【課題】ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１２の上面部１２１に向けて静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置において、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール側に突出するようにパッド取付面１４１の両端部に逃げ面１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】１００，０００ｒｐｍ以上の超高速回転下でも数十ｎｍオーダの回転精度を達成することが可能なエアタービンスピンドルを提供すること。
【解決手段】駆動系にエアタービン、軸受にエアベアリングを用いたスピンドルにおいて、タービンの排気流路とエアベアリングの排気流路をそれぞれ独立に設けるように構成し、又、スラスト板の周上に、当該スピンドルの駆動源となるエアタービンを構成し、且つ、回転軸に垂直な方向で、且つ、スラスト板外周接線方向から当該エアタービンへの給気を行い、スラスト板両面に形成した静圧空気軸受の更に外周に、大気開放のための通気部を配置し、その更に外周に、狭いすきまによる非接触ラビリンスシールを設け、タービンの排気流路と多孔質静圧の排気流路を独立に構成する。 （もっと読む）

【課題】
主軸の振動を抑えて高精度な加工を行えるスピンドル装置を提供する。
【解決手段】
主ハウジング１０１Ａにおいて供給通路１０１ａの吐出口を周溝１０１ｃにつなげており、副ハウジング１０１Ｂにおいて供給通路１０１ｂの吐出口を周溝１０１ｄにつなげているので、例え主ハウジング１０１Ａ、副ハウジング１０１Ｂ又は主軸１０２の断面が真円でない場合でも、周溝１０１ｃ、１０１ｄが供給通路１０１ａ、１０１ｂから供給される空気が全周にわたりほぼ均一な圧力の一時的な蓄積領域となって、回転に伴う静圧スキマと吐出口との位置関係によらず圧力の急激な変動を抑えることができ、それにより主軸１０２の外周面に付与される圧力変動を抑えて、その振れや振動を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 ２本のレールの平行度にずれが生じた場合及び／又はレールに多少の撓みが生じた場合であっても、これらの不具合を解消することができて、テーブルを低摩擦で移動可能とすることができるエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、互いに所定の間隔を保持して平行に配置されていると共に夫々丸棒からなる２本のレール２及び３と、レール２及び３の夫々の外周面４に装着されていると共に外周面４との間でしかも外周面４と協同して環状隙間を形成する内周面２６を有したエアベアリング５と、エアベアリング５の夫々に固定された弾性支持体６と、各弾性支持体６に固定されていると共にエアベアリング５同士を連結しているテーブル７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 コストの大幅な増加を抑えながら、高精度な浮上領域で本来意図した効果を確実に得る。
【解決手段】 相対的に浮上量を一定とする精度が高い浮上吸引混合部５と、精度が低い浮上テーブル３との間に、両者の中間の精度を有する多孔質浮上部４を設けた。このため、浮上吸引混合部５での浮上とその両側での浮上との間の精度ギャップを低減させることができる。これにより、高精度浮上が低精度浮上から受ける影響も低減する。そして、多孔質浮上部４を設けることは浮上吸引混合部５を広げるよりもコスト増加は低く抑えられる。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）

【課題】軸方向の推力を得るロッドを静圧気体軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧気体軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシールを確保しつつ、軸受部材の着脱を容易な構造とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ１０は軸方向の推力を得るロッド１１を非接触で支持する静圧気体軸受構造を用いて構成されており、その静圧気体軸受構造を構成する軸受部材２６に一対のＯリング２７ａ，２７ｂが周方向に環状に装着される。Ｏリング２７ａ，２７ｂは、軸受部材２６の軸方向において該軸受部材２６に加圧エアを供給するための供給通路２０を挟んだ各位置にそれぞれ配置されると共に、軸受部材２６とロッド挿入孔１５の大径孔部１５ａの内周面との間に介在されその相互間で押圧変形されることで、軸受部材２６が該大径孔部１５ａの内周面に対して弾性保持される。 （もっと読む）

【課題】 オーガスクリュー軸の下部を非接触状態で確実に支持することで、騒音防止を図る。
【解決手段】 粉流体を貯留する逆円錐形状のホッパ１０と、当該ホッパ１０の下端頂部に連通された円筒状のファネルチューブ２０と、このファネルチューブ２０内の中心軸上に配設されたオーガスクリュー軸３０を備えている粉流体充填装置に、稼働中のオーガスクリュー軸３０の振れをなくすための軸受部６０を設ける。この軸受部６０は、カップ状の構造で内部に気体を噴出することにより、非接触の空気軸受を形成する。気体は、軸受部６０を支持する支持枠７０の内部を通って給排気する構成になっている。この空気軸受により、オーガスクリュー軸３０は軸支持されるため、ファネルチューブ２０に接触することがなく騒音が防止される。 （もっと読む）

【課題】
支持面の面精度に関わらず、高い剛性で支持可能な静圧軸受を提供する。
【解決手段】
ガイドレール２の支持面が局所的に傾いていたとしても、それに応じて軸受部３ｂが傾くことにより、軸受部３ｂと支持面との間隙を全体的に均一に近づけるようにし、それにより軸受部３ｂと支持面との間に吐出される空気の圧力の不均衡を是正し、高い剛性でガイドレール２に対してスライダ３を支持できる。 （もっと読む）

【課題】 長尺であっても、気体膜を形成する空気をその滞留を避けるように適宜に外部に逃がし得て当該空気の発熱を抑えることができ、軸受面側及び可動体側の熱膨張を回避できて軸受面に対する可動体のより高速な移動、特に回転を可能にする多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１は、裏金２と、裏金２の内面３に環状隙間５を挟んで並置された多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂと、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの夫々に高圧気体を供給する供給手段１２と、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの端面１３及び１３ａ並びに１４及び１４ｂに一体に接合された封止材１５ａ、１５ａｂ及び１５ｂと、封止材１５ａｂに設けられている径方向の貫通孔１６と、貫通孔１６を裏金２の外部に連通させる貫通孔１７とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 多孔質金属焼結層への切削加工又は研削加工の施工後のエポキシ樹脂又はフェノール樹脂からなる封止材による封止作業工程を必要とすることなく、多孔質金属焼結層の端面の確実な封止を長期にわたって維持することができる多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１Ａは、裏金２と、裏金２の内面３に内面３に形成された接合層４を介して一体に接合された多孔質金属焼結層５と、多孔質金属焼結層５に高圧気体を供給すべく、裏金２の内面３に形成されている環状溝６及び７を有した供給手段９と、裏金２の軸方向の各端部の内面に接合層４を介して接合されていると共に多孔質金属焼結層５の軸方向の環状の端面１０及び１１の夫々に一体に接合された純銅からなる封止材１２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】アンバランス及びジャイロモーメントの許容度が優れたスピンドル装置を提供する。
【解決手段】静電塗装機用エアスピンドル装置は、回転軸３と、回転軸３が挿通されたハウジング４と、ハウジング４を収容する装置ケース１と、を備えている。ハウジング４の内周面には多孔質部材５が取り付けられており、多孔質部材５の内周面から回転軸３の外周面に圧縮空気を吹き出すことにより、ラジアル軸受である気体軸受が形成される。また、回転軸３にはフランジ部６が形成されており、ハウジング４の後端側端面には、フランジ部６の平面６ａに対向するように磁石７が取り付けられている。そして、多孔質部材５からフランジ部６の平面６ａに圧縮空気を吹き出すとともに、磁石７によりフランジ部６を引きつけることにより、スラスト軸受である複合軸受が形成される。さらに、ハウジング４は、弾性体８を介して装置ケース１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
第１の部材２１Ａと第２の部材２１Ｃとが、フランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと対向する面を微小なスキマとする。即ち、本体２１の軸線寸法を変えることなく、差動排気シールのシール機構を向上させることができ、スキマの極小化も容易に図れる。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動装置でありながらチャンバの変形に起因する悪影響を防止することのできるステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の外部に設けられたボールねじ駆動モータ１２と、ボールねじ駆動モータ１２の駆動力をボールねじ１１に伝達するトルク伝達軸１５と、トルク伝達軸１５の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニット１６と、真空チャンバ１内に設けられたベース７と、を備えたステージ駆動装置において、シールユニット１６がベース７に対し固定され、真空チャンバ１とシールユニット１６との間がベローズ２８により弾性的に且つ気密に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
本体２１、回転軸３、ベアリングブロック２２及びベアリング２２ａ、２２ａの寸法誤差が積み重なり、本体２１と回転軸３との間に軸ズレが生じた場合には、その軸ズレに応じて静圧軸受の調心作用により回転軸３に対してシールユニット２７が半径方向、軸線方向、或いは軸線が傾く方向のいずれか１つ以上の方向へ付勢されることとなる。かかる場合、Ｏ−リング３０，３０，３１のいずれか１つ以上が弾性変形することで、本体２１に対する上記いずれか１つ以上の方向へのシールユニット２７の変位を許容できることから、結果的に回転軸３とシールユニット２７との競り合いが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 高い精度で工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出できるとともに、検出点の位置などの設計上の自由度が高く、種々の装置に容易に設けることができる検出手段を有する加工装置を提供する。
【解決手段】 本発明の加工装置１００は、工具Ｔ若しくは工作物が固定されたスピンドル軸１０１と、スピンドル軸を回転自在にかつ軸線方向に流体を介して軸支する軸受構造１０４を備えた支持体１０３と、工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出する検出手段とを有し、検出手段は、スピンドル軸に対して少なくともその軸線方向に固定された状態で接続された検出電極１０６と、検出電極に対し軸線方向に対向配置され支持体に対して少なくとも軸線方向に固定された状態で接続された固定電極１０５Ａ，１０５Ｂと、検出電極と固定電極との間の静電容量を直接若しくは間接的に検出する検出回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】
支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供する。
【解決手段】
同じ方向を向いた２つの静圧面ＳＰ１、ＳＰ３の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧ＳＰ２を配置している。従って、同じ合計面積の静圧面を有しながらも、比較例の静圧スライドＳＳ’の断面において、点線で示す領域分Ａだけ軽量化されることとなる。静圧面の合計面積は、支持剛性に等しいため、本発明の静圧スライドＳＳは、比較例の静圧スライドＳＳ’に比べて、同じ支持剛性を有しながらも、より軽量化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 ねじ等を用いないでも静圧気体軸受パッドに隙間調節部材を脱落しないように連結できて、而して、コスト低下を図り得る静圧気体軸受パッドと隙間調節部材との組み合わせ構造、それに最適な静圧気体軸受パッド及び隙間調節部材並びにそれを用いた静圧気体軸受機構を提供すること。
【解決手段】 可動体１を固定体２に対してＸ方向に移動自在に保持すベく可動体１と固定体２との間に介在させる静圧気体軸受パッド３と、静圧気体軸受パッド３と可動体１との間の隙間４を調節する隙間調節部材５との組み合わせ構造６は、静圧気体軸受パッド３に設けられていると共にリング装着溝７を有する凹所８と、リング装着溝７に装着された拡径自在な弾性Ｏリングからなるリング９と、隙間調節部材５に設けられていると共に凹所８を規定する静圧気体軸受パッド３の凹所規定面１０から部分的に突出するリング９を受容する受容溝１１とを具備している。 （もっと読む）