【課題】従来の静圧スライダでは、可動体の駆動中心と可動体を連結している支持体を含めた可動部の重心位置とが異なるため、位置決めの際に大きな振動を発生させやすく、高精度に位置決めすることができないという課題があった。また、可動体の傾きにより、固定体とのかじりが発生する課題があった。
【解決手段】略平行に配置された一対の固定体１と、各固定体１に囲繞して配置され、固定体１に沿って移動する一対の第１可動体２と、該一対の第１可動体２を連結する支持体３と、を備え、前記支持体３の少なくとも一端に、固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出する検出手段１２と、該検出手段１２により検出された傾斜角度に対応して第１可動体２の傾斜角度を調整する調整手段１１を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易なスライドウエイの提供。
【解決手段】 一対のセラミック製長尺状直方体レール２１ａ，２１ｂをセラミック製長尺状直方体レールベース２３上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に電磁石２４を前記長尺状直方体レールベース上面に設けたガイドウエイ（２）と、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース３１の底面に二対のセラミック製パッド３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その底面中央位置にモータコイル３４をその底面が前記電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの一方の長手方向側面には内側下部に一対のセラミック製パッド３３ｅ，３３ｆを離間して前記長尺状直方体レール側面に対向する位置に設けたキーパー３２を設けたスライドウエイ（３）とから構成される静圧水軸受直動スライドウエイシステム。 （もっと読む）

【課題】ダスト発生による清浄度低下抑制と、駆動速度向上が両立する真空用直線搬送装置を提供する。
【解決手段】一端側が真空プロセス室１内に挿入される搬送ロッド２を２つの静圧気体軸受３１，３２により支持し、該搬送ロッド２をマグネットカップリング式の駆動機構５で駆動し、該搬送ロッド２及び該搬送ロッド２の他端側に連結された上記駆動機構５の内部移動体５２を排気手段１３を備えたロッド収納筒部２０内に移動可能に収納し、該排気手段１３により低下する該ロッド収容筒部２０内の圧力を上記真空プロセス室１の圧力よりも低くした真空用直線搬送装置。 （もっと読む）

【課題】変動負荷が作用するロッドを、ダスト発生による清浄度の低下、軸受摩耗の進行を抑制しながら支持するようにした耐モーメント対策静圧気体軸受機構を提供する。
【解決手段】ロッド２をその軸線方向の２個所において支持する第１及び第２の静圧気体軸受３１，３２を備える。上記第１の静圧気体軸受３１は固定支持され、第２の静圧気体軸受３２は、可動支持機構３４を介して支持される。上記可動支持機構は、上記ロッド２に作用する負荷に応じて、二つの静圧気体軸受に支持されるロッドの表面の一部がそれらの静圧気体軸受と接触するのを抑止する方向に、第１の静圧気体軸受３１に対して第２の静圧気体軸受３２の軸心を相対的に変位させるアクチュエータ３５を備える。 （もっと読む）

【課題】
大気環境等で使用した場合や、異常事態が生じた場合でも、動作が阻害されることが抑制される直線案内を提供する。
【解決手段】
ガイドレール３の上面に異物が落下したような場合、ケース１５ａの下面に侵入しようとする異物を排気溝１５ｃで回収し、排気配管１５ｅを介して外部へと排出することができる。又、万が一排気溝１５ｃで異物が回収されなかった場合でも、供給溝１５ｂから吐出された空気によりエアカーテンを形成し、それ以上内部へと異物が侵入することを抑制できる。加えて、供給溝１５ｂから供給された気体の殆どは、排気溝１５ｃを介して吸引されるので、異物を外部に排出するのに都合が良く、更に供給溝１５ｂから供給された気体は、ケース１５ａから外部へと漏れ出ることが抑制され、例えば特殊ガスの環境下で用いられるような場合にも、かかる環境の破壊を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 基部に対する被支持体の支持剛性を高めることができる非接触支持装置を得る。
【解決手段】 静圧気体スラスト軸受１０は、固定ガイド体１２と可動テーブル１４との間に空気を供給することで、可動テーブル１４を固定ガイド体１２に対し非接触で保持する。この静圧気体スラスト軸受１０は、可動テーブル１４に設けられ長溝２６Ａから供給された空気を固定ガイド体１２との対向面に分散して排出するガス分散部材２６と、一端をガス分散部材２６の長溝２６Ａに向けて開口させて固定ガイド体１２に設けられたガス流路１６と、ガス流路１６を通じてガス分散部材２６の長溝２６Ａに空気を供給するためのガス供給手段と、ガス流路１６に設けられたオリフィス３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】
コーティングなどに頼ることなく、移動時の気体放出量を低減できるガイド装置を提供する。
【解決手段】
プロセス室Ｐ内の圧力を１０^-4Ｐａ以下としており、さらに３段排気の差動排気シール１５０，１６０を用いているので、差動排気シールからのリークを抑え、プロセス室Ｐ内の圧力上昇を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】高精度の位置決めと小型化が可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】テーブル２の下面に固定されてテーブル２を基台１に対して浮上支持する軸受３と、テーブル２のＸ方向に延在する一方の側面２ａ側に配置されてテーブル２をＸ方向に移動可能に案内する第１の直線案内軸受５と、該軸受５をＹ方向に進退駆動させる第１のアクチュエータ６と、反対側の側面２ｂ側に配置されてテーブル２のＸ方向への移動を許容すると共に、テーブル２を前記軸受５側に付勢する第１の付勢手段１０と、テーブル２のＹ方向に延在する一方の側面２ｃ側に配置されてテーブル２をＹ方向に移動可能に案内する第２の直線案内軸受７と、該軸受７をＸ方向に進退駆動させる第２のアクチュエータ８と、反対側の側面２ｄ側に配置されてテーブル２のＹ方向への移動を許容すると共に、テーブル２を前記軸受７側に付勢する第２の付勢手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸方向の推力を生じさせるロッドを静圧軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシール性を確保しつつ、軸受部材の着脱を容易とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ１０は軸方向の推力を生じさせるロッド１１を非接触で支持する静圧軸受構造を用いて構成されており、その静圧軸受構造を構成する軸受部材３１に一対のＯリング３６，３７が周方向に環状に装着される。この場合、軸受部材３１の両端部には環状にそれぞれテーパ面３１ｂ，３１ｃが形成されており、それらテーパ面３１ｂ，３１ｃとロッド収容孔２１の大径孔部２１ａの内周面との間において押圧変形させた状態でＯリング３６，３７が配設されている。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトな構成を有しながらも、剛性を高めることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰ、及び右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰが、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、駆動装置ＤＲが、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。 （もっと読む）

【課題】ペイロードを支持する空気軸受けを開示する。
【解決手段】空気軸受け１００は、揚力部分１１２と予荷重部分１１４に分割された活性表面１１０を有する軸受け本体１０２を有する。複数の気体分配流路が軸受け本体に形成され、第１流路１５０は圧縮気体を受け取り、第２流路１３０は活性表面１１０の予荷重部分に真空を供給し、第３流路１４０は活性表面１１０の揚力部分に正圧気体を供給する。軸受け本体１０２は、第１流路１５０に結合された入口、第２流路１３０と結合された真空開口、および排出部を有する空気を動力とする一体の真空発生装置を有する。圧縮気体は、一体真空発生装置との並列、直列、または直列並列構成で活性表面１１０の揚力部分１１２に供給される。ある実施形態では、空気軸受け１００は再構成可能である。 （もっと読む）

【課題】非接触支持装置の製造時間を短縮することのできる非接触支持装置の製造方法を提供する。
【解決手段】流体解析用データ４４は、エアを噴出させる浮上パッドとエアを吸引する吸引パッドとの配置の態様や特性等に関するデータを記憶する。ＦＥＭ用データ４６は、ＦＥＭ解析の対象となるワークのデータを記憶する。流体構造解析部５０では、上記流体解析用データ４４内のデータに基づきワークＷに加わる力を算出する。更に、流体構造解析部５０では、算出された力とワークに加わる重力とが釣り合うとの条件でワークの撓み量を算出する。 （もっと読む）

【要約書】
【課題】 密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、焼結と同時にバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリングを安価に製造できる方法を得る。
【解決手段】 平均直径０．２ｍｍ未満の原料アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末を、アルゴンガス雰囲気中でメカニカルミリングを行って平均直径０．３〜０．７ｍｍの焼結用アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末とした後、この粉末をアルミニウム合金製バックメタルの上に充填し、さらにこれを真空中で、焼結温度４５０〜４７５°Ｃ、加圧力２．４〜５ＭＰａで加圧焼結するとともに、バックメタルに接合することを特徴とするエアベアリングの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送に際してワークの浮上量の変動を好適に抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１は、検査ステージ２及び浮上ステージ４を備え、これらの上方において略水平に搬送されるワークＷを非接触にて支持する。検査ステージ２には、加圧エアを噴出する浮上パッド３０と、周辺のエアを吸引する吸引パッド４０とがそれぞれ複数個配置されている。これら吸引パッド４０と浮上パッド３０とは、ワークＷの搬送方向に沿って５列ずつ互いに平行に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 可動台の上下方向の自励振動を効果的に抑えることができると共に可動台の走行方向の振動を低減できて短時間で可動台の位置決め停止を行い得、しかも、静圧気体軸受の利点を生かし得るエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、可動台２と、可動台２の走行を案内する案内基台３と、案内基台３と可動台２との間に空気層４を形成して案内基台３に対して可動台２を空気層４を介して可動に支持する静圧気体軸受５と、案内基台３により案内されて走行する可動台２を制動する制動手段６とを具備しており、制動手段６は、可動台２に設けられた磁界発生手段３１と、磁界発生手段３１により発生された磁界により渦電流を生じるように案内基台３に設けられた導体手段３２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】
安価でありながら、積載物をロック可能に位置決めできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂがベースプレート１２ｇに着座していることを検出する検出装置Ｓが設けられているので、かかる検出装置Ｓからの信号により、基盤１０に対してテーブル１３がロックされたか否かを精度良く判別することができる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、重量物を微動回転できる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
テーブル１３が受ける比較的小さい半径方向力は、容量が低い接触式のアンギュラコンタクト玉軸受１４，１４で支持することができ、従って軸受のサイズを小さくできるため、位置決めテーブル装置の軽量化・コンパクト化を図れる。一方、テーブル１３が受ける比較的大きい軸線方向力は、非接触式の静圧軸受１２で支持することができる。なお、テーブル１３を微小回転させた後、電磁弁１２ｃを制御して、３つの静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂへの空気の供給を遮断し、静圧パッド１２ｄをベースプレート１２ｇに着座させることで、静圧パッド１２ｄとベースプレート１２ｇとの間に作用する摩擦力によって、テーブル１３は基盤１０に対して相対移動不能に保持されることとなる。 （もっと読む）

【課題】 常に非接触で極めて低い摩擦抵抗のみを伴って回転することが可能な信頼性の高いエアベアリングを提供すること、およびこのエアベアリングを備えたリング状モータを提供する。
【解決手段】 回転リング１１と回転リング支持体２１とによりリング状モータ１のエアベアリングの主要部が構成されている。回転リング支持体２１は円筒状の多孔質体リング２２を備えている。多孔質体リング２２と回転リング１１の円筒状の本体、および回転リング１１に設けられたフランジ１４，１５同士の対向する２つの面それぞれとの間には所定の大きさのエアギャップ３０が設けられている。回転リング支持体２１にはガス通路２３が設けられている。外部からのガスは、このガス通路２３から多孔質体リング２２を通ってエアギャップ３０へと導通される。 （もっと読む）

【課題】 高精度浮上部における浮上に変化があった場合でも、それに対応することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】 浮上吸引混合部５に浮上量を非接触で検出するレーザ変位計を含む検出用ブロック３６を設けて、実際の浮上量を把握するようにした。これを利用すれば、作業精度の向上や、より高精度な浮上の実現に寄与できる。その結果、周囲の環境、ワークＧの形状、大きさ、重量等が変化した場合でも、その変化に対応することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 高精度浮上部においてワークの高精度な浮上を安定して維持すること。
【解決手段】 もともと浮上精度が高い浮上吸引混合部５にレーザ変位計を設けて実際の浮上量を検出し、それに基づいてガラス基板Ｇの浮上量をフィードバック制御する。これにより、ガラス基板Ｇは規定の浮上量に自動制御されることになり、浮上精度をより高精度とすることができる。これにより、周囲の環境、ワークの形状、大きさ、重量等が変化した場合でもそれに対応でき、高精度な浮上を安定して維持できる。 （もっと読む）