【課題】ロータの機器浮上時において、補助軸受に支えられた状態から基準位置までロータを段階的に浮上させるようにして、ロータの急激な浮上を防止した磁気軸受制御システムおよび磁気軸受制御方法を提供する。
【解決手段】ロータの上下に配置され通電によりロータを基準位置に磁気的に浮上させるコイルと、ロータの上下に配置されロータ位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器からの信号に基いて前記各コイルに電流指令を与えるサーボ制御器を備え、前記位置検出器からのロータ位置のフィードバックにより前記コイルへの通電を制御する磁気軸受制御システムにおいて、ロータの上下に配置されロータの磁気浮上前にロータを支える補助軸受と、ロータの磁気浮上時に、前記補助軸受の間でロータを上記基準位置まで段階的に浮上させるように前記サーボ制御器を制御する制御部を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明はモータに関する。
【解決手段】本発明の一実施例によるモータは、第１マグネットが提供される回転部材と、上記回転部材を支持し、上記第１マグネットと磁気ベアリング部を構成する第２マグネットが提供される固定部材とを含み、上記第１マグネットと上記第２マグネット間のギャップは上記回転部材と上記固定部材の間に形成される接触防止ギャップ及びシャフトと上記シャフトを支持するスリーブ間の間隙のうち少なくとも１つより大きく形成されることができる。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】油分を許容しない真空環境下で使用される軸受において、高回転数で使用できかつ長寿命な軸受の提供を目的とする。
【解決手段】内輪２および外輪３と、この内輪２および外輪３間に介在する複数の転動体４と、該複数の転動体４と摺接し保持する保持器５とを備えた転がり軸受１であって、上記保持器５が、金属材料または耐熱性樹脂材料からなり、上記保持器５表面の少なくとも一箇所以上の面に、二硫化タングステン粉末を含有する被膜を形成してなり、該被膜中に占める二硫化タングステン粉末の配合割合が 80 体積％〜95 体積％である。 （もっと読む）

電磁軸受を利用したターボ機械の予備機械軸受のクリアランスおよび摩耗を決定する装置および方法である。シャットダウン中、または電源喪失中の破局的な障害の可能性を低下させるために、回転装置は、電磁軸受を利用してシャフトを操作して、予備機械軸受のクリアランスを測定する。電力が回復したときに、プログラム可能制御装置が、電磁軸受に電力を供給して、所定のシーケンスに従ってシャフトを自動的に移動させ、予備機械軸受と接触させて、予備機械軸受のクリアランスを決定する。これらの値は、制御装置のメモリに記憶される。測定したクリアランスを、以前に測定した予備機械軸受のクリアランスの測定値と比較して、予備軸受の摩耗を決定する。実際の摩耗を、軸受の許容可能な摩耗と比較する。実際の摩耗が所定値を超える場合には、警告を生成する。実際の摩耗が許容可能な摩耗と等しい、またはこれを超える場合には、制御装置は、修理または交換が行われるまで、自動的にターボ機械をロックして、それ以上の動作を妨げる。そうでない場合には、制御装置は、シャフトを心出しして、ターボ機械が通常動作できるようにする。
（もっと読む）

【課題】従来よりもコストを抑えながら回転体の接触面の摩耗の増大を抑えるとともに、保護軸受の寿命を延ばすことが可能な磁気軸受装置、およびそれを備える真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の磁気軸受装置は、回転体１０と、回転体１０の周囲に設けられ、回転体１０を回転自在に非接触で支持する磁気軸受（３０、４０、５０）と、回転体１０の周囲に設けられ、磁気軸受（３０、４０、５０）が回転体１０を支持しないときに回転体１０を支持する保護軸受（２１、２２）と、回転体１０と対向する保護軸受（２１、２２）の内輪側に設けられ、回転体１０の軸方向に伸びる溝が回転体１０との対向面に形成された保護部材（７１、７２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 タッチダウン軸受の耐久性が低下するのを抑制することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 回転体Ａの重心Ｇ位置付近を接触支持するタッチダウン軸受１０の外輪１５を調心輪１８の内周に取り付ける。調心輪１８の外周には重心Ｇ位置と同心に凸状球面１８ａを形成し、この凸状球面１８ａを球面座１９の内周面に形成した凹状球面１９ｂに対して摺動可能に当接させる。磁気軸受８，９の制御不能により回転体Ａの回転軸３が重心Ｇ位置を中心として歳差運動するときに、調心輪１８を傾動させてタッチダウン軸受１０を回転軸３に追従させて傾動させる。 （もっと読む）

【課題】永久磁石を用いた受動型磁気軸受は、大型支持体を低価格で安定に回転させることが困難である。一方、水蒸気の排気速度を増大させるためにクライオトラップを付加すると同時に高温超伝導磁気軸受を利用するのは、高温超伝導体のコストと冷凍機の冷凍能力が過大となるため、システム全体でかえって高価格となる。
【解決手段】小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの前段に、クライオトラップと高温超伝導磁気軸受で支持された中型高真空ブースターポンプを配置する。中型高真空ブースターポンプを非接触電磁誘導結合機により、後段の小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプと結合させ、小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの回転トルクで中型高真空ブースターポンプを回転させ、中型相当のターボ分子ポンプの排気速度を実現し、しかもクライオトラップで水蒸気の排気速度はクライオポンプ相当である真空ポンプシステムを実現する。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプと同等の真空性能の磁気軸受式大気圧動作型真空ポンプが実現でき、磁気軸受の特徴である清浄（潤滑オイル必要なし）、超低振動（ロータとステータが無接触）、高信頼性（腐食性ガスに強い）等の利点を有する上に、１台のポンプで真空チャンバーを高真空に排気できる。
【解決手段】二つの回転翼間の結合方式を、片方の永久磁石による磁束と他方の導電体に発生する渦電流による結合方式とし、結合トルクが発生するために、常に分子流領域で動作する回転翼のほうが低い回転数であることを前提とした翼設計とする。少なくとも高真空側にある分子流領域で動作する回転翼は磁気軸受で支持し、例えば、高温超伝導磁気軸受を採用する。 （もっと読む）

【課題】空転停止性能に優れたタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】内輪６１と、外輪６２と、内輪６１及び外輪６２の間で転動可能に配置された転動体とを有するタッチダウン軸受であって、少なくとも１個の転動体６３ｂの比重又は径を、他の転動体６３ａの比重又は径と異なるようにする。このように構成することにより、タッチダウン軸受が空転し始まる際、重量または径の異なる転動体が、慣性の違いから隣接する転動体に追いつくか、遅れるかして接触し、そのまま摺勤し続ける。この接触により、タッチダウン軸受の回転エネルギーを減少させ、タッチダウン軸受を早く停止させることができる。 （もっと読む）

【課題】タッチダウン時において、転がり軸受が片当たりを繰り返すことを抑制できて転がり軸受が破損することを抑制できると共に、軌道輪の軌道面および転動体に焼付きが発生しにくい転がり軸受装置を提供すること。
【解決手段】ハウジング部材２の内周面に総玉軸受７０を締まり嵌めにより内嵌して固定する。総玉軸受７０の内輪３２の内周面に、形状記憶合金製で周方向に波打つ環状の変形部材５２の外周面を固定する。変形部材５２の内周面に金属製の円筒部材５４の外周面を固定する。 （もっと読む）

【課題】ロータの停止時に自動的にシャフトを保持する保持機能と、回転運動時に振れ回りなど何らかの異常により生じるステータとロータの接触などによる損傷を防ぐタッチダウン機能とを有する軸保持機構を備える回転機を提供する。
【解決手段】回転機の外殻をなすフレーム１３と、該フレーム１３の内面に設置されるステータ１４と、該ステータ１４の径方向の内側で回転可能に設置されるロータ１１と、該ロータ１１の回転中心に設置されるシャフト１０とを備え、前記ロータ１１の回転時に磁気軸受けにより前記シャフト１０及び前記ロータ１１を磁気浮上させて回転させる回転機において、前記ロータ１１の回転時には前記シャフト１０を保持する保持部材を開放して前記シャフト１０及び前記ロータ１１を磁気浮上させ、前記ロータ１１の停止時には前記保持部材により前記シャフト１０を保持する軸保持機構を備えた。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受を有する回転機械のための、運転の安全性を持った非常用転がり軸受を提供する。
【解決手段】非常用転がり軸受は、軸受部材１００Ａ，１００Ｂとロータ１０６との間に配置されているラジアル隙間１０４を持つ第１と第２の軸受部材１００Ａ，１００Ｂを有し、アキシアル隙間１０５はアキシアル隣接部材１０７，１０８と軸受部材１００Ａ，１００Ｂの両側に設けられている。第１と第２の軸受部材１００Ａ、１００Ｂは、第１と第２の中間支持部材１０９Ａ、１０９Ｂ内に直接取り付けられている。中間支持部材１０９Ａ，１０９Ｂは、軸方向に作動して中間支持部材１０９Ａ，１０９Ｂと軸受部材１００Ａ，１００Ｂとが膨張するまたは軸方向に離れるのを可能にする弾性プレストレスト部材１１２によって一体化されている。ラジアル方向に作動するダンパー手段１１３は、中間支持部材１０９Ａ，１０９Ｂとステーター部材１１０との間に挿入される。 （もっと読む）

【課題】電流制御不要で、被回転駆動部スラスト荷重と吊り合う力を作用させてスラスト方向の軸受けを行うことができる軸受装置及びそれを用いたポンプの提供。
【解決手段】軸受装置は、軸５０と軸に挿通される円筒部材６０と、これらの一方が固定されたガイド部材で、軸と円筒部材の他方を含んで被回転駆動部６０，８０，９２を形成し、これらを駆動する回転駆動部９４と、回転時に軸と円筒部材との隙間に気体圧を発生させて軸と円筒部材とをラジアル方向にて非接触支持するラジアル軸受１００Ａ，１００Ｂと、軸と円筒部材の一方でスラスト方向に間隔を置いてＮ，Ｓ異極同士が隣り合う複数の永久磁石リングを含む第１部材１１３と、第１部材に対向した磁性の第２部材１１８を含み、スラスト方向にフリーの被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向荷重と吊り合ったスラスト方向の所定位置に維持する少なくとも一つのスラスト軸受１１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 ラジアル電磁石の制御のための補正が不要で、ジャイロセンサとして使用する場合にも、ラジアル電磁石の制御心経の処理に補正が不要な磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体2が、１組の制御型アキシアル磁気軸受3と２組の制御型ラジアル磁気軸受4,5により非接触支持されて電動モータ9により回転させられるものである。アキシアル磁気軸受3が、回転体2の軸方向の２箇所に設けられたフランジ部15,16にそれぞれ対向してフランジ部15,16を互いに逆方向に吸引する２個のアキシアル電磁石17,18を備えており、回転体2の軸方向の中心に電動モータ9のロータ14が設けられて、このロータ14を中心に回転体2が軸方向に対称形をなし、電動モータ9のステータ13を中心に、２個のアキシアル電磁石17,18、２組のラジアル磁気軸受4,5および回転体2のラジアル方向の変位を検出するためのラジアル変位センサ25,27を有する２組のラジアル変位センサユニット7,8が、軸方向に対称に配置されている。 （もっと読む）

【課題】電磁石の電源が入っているときには所定の剛性を維持でき、電源が切られた際にはベアリングにタッチダウン可能で、かつ制御方向に直角な偏心に対しても有効に作用しつつこの偏心方向には磁束の漏れが少ない磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載した固液分離機を搭載した固液分離機を提供する。
【解決手段】ギャップセンサ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄで回転子コア３５までの軸方向の距離（ギャップ）を測る。そして、この計測した距離が所望の値となるように電磁石３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄに流す電流を変化させる。このことより、運転中の軸方向位置を調整可能である。磁束は、永久磁石３７と電磁石３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄとにより上向きに作用し、一方のルートは外筒２１を通る磁路により形成され、他方のルートは内筒２５を通る磁路により形成される。 （もっと読む）

電磁軸受を利用するターボ機械内にて軸及び関係したシールを位置決めする方法である。該方法は、電磁軸受の巻線に電力を印加して、軸の中心が第一の位置にあり、軸は、関係したシールと接触している。電磁軸受に対する電力を調節することにより、ターボ機械の通常の作動中に、軸がその中心合わせした位置にて回転するとき、シールが軸と非接触状態となる位置まで減少する振幅の一連の動きにて軸を動かすことにより、シールは、軸により操作することができる。軸の軸線が電磁軸受の軸線と実質的に同軸状となるとき、通常の作動中に、軸はその中心決めした位置にある。減少する振幅の一連の動きは、１つの以上の軸線の回りにて減少する振幅の揺動を含むことができ、又は軸を当初の位置すら最終位置まで動きさせる減少する振幅の半径を有するスパイラル状の回転を含むことができる。軸の動きは、電磁軸受の巻線に対する電力を調節することにより、実現される。 （もっと読む）

【課題】耐焼きつき性及び耐磨耗性の向上が可能なタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】ロータ翼と一体に回転するロータ軸を、非接触状態で回転自在に支持するアキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受を有する磁気浮上式ターボ分子ポンプに備えられ、アキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受が制御不能となった時には、ロータ軸と内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂが接触することにより機能するタッチダウン軸受（アンギュラ玉軸受７）であって、内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂは、球状または略球状の金属粒子を衝突させることにより形成され、表面硬さがビッカース硬さでＨｖ７００以上、表面粗さが０．３〜１．２Ｒａμｍの範囲内、厚さが１０μｍ〜１００μｍの範囲内となっている硬化層Ｓを有し、硬化層Ｓの表面に、固体潤滑剤によって形成された潤滑被膜Ｆを形成する。 （もっと読む）

モーター/発電機、磁気軸受けに支持されたフライホイールに一体型のローターに関連する電子技術を通じて、電力はＤＣ電力バスからフライホイールアセンブリに貯蔵され、かつバスに供給される。動作中、フライホイールアセンブリは機械的なバックアップ軸受けから解放され、フライホイールアセンブリの軸方向磁場による浮上が停止されるまで、通常離れたままである。発達した機能強化は、現在大きい環状磁気部材の製造能力が制限されていることによって永久磁石に存在する不連続点またはセグメントを横切る磁束密度滑らかにする。例えば直接ローターに結合する鋼鉄円柱部材のような材料をセグメント永久磁石に対向して導入することは、誘導渦電流およびローターの加熱を根絶する。さらに磁束吸収に大きな表面積を許容する環状の溝付きローターが示される。
（もっと読む）