【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】機械加工を施した後も良好に多孔質静圧気体軸受として使用することができる通気性を保持し得る軸受素材を提供すること。
【解決手段】軸受素材は、裏金１と、裏金１の面に焼成された多孔質焼結金属層２とを具備しており、多孔質焼結金属層２の粒界には無機物質粒子が含有されている。多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッカ黒鉛、フッカカルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を効果的に抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受２０は、円盤状の裏金本体部２１と、裏金本体部２１の一方の円形の面２２の外周縁に立設された円形の環状立壁部２３と、環状立壁部２３と同心状であって環状立壁部２３に囲まれて裏金本体部２１の一方の面２２に立設された円形の環状突出部２４とを一体的に備えたステンレス鋼からなる裏金２５を具備しており、環状立壁部２３の環状内壁面２６に囲まれた円形の凹部２７は、環状立壁部２３の環状内壁面２６及び環状突出部２４の環状外壁面２８に囲まれた円環状の外側凹部２９と環状突出部２４の環状内壁面３０に囲まれた円形の内側凹部３１とに二分されて当該外側凹部２９と内側凹部３１とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】精密な押圧制御を行うと共に、微少な位置を高精度に検出することができるエアベアリングユニットを提供すること。
【解決手段】ロッド４に対して加圧エアを噴出することにより、シリンダブロック２に非接触状態でロッド４を支える。そして、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に測定用エアを出力すると共に、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に出力される測定用エアの流量を計測することにより、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間の距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構造を有し、作動操作やメンテナンスも簡単であると共に、各種検査による微調整にも対応できるエアフローティング機能を備えた車輌検査用エアフローティング装置を提供すること。
【解決手段】ベースプレートとこの上に配置されるエアフローティングテーブルとを含み、該フローティングテーブルが、その下部にテーブル支持手段を有しており、該テーブル支持手段が、該フローティングテーブルを上記ベースプレート上でフローティングさせるためのエアベアリング機能及び該テーブルを該ベースプレート上に固定させるための吸着機能を備えていることを特徴とする車輌検査用エアフローティング装置。 （もっと読む）

【課題】非接触支持される板状ワークの平面度の低下を抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１０は、加圧エア供給用のエア供給通路２１を有するベース１１と、ベース１１上に設置され、エア供給通路２１を介して加圧エアが供給されることにより表面であるエア噴出面から加圧エアを噴出する多孔質体１２とを備える。ベース１２上には、エア噴出面が長尺状となるように多孔質体１２が設置されており、エア噴出面には、その長手方向と当該長手方向に直交する方向とのいずれにも交差するエア抜き溝３３が形成されている。エア抜き溝３３は、直線状の溝であり、非接触支持装置１０の長手方向に等間隔をおいて複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造効率を高めつつ加圧気体の排出ルートを確保することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１０は、加圧エア供給用のエア供給通路２４を有するベース１１と、ベース１１上に設置され、エア供給通路２４を介して加圧エアが供給されることにより表面であるエア噴出面から加圧エアを噴出する多孔質体１２とを備える。多孔質体１２はベース１１上に複数離間して配置されており、その一部がベース１１の上面から上方へ突出するように設置されている。ベース１１の上面には、各多孔質体１２が設置される凹部２１がそれぞれ形成され、当該各凹部２１の深さが多孔質体１２の高さよりも小さくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】比較的高い剛性と優れた高速安定性とを得ることができる浮動ブッシュの特長を利用でき、しかも、より高い１次共振速度とすることができて、安定限界速度を更に向上させることができると共に簡単な構造とし得る静圧気体軸受機構並びにこれを用いた軸回転装置及びスピンドルモータを提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受機構２は、中空体１１と、中空体１１に対して隙間１３をもって当該中空体１１の内部１４に配されている浮動ブッシュ１５と、中空体１１及び浮動ブッシュ１５に対して隙間１６をもって中空体１１の内部１４に配されていると共に中空体１１に対して回転自在であるスピンドル１７と、中空体１１の外部１８から中空体１１の内部１４への高圧空気の給気のための給気通路１９と、中空体１１の内部１４から中空体１１の外部１８への高圧空気の排気のための排気通路２０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】例えば露光装置における、軸受により支持される可動体の姿勢を安定化させ、位置精度の悪化を防止する。
【解決手段】可動体を軸受で支持する支持装置に、可動体のうち軸受によって支持されている部分と異なる部分に力を作用させるモーメント低減部を設ける。モーメント低減部は、可動体の移動によって可動体が前記軸受によって支持されている部分が変化することに起因して可動体に作用するモーメントを低減し、可動体の姿勢を安定化させる。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受のラジアル軸受性能やスラスト軸受性能を低下させることなく軸受剛性や負荷容量の増大を図ることのできる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】第１の静圧気体軸受３のスラスト軸受面寄りの回転軸１の外周面に第３の排気用環状溝１７を設けるとともに、第２の静圧気体軸受５のスラスト軸受面寄りの回転軸１の外周面に第４の排気用環状溝１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】フランジ部を有する回転軸を非接触で支持することのできる回転軸付き軸受装置を提供することにある。
【解決手段】フランジ部１ａを有する回転軸１と、回転軸１の径方向荷重を支持するラジアル静圧気体軸受２，３と、フランジ部１ａを介して回転軸１の軸方向荷重を支持するスラスト静圧気体軸受４，５と、ラジアル静圧気体軸受２，３及びスラスト静圧気体軸受４，５を収容する軸受ハウジング６とを備えてなる回転軸付き軸受装置において、スラスト静圧気体軸受４，５に加圧気体を供給する給気ポケット４ａ，５ａをスラスト静圧気体軸受４，５の外周面に設けた。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受の軸受性能や機械的強度を大きく低下させることなく静圧気体軸受の軸方向長さを大きくすることのできる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】回転軸１の外周面と対向するラジアル軸受面２ａを有するラジアル静圧気体軸受２の外周面に複数の給気用環状溝６，７を設けた。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音等の発生を防止し、高速かつ高精度の回転を維持可能なエアスピンドル用駆動装置を提供する。
【解決手段】空気軸受６Ａ〜６Ｃにより本体２に浮動状態に支承される回転軸３、第１の板状部材４及び第２の板状部材５と、本体の外表面から中空部まで貫通する第１の空気供給路２ｇと、本体の外表面から各空気軸受の各々に貫通する第２の空気供給路２ａ〜２ｃと、各々の空気軸受６から本体の外表面に貫通する第１の空気排出路２ｄ〜２ｆと、回転軸の外周面上の溝部３ａと、溝部の底部から回転軸の一端まで貫通する第３の空気供給路３ｂ、３ｃと、第１の板状部材に、第３の空気供給路と連通する第２の空気排出路４ａ、４ｂとを備え、空気が第１の空気供給路、溝部、第３の空気供給路、第２の空気排出路の順に通過後、外部に噴出し、第１の板状部材等が回転するエアスピンドル用駆動装置１。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音等の発生を防止し、高速かつ高精度の回転を維持可能なエアスピンドル用駆動装置を提供する。
【解決手段】空気軸受６Ａ〜６Ｃにより本体２に浮動状態に支承される回転軸３、第１の板状部材４と、第２の板状部材５と、第１の板状部材を囲繞し、本体に固定される蓋体７と、蓋体の外表面から、蓋体の第１の板状部材と相対向する面上の、回転軸の軸心を中心とする円形開口部まで貫通する第１の空気供給路７ａと、本体の外表面から各空気軸受の各々に貫通する第２の空気供給路２ａ〜２ｃと、各々の空気軸受６から本体の外表面に貫通する第１の空気排出路２ｄ〜２ｆと、蓋体７の円形開口部に連通するように設けられる第２の空気排出路４ａ〜４ｃとを備え、空気が第１の空気供給路、第２空気排出路を通過後、外部に噴出し、第１の板状部材等が回転するエアスピンドル用駆動装置１。 （もっと読む）

【課題】少ない流量の気流でも高速回転で回転駆動可能なスピンドル装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置は、ハウジング１と、気体軸受により回転自在に支持された回転軸２と、回転軸２に同心に取り付けられたタービン羽根車７と、気流を噴出する複数のタービン用気流噴出口８と、を備えている。ハウジング１にはその周方向に連続する環状空間１１が設けられており、エアタービン用給気路１０を通った気流が導入口１３から環状空間１１内に導入され、環状空間１１内を周方向に移動し、導出口１４から導出されてタービン用気流噴出口８へと至るようになっている。そして、タービン羽根車７の周囲に形成された複数の羽根７ａにタービン用気流噴出口８から気流が吹き付けられることにより、回転軸２が回転駆動される。複数の導出口１４が周方向に等配に配されており、導入口１３は隣接する２つの導出口１４，１４の間の周方向中間位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】負荷容量や剛性の低下を抑制できる静圧軸受を提供する。
【解決手段】静圧軸受ＳＢの軸受面ＢＰにおいて、その凹面の最大くぼみ量Δが０＜Δ≦３μｍであるので、ニューマティックハンマを生じさせることなく、第２の部材２を支持することができる。又、静圧軸受ＳＢは、多孔質部材ＰＲの半径方向外方で第１の部材１に取り付けられているので、静圧により円板Ｃの中央が第１の部材１に接近するような撓みが生じ、それにより軸受面ＢＰの中央が更に凹状に変形し、効率が高まるという効果もある。 （もっと読む）

【課題】剛性や負荷容量を大きく且つニューマチックハンマの不安定振動を発生しにくくすることができ、剛性と安定性との両立を可能とする。
【解決手段】多孔質部材１の軸受面中央部の座ぐり５と貫通孔６とを設けて、そこにねじ部材７を挿通し、当該ねじ部材７のねじ部を本体２のねじ孔８に螺合し締め付けて多孔質部材１を本体２に取り付けると共に、本体２と多孔質部材１との間には円環状の給気キャビティ３を設けて、給気孔４から給気キャビティ３に給気された気体が多孔質部材１の軸受面から噴出するように構成した静圧軸受パッドにおいて、多孔質部材１の軸受面外径ｄ_０と座ぐり径ｄ_１との比ｄ_１／ｄ_０を０．２以上０．６以下とすることで、動剛性と減衰係数を高くすると共に負荷容量を大きくする。 （もっと読む）

【課題】単独で、被保持物を平面内で移動可能に吊下保持することのできる移動保持機構（エアベアリング）を提供すること。
【解決手段】被保持物２を平面内で移動可能に保持する移動保持機構において、該移動保持機構は、シャフト４の先端に球面軸受５を有し、球面軸受５はハウジング６に設けられ、ハウジング６内に、永久磁石７と消磁コイル８、または電磁石を設け、ハウジング６の下面にはエアを吹き出すエア吹き出し孔１１が設けられ、被保持物２をハウジング６下面に吊下した状態で移動可能に保持することを特徴とする移動保持機構である。 （もっと読む）

【課題】 本発明はモータのシャフトとスリーブとの間に羽根車収納室内の空気を導き、静圧軸受として常時高速回転が可能で、小型でも大風量で高圧の送風ができ、経済的で長寿命である送風機を得るにある。
【解決手段】 空気導入口と排出口が形成された羽根車収納室を有するケース体内に回転可能に取付けられた羽根車を、前記ケース体に固定されたシャフト、このシャフトに回転可能に取付けられ、前記羽根車が固定されたスリーブを備えるモータとからなる送風機において、前記モータのシャフト内に軸心方向に形成された密封の空気通路と、この空気通路と連通してシャフトの外周部へ空気を排出することができる多数個の排出通路と、前記空気通路内へ前記羽根車収納室内の空気を導く空気導入通路とからなる静圧軸受とで送風機を構成している。 （もっと読む）