【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス、通気溝などを構成することにより、振動の発生を防止できる高精度な静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージを実現する。
【解決手段】静圧軸受装置において、加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス１４、通気溝１１及び排気溝１２の形状などの構成を設計したものであり、通気溝１１の幅方向の断面形状が摺動面１０ａから離れる方向に凸の曲線を形成し、また、通気溝１１を、オリフィス１４を囲み環状に形成された環状溝１１ｂと、オリフィス１４を中心に環状溝１１ｂに向かって放射状に延設され、環状溝１１ｂとオリフィス１４とを連通する複数の分配溝１１ａとから、移動体の移動方向に対して対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】 高精度の動圧発生楔部を簡易に形成できる流体軸受装置の軸受部材の製法等を提供する。
【解決手段】 基材１０Ａの内周面１０ａに溝を複数形成して静圧発生溝部１１を周方向に複数形成すると共に、静圧発生溝部で囲まれた動圧発生部１２に楔状の軸受隙間１６を形成するために、静圧発生溝部に対応する基材の外周面１０ｂに溝を複数形成して軸受隙間形成用溝部１４を形成する。そして、静圧発生溝部と軸受隙間形成用溝部との間の最薄肉部分１５ａが塑性変形する圧力を基材の内周面に加えて軸受隙間を形成する。これにより、動圧発生部の変位量を測定管理しながら基材内周面への加圧力を調整管理して楔状の軸受隙間を形成することができるため、従来の内径研削加工による場合と比較して高精度の楔状の軸受隙間を簡易に形成でき、製造効率を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド１１０において、第１の給気溝５１および第２の給気溝５２とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面２１に供給するための加圧気体は、第１の給気溝５１については加圧気体供給部としての第１の給気管４１から、そして第２の給気溝５２については加圧気体供給部としての第２の給気管４２から、互いに独立に供給される。 （もっと読む）

【課題】減衰性や制御性を高めることができ、また、クリーンルーム等の環境で使用する装置類に好適な流体軸受装置を提供する。
【解決手段】シャフト１と、シャフト１の外周に対して非接触状態の軸受２を備え、軸受２は、シャフト１の軸線方向における両側に、シャフト１の全周にわたって気体を供給する気体供給部３，３を備えると共に、両気体供給部３，３の間に、シャフト１の全周にわたって液体Ｌ１を供給する液体供給部４を備えた流体軸受装置としたことにより、気体による低摩擦機能に加え、液体の粘性によるダンパ機能を確保して減衰性や制御性を高めることができ、また、液体の漏出を阻止してクリーンルーム等の環境で使用する装置類に非常に好適なものとなった。 （もっと読む）

静圧型空気軸受は、第一の軸受面（２８）と、第一の軸受面（２８）に対面するように並置された第二の軸受面（３２）と、第一と第二の軸受面（２８）、（３２）の一方に設けられた少なくとも１つの流体供給口（３８）とを備える。前記流体供給口（３８）に入る、および／またはそこから出る圧縮性流体の流量を制限するための供給口絞り（４０）と、少なくとも１つの陥凹部（３４）が、第一と第二の軸受面（２８、３２）の一方に設けられ、１つ又は各々の前記陥凹部（３４）は、１つ又は各々の前記流体供給口（３８）と流体連通する。また、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）と流体連通し、圧縮性流体が軸受から出るときの流量を制限する少なくとも１つの排出口絞り（３５）も設けられ、少なくとも１つの突出部（４２）が、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の少なくとも一部を画定する表面上に設けられている。１つの、または各々の突出部（４２）は、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の中に完全に収容される。
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【課題】エアシリンダを作動する高圧エアを用いながら強い調芯作用が得られるエア軸受にてピストンを支持したエアシリンダを提供する。
【解決手段】シリンダ本体３１と、シリンダ本体３１内に摺動自在に収容されたピストン３２と、シリンダ本体３１内のピストン３２の摺動方向の少なくとも一側に配設され、高圧エアが供給される圧力室３３ａ、３３ｂとを備えたエアシリンダ１２であって、圧力室３３ａ、３３ｂ内の高圧エアの一部が導かれる高圧エア吹出口３４をピストン３２の外周でのピストン摺動方向の中央位置に配設し、ピストン３２の外周でのピストン摺動方向の両側部に大気圧開放部である環状溝３６ａ、３６ｂを配設した。 （もっと読む）

【課題】 静圧流体軸受を容易に製造できると同時に高精度に構成可能な新規構造を実現する。
【解決手段】本発明の静圧流体軸受の軸受体２００は、第１凹凸端部２１１を一体に有する第１軸受部材２１０と、第１凹凸端部に対して軸線方向に嵌合可能に構成された第２凹凸端部２２１を一体に有する第２軸受部材２２０とを具備し、第１軸受部材と第２軸受部材が軸線方向に第１凹凸端部と第２凹凸端部とが組み合わされる態様で軸線方向に嵌合し、第１軸受側部分２１１ｔと第２軸受側部分２２１ｔの少なくとも一方には半径方向に伸び軸受隙間Ｇに連通する複数の凹溝２２１ｇが放射状に形成され、第１軸受側部分と第２軸受側部分とが突き合わされることで凹溝により絞りＰが軸線周りに複数分散して構成される。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】機械加工を施した後も良好に多孔質静圧気体軸受として使用することができる通気性を保持し得る軸受素材を提供すること。
【解決手段】軸受素材は、裏金１と、裏金１の面に焼成された多孔質焼結金属層２とを具備しており、多孔質焼結金属層２の粒界には無機物質粒子が含有されている。多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッカ黒鉛、フッカカルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】工具交換のために主軸を簡単に取り外すことができる空気静圧軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】主軸ヘッド１１の軸孔１１ａに主軸１２を挿入する。主軸１２の外周面１２ａに保持溝１２ｂを形成し、前記主軸ヘッド１１に形成した案内溝１８ａから保持板１９を挿入し、保持板１９の先端部を前記保持溝１２ｂに係合する。前記主軸ヘッド１１及び保持板１９に空気静圧軸受１４，１５及び空気静圧軸受２０，２１を設ける。前記保持板１９をシリンダ２４のピストンロッド２５により保持位置と退避位置との間で切り換え可能にする。シリンダ２４を作動して保持板１９を退避位置に移動することにより前記主軸１２を主軸ヘッド１１の軸孔１１ａから抜き取ることができ、工具１３が挿着された主軸１２の交換を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】フランジ部を有する回転軸を非接触で支持することのできる回転軸付き軸受装置を提供することにある。
【解決手段】フランジ部１ａを有する回転軸１と、回転軸１の径方向荷重を支持するラジアル静圧気体軸受２，３と、フランジ部１ａを介して回転軸１の軸方向荷重を支持するスラスト静圧気体軸受４，５と、ラジアル静圧気体軸受２，３及びスラスト静圧気体軸受４，５を収容する軸受ハウジング６とを備えてなる回転軸付き軸受装置において、スラスト静圧気体軸受４，５に加圧気体を供給する給気ポケット４ａ，５ａをスラスト静圧気体軸受４，５の外周面に設けた。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受の軸受性能や機械的強度を大きく低下させることなく静圧気体軸受の軸方向長さを大きくすることのできる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】回転軸１の外周面と対向するラジアル軸受面２ａを有するラジアル静圧気体軸受２の外周面に複数の給気用環状溝６，７を設けた。 （もっと読む）

【課題】少ない流量の気流でも高速回転で回転駆動可能なスピンドル装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置は、ハウジング１と、気体軸受により回転自在に支持された回転軸２と、回転軸２に同心に取り付けられたタービン羽根車７と、気流を噴出する複数のタービン用気流噴出口８と、を備えている。ハウジング１にはその周方向に連続する環状空間１１が設けられており、エアタービン用給気路１０を通った気流が導入口１３から環状空間１１内に導入され、環状空間１１内を周方向に移動し、導出口１４から導出されてタービン用気流噴出口８へと至るようになっている。そして、タービン羽根車７の周囲に形成された複数の羽根７ａにタービン用気流噴出口８から気流が吹き付けられることにより、回転軸２が回転駆動される。複数の導出口１４が周方向に等配に配されており、導入口１３は隣接する２つの導出口１４，１４の間の周方向中間位置に配されている。 （もっと読む）

第２の部品（２２）に対して回転可能な第１の部品（２４）を備える回転式の気体軸受（２０）が記述される。第１の部品（２４）は、サポート部材（２６）およびサポート部材（２６）に取り付けられた第１の部分（３０）および第２の部分（３２）を備える。第１の部分（３０）は、第１の軸受表面（３４）を備え、第２の部分（３２）は、第２の軸受表面（３６）を備える。第１の部分（３０）および第２の部分（３２）は、ねじ込み接続によりサポート部材（２６）に取り付けられる。第２の部品（２２）は、相補的な軸受表面（３８、４０）を備える。第１および／または第２の部分（３０、３２）をサポート部材（２６）に固定するために、エポキシ樹脂を使用可能である。また、軸受を通る気体流を測定することにより軸受作動ギャップを決定する方法が記述される 。
（もっと読む）

【課題】
熱膨張の影響を回避して高精度な加工を行うのに適したスピンドル装置を提供する。
【解決手段】
主軸１０２のフランジ１０２ａに対しホルダＨＤの取り付け面１０２ｈ側に設けられた静圧軸受の軸線方向長Δ１は、フランジ１０２ａに対しモータ１０４側に設けられた静圧軸受の軸線方向長Δ２より短いので、フランジ１０２ａから取り付け面１０２ｈまでの距離を短くでき、それにより熱膨張の影響を極力抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）