベース１と、本体ベース１上で静圧軸受け３，４により空気浮上され、リニアモータによりＹ方向に移動し、保持した基盤等を所定の位置まで搬送する位置決めテーブル機構５を備えた基盤搬送装置において、本体ベース１上に設置され、伸縮動作により突出し、テーブル機構５と接触してＹ方向への進行を抑制するよう構成されたリーフスプリング１０と、リーフスプリング１０が一定量以上変位したときに押下されるリミットスイッチ１１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 タッチダウン軸受の耐久性が低下するのを抑制することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 回転体Ａの重心Ｇ位置付近を接触支持するタッチダウン軸受１０の外輪１５を調心輪１８の内周に取り付ける。調心輪１８の外周には重心Ｇ位置と同心に凸状球面１８ａを形成し、この凸状球面１８ａを球面座１９の内周面に形成した凹状球面１９ｂに対して摺動可能に当接させる。磁気軸受８，９の制御不能により回転体Ａの回転軸３が重心Ｇ位置を中心として歳差運動するときに、調心輪１８を傾動させてタッチダウン軸受１０を回転軸３に追従させて傾動させる。 （もっと読む）

【課題】スピンドル回転数の回転数の標準域（10000rpm〜60000rpm）と共に、高速域（例えば70000rpm〜100000rpm）においてもスピンドルの上下運動を抑制し、スピンドルのカジリ現象を防止することができるスピンドルアセンブリを提供する。
【解決手段】スピンドル（４８）を低速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の軸心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmで下方に偏心するように圧縮エアが供給され、スピンドル（４８）を所定の回転数を越える高速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の中心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmよりも大きい偏心量Ｙμmで下方に偏心するように、スピンドルアセンブリの複数のエア噴射領域から圧縮エアが噴出される。 （もっと読む）

【課題】空転停止性能に優れたタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】磁気軸受とともに用いられる、内輪６１と、外輪６２と、内輪６１及び外輪６２の間で転動可能に配置された転動体６３とを有する転がり軸受のタッチダウン軸受であって、内輪６１及び外輪６２のそれぞれの対向面の一方に半硬質磁性材料からなる半硬質磁性部材６４が設けられている。円環状をなす一以上の磁石部材６５が、半硬質磁性部材６４に対向するように内輪６１又は外輪６２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転周波数と異なる外力が作用する場合でも、その外力の周波数を危険速度を通過させることができる磁気軸受制御装置と方法を提供する。
【解決手段】ロータ１１の変位ｘ，ｙに基づきロータを中立位置に保持するフィードバック制御器２２と、ロータの回転周波数に同期する同期周波数ω_Ｎに基づきこれに一致する不釣合い力を相殺する同期フィードフォワード制御器２４と、ロータの回転周波数に同期しない回転非同期周波数ω_Ｆに基づきこれに一致する不釣合い力を相殺する１又は複数の回転非同期フィードフォワード制御器２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸のための磁気ベアリングを備えた蒸気タービンにおいて、磁気ベアリングの過熱、ひいては積層体の破損を避ける。
【解決手段】磁気ベアリングの領域に、軸の軸線方向に延びる冷却空気用の冷却空気通路を設けてあり、該冷却空気通路は、磁気ベアリングの、積層体に向けられた側で、半径方向に延びる冷却空気供給部を含む冷却空気供給装置と接続されていて、支承ケーシング内の軸端部の自由な端部に通じている。 （もっと読む）

【課題】最小の動力を消費し、機械の運転効率を増加し、軸受の寸法を最小にし、運転寿命を伸ばするために、機械スラスト軸受上の荷重を減少する制御された電磁力を有すること。
【解決手段】軸受システムの磁気スラスト補償装置は、平行な第１のステータ延長部７２、７４と、該第１のステータ延長部７２、７４の間で前記軸に設けられた第１のローターディスク６８と、磁気材料ステータ延長部５８とを備え、第１のローターディスク６８と第１のステータ延長部７２、７４との間の最大距離がスプリングの最大ゆがみ距離よりも小さく、第１のステータ延長部７２、７４の一方にそれぞれ設けられた第１及び第２電磁石７８、７９と、第１及び第２電磁石７８、７９に流れる電流を制御する制御装置３０と、磁気材料ステータ延長部５８は、機械スラスト軸受の最大過渡荷重定格を越えないことを補償するに十分な大きさの一定のバイアス力を生じる永久磁石６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 可動部が基台に接触した際にこの接触を確実に検知することのできる気体軸受けの接触検知機構を提供することである。
【解決手段】 基台に対して可動部を絶縁状態で支持する気体軸受けの接触検知機構であって、該基台に一端が接続された抵抗値Ｒ１を有する第１抵抗体と、一端が電源に接続され他端が該第１抵抗体の他端に接続された抵抗値Ｒ２を有する第２抵抗体と、一端が該第１及び第２抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値Ｒ３を有する第３抵抗体と、該第３抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する電位差検出手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第１部材の第１面に形成された第１凹部と、第１凹部の内側に形成された第２凹部と、第２凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 （もっと読む）

【課題】地震等の外乱発生時にロータの振動減衰を効果的に行うことができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】制御手段２０に、該ロータ変位検出手段１３で検出されたロータ１１の変位量と目標値との偏差に基づき、偏差に比例した動作を演算する比例要素、偏差の時間積分に比例した動作を演算する積分要素、偏差の時間的変化に比例した動作を演算する微分要素を求め、これら要素と予め設定しておいたプロセス式とから、磁気軸受部１２の電磁石に供給する励磁電流値を演算するＰＩＤ調節計２２を設け、このＰＩＤ調節計２２にて、地震が発生した場合に、積分要素の演算処理で設定される積分ゲインを通常値より低い値に変更する。 （もっと読む）

【課題】回転翼と固定翼の隙間を小さくして排気性能を向上させることができ、回転軸の温度及び熱膨張量を正確に推定することを可能にし、また回転翼と固定翼とが接触する前に警報を発する、あるいは運転を停止させることができるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転軸５４を磁気浮上させる少なくとも一対のアキシャル磁気軸受５９，と、回転軸に取付けられた回転翼５２と、回転翼と対向するように配置された固定翼５３と、回転軸を回転駆動するモータ５５とを備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸の一方の端部近傍に回転翼と固定翼とを配置することにより排気部９０を構成するとともに、回転軸の軸方向の位置を検出する第１のアキシャル変位センサ５９とアキシャル磁気軸受５８とを回転軸の他方の端部近傍に配置することにより運動制御部９１を構成し、排気部の近傍に回転軸の軸方向位置を検出する第２のアキシャル変位センサ６０を配置した。 （もっと読む）

【課題】移動部材と支持体との間が所定のクリアランスに保たれたスライド式半浮上案内装置を提供する。
【解決手段】スライド式半浮上案内装置は、移動部材１を案内する案内部２１が支持体２の移動方向に延在して形成され、移動部材１と案内部２１の上面２１ａとの間にノズルを介して潤滑油が供給されて、移動部材１が案内部２１に対して半浮上した状態で支持される。また、案内部２１には、下方に面した裏案内面２１ｂが摺動方向に延在して形成され、移動部材１に固定された裏板１２の対向面１２ａには、潤滑油供給装置から潤滑油がノズル６１を介して夫々供給される静圧ポケット１５が摺動方向に少なくとも３個並設され、少なくとも３個の静圧ポケット１５のうち、摺動方向の両端部に位置する静圧ポケット１５に発生する支持力が、他の静圧ポケット１５に発生する支持力よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】攪拌機の軸受として磁気軸受を適用することにより、軸受の無摺動化を図り、その結果として、軸受部における異物の発生を防止した、無摺動攪拌槽を提供する。
【解決手段】タンク１の上面壁を貫通して下方に延びる攪拌軸２ｂの上端に接続された受動軸２ａはタンク１の上壁に軸受部を介して回転自在に支持される。軸受部は、環状、円筒状の永久磁石３１，３２，４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂにより一体的に構成された、ラジアル磁気軸受３０およびスラスト磁気軸受４１を含む。これらの永久磁石は、回転翼に働く水平反力に抗して、相互に非接触を維持するように、その磁気特性、着磁状態、配置構成が定められている。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で負荷容量を大きくして、フォイル軸受の摩耗を抑制することができる軸受装置、およびこれを備えた遠心圧縮機を提供する。
【解決手段】軸受装置１は、フランジ部１１ａを備えたロータ１０と、ロータ１０とラジアル方向Ｒにおいて対向して配設されて、ロータ１０をラジアル方向Ｒに支持するフォイル軸受３０ａと、フランジ部１１ａとアキシアル方向Ａにおいて対向して配設されて、ロータ１０をアキシアル方向Ａに支持する磁気軸受４０ａとを備える。ロータ１０が回転することによって、ロータ１０とフォイル軸受３０ａの間に空間部Ｄが形成される。フランジ部１１ａには、ロータ１０が回転することによって空間部Ｄへ気体を圧送する送風部１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でフォイル軸受の摩耗を抑制することができる軸受装置およびこれを備えた遠心圧縮機を提供する。
【解決手段】軸受装置は、フランジ部を備えたロータと、ロータをラジアル方向に支持するフォイル軸受と、電磁石によりロータをアキシアル方向に支持する磁気軸受と、電磁石に供給される電流を制御する制御部を備える。制御部は、電磁石によりフランジ部を吸引することにより、ロータをアキシアル方向に支持するための第１の電流を、電磁石に供給するように制御する。そして、制御部は、ロータの回転数が、第１の電流を電磁石に供給してフォイル軸受からロータが浮上する場合の回転数（Ｒ１）よりも少ない場合は、第１の電流よりも大きい第２の電流を、電磁石に供給するように制御する。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受されたロータを有する電気機器のエラーまたは汚染、とりわけオープンエンド紡績機の紡績カップを回転するための電気機器のエラーまたは汚染を始動時にすでに識別し、磁気軸受の動作確実性を向上すること。
【解決手段】位置を軸方向制御するためのアクチュエータ系が第１の軸方向最終位置からの浮上を引き起こすように、該アクチュエータ系を駆動制御し、該第１の軸方向最終位置からの浮上時の可変のシステム量と基準値とを比較し、ロータを第２の軸方向最終位置へ運動させ、該位置を軸方向制御するためのアクチュエータ系が該第２の軸方向最終位置からの浮上を引き起こすように、該アクチュエータ系を駆動制御し、該第２の軸方向最終位置からの浮上時の可変のシステム量と基準値とを比較し、該可変のシステム量と該基準値との偏差が検出された場合、エラー信号を生成する。 （もっと読む）