【課題】 リニアガイド装置におけるアンダーシール端部のシール性を向上させる
【解決手段】 アンダーシール５０とサイドシール４０により案内レールとスライダとの間をシールするリニアガイド装置のシール機構として、エンドキャップ３０内面に、案内レールに摺接し且つ中途で屈折されてアンダーシール５０の端部を二方から囲む補助リップ６０を設け、前記補助リップ６０を、軸方向リップ６１と、この軸方向リップ６１の端部から連続一体をなす交差方向リップ６２とから構成した。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの幅方向寸法を抑えたコンパクトな外形形状にでき、部品点数を削減することが可能なアクチュエータを提供する。
【解決手段】長手方向に延びる第１の転動体転走溝を有する軌道部材と、前記軌道部材の長手方向と平行に設けられるとともに外周に第２の転動体転走溝を有するねじ軸と、転動体を介して前記軌道部材及び前記ねじ軸に沿って軸方向に移動可能に組み付けられた移動部材と、前記軌道部材の端部に取り付けられる取付部と前記ねじ軸の端部が回転自在に保持される回転保持部を有するハウジングを備えるアクチュエータであって、前記ハウジングには、前記移動部材の位置を検出する位置検出手段を取り付ける取付手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】アンダーシールの脱落を確実に防止できるようにする。
【解決手段】リニアガイド装置のアンダーシール１は、ベアリングブロックがガイドレールに組み付けられた状態において、アンダーシール溝から取り外すことができ、かつアンダーシール溝へ取り付けることができる弾性材料のみで構成され、アンダーシール溝に挿通保持される端部３ａ，３ｂの側面一部３ａ１，３ｂ１に、その挿通方向に延びアンダーシール溝の側面と接触する長尺の突起４を少なくとも１個設ける。 （もっと読む）

【課題】密封装置の密封性の低下が生じにくい直動案内装置を提供する。
【解決手段】直動案内装置は、複数の円筒ころ３を転動体転動路１３内に転動自在に保持する保持器８を備えている。スライダ２の両内側面の下部には、軸方向に延びる略棒状のアンダーシール４０，４０が保持器８を介して装着されている。また、スライダ２の両内側面の上部には、軸方向に延びる略棒状のインナーシール５０，５０が保持器８を介して装着されている。スライダ２に装着されたアンダーシール４０及びインナーシール５０の軸方向両端面は、スライダ２の軸方向両端部にまで至っていて、サイドシール５，５の補強板２１，２１の板面にそれぞれ当接している。 （もっと読む）

【課題】潤滑剤の漏出が生じにくい密封性に優れた直動案内装置を提供する。
【解決手段】直動案内装置は、複数の円筒ころ３を転動体転動路１３内に転動自在に保持する保持器８を備えている。保持器８には開口部３３が形成されており、この開口部３３内に複数の円筒ころ３が収容され保持されている。また、保持器８は、開口部３３の周囲を囲む無端状のシール部４０を備えている。シール部４０には、開口部３３の内側方向に傾斜しつつ案内レール１に向かって延び案内レール１に滑り接触する内向きリップ４０ａが、シール部４０の全周にわたって連続して形成されている。さらに、シール部４０には、内向きリップ４０ａに加えて、開口部３３の外側方向に傾斜しつつ案内レール１に向かって延び案内レール１に滑り接触する外向きリップ４０ｂがさらに形成されている。 （もっと読む）

【課題】ハイスループットによる高速搬送や更なる清浄度向上が要求される場所においても、ナットの内部で発生した微粒子が外部に漏れることを防ぐことができる直動装置を提供する。
【解決手段】ねじ軸１０と、ねじ軸１０の軸方向に相対移動するナット２０と、ナット２０の上記軸方向の両端部に設けられた１対のシールキャップ３０，３０と、１対のシールキャップ３０，３０のそれぞれに形成された第１の貫通穴３１，３１に連通する管形状の接続部材５０とを有する直動装置である。ナット２０が進行する向きと反対側の向き側に設置されたシールキャップ３０に形成された接続部材５０の開口面積は、シールキャップ３０の第２のシール部材４２とねじ軸１０の外周面とのすきま面積よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】ハイスループットによる高速搬送や更なる清浄度向上が要求される場所においても、ナットの内部で発生した微粒子が外部に漏れることを防ぐことができる直動装置を提供する。
【解決手段】ねじ軸１０と、ねじ軸１０の軸方向に相対移動するナット２０と、第１のシール部材と、第２のシール部材４２と、移送部材とを有する直動装置である。移送部材は、ナット２０の一方の端部に設けられた第１のシール部材から第１の空間に漏出した微粒子を、第２の空間に移送する。ナット２０が進行する向きと反対側の向き側に設置された移送部材の開口面積は、第１の空間を構成する第２のシール部材４２とねじ軸１０の外周面とのすきま面積よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】耐クリープ性や耐磨耗性にも優れた樹脂製のローラと前記ローラを組み込んだローラ装置を提供する。
【解決手段】ローラは、式(i)〜(iii)：






〔式中ａは４〜９、ｂは９〜１１の数を示す。〕で表される繰り返し単位からなる共重合体をベースレジンとして含む樹脂組成物によって、環状に形成した。ローラ装置１は、内輪２、外輪３、および転動体４を含む転がり軸受６の前記外輪の外周１１を覆うように、前記ローラ１２を配設した。 （もっと読む）

【課題】内部の圧力上昇が生じにくいことに加えて、異物が外部から内部に侵入しにくく且つ内部の潤滑剤の過剰な漏出が生じにくいボールねじを提供する。
【解決手段】ボールねじ１のシール装置１４は略環状の弾性体２１を２個備えており、弾性体２１，２１は軸方向隙間２２を空けてナット１２に固定されている。シール装置１４には、隙間１７の内部と外部とを連通して隙間１７の内部の空気を外部に排出する排出孔２０が設けられている。この排出孔２０は、３つの孔が直列に連結してなる。３つの孔のうち両端の孔２３，２３は弾性体２１，２１に形成されている。また、３つの孔のうち中央の孔は、２個の弾性体２１，２１の間に形成されている軸方向隙間２２である。軸方向隙間２２の断面積は孔２３，２３の断面積よりも大きく、３つの孔のうちで最大である。このような排出孔２０の形態により、排出孔２０にラビリンス構造が構成されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで、飛躍的に発塵量を少なくしたテーブル装置を提供する。
【解決手段】このテーブル装置２０は、開口面Ｋに対して平行にテーブル４が移動するものであり、開口面Ｋを有する箱型のハウジング１と、開口Ｋに対向する面１ｍに取り付けられる案内レール２およびこの案内レール２に複数の転動体を介して往復移動可能に跨設されるスライダ３を有する軌道部５と、スライダ３にシール板７を介して連結されるテーブル４と、このテーブル４を案内レール２の軸方向に沿って往復駆動および位置決めする駆動部と、シール板７が移動しても開口面Ｋからハウジング１の内部が露出しないように覆う上部カバーと、シール板７の上面に僅かに離隔して対向配置されるとともにテーブル４の可動範囲の外周を囲繞する多孔質体を有する圧縮空気噴出部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、品質不良が少なく、製造コストを軽減した構成を得る。
【解決手段】運動案内装置は、長手方向に転動体転走面を有する軌道部材と、転動体転走面に対向する負荷転動体転走面と、負荷転動体転走面と平行な無負荷転動体転走路とを有する移動部材と、転動体転走面と負荷転動体転走面とで構成される負荷転動体転走路に転動自在に配設される複数の転動体とを備える。移動部材の端部には、負荷転動体転走路と無負荷転動体転走路とをつなぐ方向転換路を有する蓋部１７が設置され、蓋部１７は、蓋本体部１８と、軌道部材に対して隙間なく摺接するように設置されるシール部材１５と、移動部材における蓋部の設置面を塞ぐパッキン部材１６とを備え、蓋本体部１８、シール部材１５及びパッキン部材１６は２色成形により成形され、シール部材１５と不連続に形成されるパッキン部材１６を少なくとも１つ備える。 （もっと読む）

【課題】クーラント等の水分や塵等の異物が浸入するのを防止するジャケットを移動体に容易に装着できる運動案内装置を提供する。
【解決手段】移動体２は、負荷転動体転走部２ａ及び転動体戻し路２ｂを有する移動体本体３と、移動体本体３の移動方向の両端面に取り付けられ、移動体本体３の負荷転動体転走部２ａと転動体戻し路２ｂを接続する方向転換路を有する一対の蓋部材４と、を備える。ジャケット８は、一対の蓋部材４を覆う一対の端部被覆部２１、及び一対の端部被覆部２１を連結する連結部２２を一体に成形してなる成型品である。ジャケット８は伸縮可能であり、引き伸ばされたジャケット８の弾性変形を利用することによって、ジャケット８を移動体２に装着する。 （もっと読む）

【課題】転動体転走路と転動体との間で発生した微粒子が装置外に漏れ出る量を極力抑制できる、半導体製造装置や液晶表示パネル製造装置等のクリーン環境に好適な直動装置を提供する。
【解決手段】直動装置１において、１対のシール部材７の各々は、移動部材３に取り付けられた状態で、軌道部材２の軸方向に対して直交する方向に沿って切断した際に、軌道部材２に対して０．０２５〜０．１５ｍｍの範囲の隙間δを有する形状に形成され、転動体転走路５と転動体４との間には混和ちょう度２５０以下のグリースが塗布してある。 （もっと読む）

【課題】本体部とシールリップ部が合成樹脂により一体に形成されたリニアガイド装置用サイドシールとして、本体部とシールリップ部との結合強度が高いものを提供する。
【解決手段】ポリエステル樹脂からなる本体部５１と、ポリエステルエラストマーからなるシールリップ部５２を、二色射出成形法により一体に形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は，高剛性で軽量であって高速，高加減速の作動にも対応可能で高精度に位置決め可能で，断面高さが小さいコンパクトな構造に構成する。
【解決手段】本発明のクリーン環境用アクチュエータは，ベッド５とスライダ３とを筐体１で覆い，ベッド５の側壁３３に形成されたＴスロット２９にパッキン３０を挿入して装着してベッド５とサイドカバー３との隙間を密閉する。筐体１は，ベッド５の両端面を覆うエンドブラケット９とモータブラケット１０，ベッドの両側面と上面とを覆う一対のサイドカバー３，サイドカバー３間の開口部を覆うシールプレート４，及びシールプレート４の両側面から突出して露出したテーブル６とスライダ２に掛かるシールプレート４の部分とを上方から覆うテーブルカバー７から構成されている。 （もっと読む）

【課題】リップ部に案内レールとレールカバーとの段差に対応させた突起を有するリニアガイド装置用サイドシールとして、段差が急激であってもリップ部による密封性に優れ、案内レールにレールカバーを取り付けた場合でも取り付けない場合でも共通に使用できるサイドシールを提供する。
【解決手段】シール部材１のリップ部１１に、案内レール１００とレールカバー１０９との段差部１９に対応させた突起１１ａを有する。リップ部１１の突起１１ａの両脇にスリット１３を形成する。段差部１９が急激であっても、スリット１３の存在でリップ部１１の追従性が良好になるため、密封性に優れる。案内レール１００にレールカバー１０９が取り付けられていない場合、突起１１ａが案内レール１００の側面により押され、両側のスリット１３の存在により変形するため、突起１１ａがあってもリップ部と案内レールとの密着性を妨げない。 （もっと読む）

【課題】スライダの作動性低下や潤滑剤の漏出を防ぎ、周辺環境の汚染を防止するリニアガイド装置を提供する。
【解決手段】エンドキャップ３０の両端に、回収ユニット４０及びサイドシール５０が設けられている。サイドシール５０には案内レール１０の長手方向に対をなす複数のリップ部５２ａ，５２ｂが形成されている。複数のリップ部５２ａ，５２ｂのうちの回収ユニット４０側のリップ部５２ａにより案内レール１０の表面の余分な潤滑剤が回収ユニット４０に回収される。回収ユニット４０の側面部４０ｄには、回収された余分な潤滑剤を排出する排出孔４５が複数設けられる。 （もっと読む）

【課題】案内レールの表面の異物の除去能力を向上させたリニアガイドを提供する。
【解決手段】リニアガイド１は、案内レール１０と、多数の転動体の転動を介して軸方向に沿って相対移動可能に案内レール１０に跨架されたスライダ２０と、エア噴出ユニット３０とを有する。エア噴出ユニット３０は、案内レール１０の長手方向に沿って、その表面にエアを噴出する。エア噴出ユニット３０はスライダ２０の軸方向の少なくとも一方の端部に設けられる。 （もっと読む）