【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】
機能性を損なうことなくターボ機械の製造費用を削減する。
【解決手段】
機械ハウジング（１）と、少なくとも１つのインペラ（３）を支持するロータシャフト（２）と、少なくとも１つの能動型磁気軸受（５Ａ，５Ｂ）を備える軸受装置と、少なくとも１つのギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）と、このギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）に接続された、能動型磁気軸受（５Ａ，５Ｂ）を制御するための制御機器（８）とを有するターボ機械であって、ギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）によって位置決定をするために、ロータシャフト（２）に、ギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）と協働するターゲット面（７Ａ，７Ｂ）が配設されている形式のものにおいて、ターゲット面（７Ａ，７Ｂ）として、ロータシャフト（２）のベース材料上に形成された銅層を設ける。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下での良好な磁気軸受の封入磁石アセンブリを形成する方法を提供する。
【解決手段】非磁性材料で形成されたハウジングカバーの第２部分１５２を磁性材料で形成されたハウジングカバーの第１部分１５４に溶接して溶接ハウジングカバーを提供し、続いて、溶接ハウジングカバーを、溶接応力を緩和するのに有用な温度で熱処理する工程と、非磁性材料で形成された少なくとも１つの壁１６４を含みかつ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に磁石１５８を設ける工程と、ハウジングカバーの第２部分がハウジングの壁に固定して取り付けられてアパーチャが密閉されるように、熱処理された溶接ハウジングカバーをハウジングに溶接する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 超電導磁気軸受装置のロータの大型化を図り、単位面積あたりの負担荷重を減らすことで、冷却温度の向上を図り得る超電導磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 超電導磁気軸受装置において、ステータとしての超電導磁石３に対応したロータを、超電導線を巻回した大口径で閉ループの超電導コイル４で構成する。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

内部に軸穴（１０４）を有するハウジング（１０２）内に加圧可能な軸方向に延びるチャンバ（１１０）を有する気体軸受（１００）。そして、軸方向に延びるチャンバ（１１０）は、レーザ切削された複数の細孔（１１８）を経由して穴として規定される軸受表面（１０８）との流体の流通に供される。軸受表面（１０８）におけるレーザ切削された個々の細孔の端部（１２２）は、細孔の幅の最も狭い部分が軸受表面（１０８）よりも後方に配置されるようにすそ広がりに形成されている。この形状は、軸受すきまではなく細孔の中に圧力制限が発生せざるを得ないようにするので、軸受（１００）の負荷を支える機能が、軸が偏心を起こしている最中に確実に損われないようにすることが可能である。軸受表面は、軸に対して、軸方向および／または半径方向に向き合っていてもよい。軸方向のチャンバは、ハウジングの外側の円周部分が切れ目がなく、したがって他の目的にも使用可能であるように、軸方向に加圧可能であればよい。
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【課題】ハウジングとパッド部材との間の剥離および接着剤の給気溝への入り込みを防止し、安定した軸受性能を得る静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】この静圧軸受パッドは、静圧軸受を形成する軸受面を含み内部に給気孔３が形成されているパッド部材１と、接着剤によってパッド部材１と接着されているハウジング２とを備える。パッド部材１に圧縮気体を供給するための給気溝４は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気孔３の配置に対応するように形成されている。接着剤を介在させてハウジング２とパッド部材１とが接着している接着部１１、１２と、給気溝４との間には、接着剤逃げ溝７、８が形成されている。接着剤逃げ溝７、８は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気溝４に沿って形成されている。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

第２の部品（２２）に対して回転可能な第１の部品（２４）を備える回転式の気体軸受（２０）が記述される。第１の部品（２４）は、サポート部材（２６）およびサポート部材（２６）に取り付けられた第１の部分（３０）および第２の部分（３２）を備える。第１の部分（３０）は、第１の軸受表面（３４）を備え、第２の部分（３２）は、第２の軸受表面（３６）を備える。第１の部分（３０）および第２の部分（３２）は、ねじ込み接続によりサポート部材（２６）に取り付けられる。第２の部品（２２）は、相補的な軸受表面（３８、４０）を備える。第１および／または第２の部分（３０、３２）をサポート部材（２６）に固定するために、エポキシ樹脂を使用可能である。また、軸受を通る気体流を測定することにより軸受作動ギャップを決定する方法が記述される 。
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【課題】ガイドとスライダの軸受間隙を容易に調整することができ、組立作業性を向上することができる空気軸受の組立方法及び空気軸受並びに備える直線駆動装置を提供する。
【解決手段】固定側のガイド２に対して可動側のスライダ１２を相対移動可能に浮上支持する空気軸受の組立方法において、ガイド２の両側に配置される一対の対向部材１３，１４のうち、一方の対向部材１３とガイド２の密着している対向面間に所定圧力の圧縮空気を供給し、他方の対向部材１４とガイド２の対向面を密着させた状態で、対向面間に設計上目標とする軸受間隙の２倍の間隙を形成する段階と、一対の対向部材１３，１４とガイド２の対向面間に所定圧力の圧縮空気を供給し、一対の対向部材１３，１４とガイド２の両側の対向面間に設計上目標とする軸受間隙を形成する段階と、を備える。 （もっと読む）

磁気ベアリング装置（１）用のロータ軸（２００）が開示されている。その軸は、スペーサ（２５０、２７０）により隔てられた複数のターゲット（２４０、２６０、２８０）の取付けられている内部部分からなる。これは、ラジアル方向の押し付け力よりもむしろ軸心方向の押し付け力（Ｆ、Ｆ’）を周辺にあたえることで達成される。この方法では、単純化した構成、高い剛性および高回転速度にて高い安定性が達成される。さらに、直径が周辺部に向かい減少するスラストディスク（２２０）を有するロータが開示されている。このことは、一定回転速度に対して、より大きなスラストディスクの使用を可能にする。
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【課題】非接触支持装置の製造時間を短縮することのできる非接触支持装置の製造方法を提供する。
【解決手段】流体解析用データ４４は、エアを噴出させる浮上パッドとエアを吸引する吸引パッドとの配置の態様や特性等に関するデータを記憶する。ＦＥＭ用データ４６は、ＦＥＭ解析の対象となるワークのデータを記憶する。流体構造解析部５０では、上記流体解析用データ４４内のデータに基づきワークＷに加わる力を算出する。更に、流体構造解析部５０では、算出された力とワークに加わる重力とが釣り合うとの条件でワークの撓み量を算出する。 （もっと読む）

一方の部品はスピンドルシャフトからなり、他方の部品は軸受面を有し且つ気体を軸受ギャップへ導くことができる材料からなる相対的に回転する２つの部品を有する気体軸受に対して、上記軸受面にガスを導く孔を形成する方法であって、（ａ）上記軸受面に向けて照射される高エネルギビームにより、経験から計算された最終的な数の孔よりも少ない所定数の第１の孔を上記軸受面に形成して上記軸受面の上記第１の孔を通る一次的な空気の流れを形成し、（ｂ）上記予備的な空気の流れを計測し、（ｃ）上記計測された空気の流れに基づいて、所望の必要な空気の流れを得るために形成すべき追加の第２の孔の必要な正確な数を計算し、（ｄ）上記計算された数の追加の第２の孔を上記軸受面に形成することを特徴とする。
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【課題】より汎用性の高い非接触支持装置を提供する。
【解決手段】浮上パッド１１１，１１２、吸引パッド１１３が組みつけられるベースＢＳには、加圧室１３０Ｒと減圧室１４０Ｒとが形成されている。加圧室１３０Ｒは、第１の孔１２１を介して浮上パッド１１１，１１２、吸引パッド１１３と連通可能となっている。また、加圧室１３０Ｒと減圧室１４０Ｒとは第２の孔１３１を介して連通可能となっている。吸引パッド１１３は、管１５１によって加圧室１３０Ｒと遮断される態様にて減圧室１４０Ｒと連通される。また、管１５１の装入されない第２の孔１３１は、遮蔽部材１５０にて塞がれる。ここで、加圧室１３０Ｒには加圧エアが供給される一方、減圧室１４０Ｒは真空引きされる。 （もっと読む）

【課題】絞りを有する軸受部材を保持する保持部材の材料にセラミック等の低熱膨張率を有する材料を用いた場合に、両者を圧入および接着によって堅固に固定し、高剛性かつ高精度な静圧気体軸受を実現する。
【解決手段】ローター１０に対するラジアル軸受すきま６、スラスト軸受すきま７に気体を噴出する絞りを有する軸受部材１は、保持部材２に対して接着剤１３を介した圧入によって固定される。軸受部材１と保持部材２の嵌合部をテーパー状にすることで、最適な締め圧で固定することが可能となり、また、嵌合面を直接接触させるための凸部１１や、接着剤１３を収容するための凹部１２を設けることで、均一な接着層を用いた接着と高剛性の接触結合による堅固な一体構造を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 多孔質金属焼結層への切削加工又は研削加工の施工後のエポキシ樹脂又はフェノール樹脂からなる封止材による封止作業工程を必要とすることなく、多孔質金属焼結層の端面の確実な封止を長期にわたって維持することができる多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１Ａは、裏金２と、裏金２の内面３に内面３に形成された接合層４を介して一体に接合された多孔質金属焼結層５と、多孔質金属焼結層５に高圧気体を供給すべく、裏金２の内面３に形成されている環状溝６及び７を有した供給手段９と、裏金２の軸方向の各端部の内面に接合層４を介して接合されていると共に多孔質金属焼結層５の軸方向の環状の端面１０及び１１の夫々に一体に接合された純銅からなる封止材１２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
第１の部材２１Ａと第２の部材２１Ｃとが、フランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと対向する面を微小なスキマとする。即ち、本体２１の軸線寸法を変えることなく、差動排気シールのシール機構を向上させることができ、スキマの極小化も容易に図れる。 （もっと読む）