【課題】 スパッタ成膜時の高エネルギー粒子による被成膜部材の損傷を低減することができる対向ターゲット式スパッタ装置、並びに、この装置を利用した有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネセンス素子を提供する。
【解決手段】 ターゲット面が空間を隔てて略平行に対向するように設けられた一対のターゲットと、ターゲット面に対して略垂直方向に磁界を発生させる磁界発生手段とを有し、ターゲット間の空間の側方に該空間と対面するように配置された被成膜部材上に膜形成を行う対向ターゲット式スパッタ装置であって、上記対向ターゲット式スパッタ装置は、ターゲット間の空間と被成膜部材との間に、ターゲット面よりも対向するターゲットの方向に突出した部分を有するプラズマ抑制板が設けられたものである対向ターゲット式スパッタ装置である。 （もっと読む）

【課題】アミン化合物および該化合物を含有する有機電界発光素子を提供すること。
【解決手段】一般式（１）（化１）で表されるアミン化合物。


〔式中、Ｒ_１およびＲ_２は、水素原子、直鎖、分岐または環状のアルキル基、置換または未置換の芳香族炭化水素基、あるいは、置換または未置換の芳香族複素環基を表し、Ｚ_１〜Ｚ_４は置換基を表し、ｎ_１〜ｎ_４は０〜３の整数を表し、Ａ_１、Ａ_２およびＡ_３は一般式（２）


（式中、Ａｒ_１およびＡｒ_２は置換または未置換の芳香族炭化水素基あるいは置換または未置換の芳香族複素環基を表し、Ａｒ_１とＡｒ_２は互いに連結して環状構造を形成していてもよい）で表される基
を表し、Ａ_１、Ａ_２およびＡ_３の一般式（２）で表される基は同じであっても異なっていてもよい〕 （もっと読む）

［式中、環Ａ〜Ｃの何れか２つは、独立して、置換基を有してもよい、窒素原子で白金原子に配位する含窒素芳香族複素環基を示し、残りは置換基を有してもよいアリール基又はヘテロアリール基を示し、Ｙは、ハロゲン原子か、直接又は酸素原子若しくは硫黄原子を介して結合する、置換基を有してもよいアリール基又はヘテロアリール基を示す（但し、隣接する二つの環が含窒素芳香族複素環基の場合は、Ｙが塩素原子である場合を除き、隣接していない二つの環が含窒素芳香族複素環基の場合は、Ｙがハロゲン原子以外の基を除く。）。］で表される白金錯体を含有する発光素子に関する。
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【課題】 発光輝度、発光効率などの素子特性を長期間にわたって高水準に維持することが可能な長寿命の有機ＥＬ素子及び有機ＥＬディスプレイを提供すること。
【解決手段】 有機ＥＬ素子１において、一対の電極１２、１８間に配置された発光層２０に、アントラセン構造を有するビニルポリマー及びガラス転移温度が７０℃以上のホール輸送性化合物を含有せしめる。これにより、発光層２０におけるホール及び電子の双方の移動度が高められ、両者が効率よく再結合するようにキャリアバランス良好な状態に保つことができるようになるため、発光輝度、発光効率などの素子特性を長期間にわたって高水準に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＣＶＤ法による封止膜のパターニング精度及び膜厚均一性の向上を図ることができる封止膜の形成方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板１の下面１ａ上に配置されるメタルマスク２は、０．５ｍｍ程度の板厚を有するマスク本体部４を有すると共に開口の周縁部に位置する開口エッジ部５がマスク本体部４の板厚よりも薄く形成されている。メタルマスク２は、一対の主面のうち第１の主面２ａが基板１の表面に当接される一方、第２の主面２ｂの開口エッジ部５が切り欠かれることによりマスク本体部４と開口エッジ部５との間には段差が設けられている。封止膜の形成時には、まず基板１の下面１ａ上にメタルマスク２を配置し、次にメタルマスク２の開口を介してプラズマＣＶＤ法により基板１上の第１電極６、発光層７及び第２電極８を覆うように封止膜９を形成する。 （もっと読む）

【課題】 電子輸送性を有すると共に、優れた発光特性を有し、有機エレクトロルミネッセンス素子における発光層を構成する有機材料として好適に用いることのできる新規なフルオレン化合物およびフルオレン重合体並びにそれら各々の製造方法、また、優れた発光特性および耐久性を有する有機エレクトロルミネッセンス素子を提供すること。
【解決手段】 フルオレン化合物は、特定の化学式で表されることを特徴とする。また、フルオレン重合体は、特定の繰り返し単位よりなることを特徴とする。更に、有機エレクトロルミネッセンス素子は、特定のフルオレン化合物または特定のフルオレン重合体により形成された発光層を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 発光効率の高い有機EL素子を提供する。
【解決手段】 次の一般式（１）


（式中、R¹〜R¹²は水素原子、アルキル基、ビニル基、ホルミル基、カルボキシル基、カルボキシアルキル基、フェニル基、スルホフェニル基、カルボキシフェニル基、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシアルキル基、ピリジル基又はアミノフェニル基を示し；MはＣｕ²⁺又はＰｄ²⁺を示す）で表される化合物を含有する有機エレクトロルミネッセンス素子。 （もっと読む）

【課題】視野角の広いカラーフィルタ基板、カラーフィルタ基板の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】カラーフィルタ基板１０は、基体１０Ａと、該基体１０Ａ上の各画素に対応する部分に、それぞれ着色剤を含むカラーフィルタ形成用の液状材料をノズルから液滴として吐出して付与することにより形成されたフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢとを有し、前記各フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢは、それぞれ、前記基体１０Ａと反対側の面を凹面形状とすることにより、凹レンズの機能を有する。 （もっと読む）

【課題】 安定性、耐久性、発光輝度及び発光効率に優れた有機電界発光素子を提供することができる、有機電界発光素子用材料に有用な新規な化合物、該化合物からなる有機電界発光素子用材料、及び該有機電界発光素子用材料を用いた有機電界発光素子を提供すること。
【解決手段】 下記一般式（Ｉ）で表される新規メチン化合物。
【化１】
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【課題】 ドナー基板内に転写層を形成して前記ドナー基板を基板上にラミネーションする工程から発生できる粒子及びその他の汚染発生を抑制するだけでなく、転写効率を向上させる有機電界発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による有機電界発光素子の製造方法は、画素電極が形成された基板を提供する段階と、前記基板全面にフレームに付着されたドナー基板をラミネーションする段階と、前記ドナー基板の所定領域にレーザーを照射して前記画素電極上に有機膜層パターンを形成する段階と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 成膜材料の混合を行うに際して成分割合の調整を容易に行うことができ、成膜領域のずれを防ぐ。
【解決手段】 真空成膜装置の成膜源１０が、複数の成膜材料をそれぞれ収容する複数の材料収容部１１Ａ，１１Ｂと、各材料収容部１１Ａ，１１Ｂ内の成膜材料を加熱する加熱手段１２Ａ，１２Ｂと、成膜材料の原子流又は分子流を成膜材料毎に放出する放出口１３Ａ，１３Ｂと、材料収容部１１Ａ，１１Ｂと放出口１３Ａ，１３Ｂとを気密に連通する放出流路１４_１Ａ，１４_２Ａ，１４_３Ａ，１４_１Ｂ，１４_２Ｂ，１４_３Ｂとを備え、同一成膜材料を放出する単数又は複数の放出口１３Ａ，１３Ｂを一方向に延設し、該一方向に延設された放出口１３Ａ，１３Ｂの外縁を直線で結んで形成される帯状の放出領域Ｓ_１Ａ，Ｓ_１Ｂが平面的に少なくとも一部で互いに重なり合うように、放出口１３Ａ，１３Ｂを配置している。 （もっと読む）

【課題】 長寿命の有機エレクトロルミネッセンス素子をつくる。
【解決手段】 基体に製膜された電極もしくは対抗電極の少なくとも一方の電極に酸化チタン微粒子膜を接触させる構造を導入することで達成した。 （もっと読む）

【課題】 ガスバリア性に優れる窒化シリコン膜を低温で形成することができる窒化シリコン膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る窒化シリコン膜の製造方法は、冷却可能な基材ホルダ４上にプラスチックフィルム１５が設置され、かつ、このプラスチックフィルム１５の上方に加熱可能なタングステンワイヤ６が設けられた真空槽２の内部を、減圧装置３により減圧して真空状態にする減圧工程と、減圧工程により減圧された真空槽２の内部に、シャワーヘッド５によりシランガス、アンモニアガス及び水素ガスを導入するガス導入工程と、ガス導入工程により真空槽２の内部に導入されたガスを、タングステンワイヤ６を加熱しつつタングステンワイヤ６により接触分解するガス分解工程と、ガス分解工程により得られるガスの分解種を、基材ホルダ４を冷却しつつプラスチックフィルム１５の表面に堆積させることにより、プラスチックフィルム１５の表面に窒化シリコン膜を形成する成膜工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】十分な輝度が得られ、安定した電気特性を有し、耐久性に優れた有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】有機化合物層に含まれる、電荷輸送性ポリエーテルが下記一般式（Ｉ）で示される電荷輸送性ポリエーテルであり、発光性高分子がπ共役系ポリマーである。


〔式中、Ｒ₁およびＲ₂は、それぞれ独立に、水素、アルキル基、アルコキシル基、置換アミノ基、ハロゲン、またはアリール基を表し、Ｘは芳香族基を表し、末端基Ｒは、水素、アルキル基、アシル基または基−ＣＯＮＨ−Ｒ’（Ｒ’はアルキル基またはアリール基）を表し、ｎは１ないし５から選ばれる整数を意味し、ｙは０および１から選ばれる整数を意味し、ｍは０および１から選ばれる整数を意味し、ｌは５〜５０００から選ばれる整数を意味する。〕 （もっと読む）

【課題】 良質の膜を形成可能な蒸着装置及び蒸着方法を提供する。
【解決手段】 有機ＥＬ薄膜の材料である有機材料１が装入されたルツボ容器１０内には、有機材料１の気化面に接するように発熱体１２が配置されている。発熱体１２は、電磁誘導により発熱する磁性体材料からなる材料を含んで形成されており、加熱制御装置３０がコイル２０に所定の電流を供給することにより誘導加熱される。これにより、有機材料１の気化面が発熱体１２により直接加熱され、有機材料１は安定して気化し、これにより良質の膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】アントラセン化合物および該化合物を含有する有機電界発光素子を提供すること。
【解決手段】一般式（１）（化１）で表されるアントラセン化合物。


〔式中、Ｒ_１〜Ｒ_８は、水素原子、ハロゲン原子、置換または未置換のアミノ基、あるいは、−（Ｘ’）ｎ−Ｚ’基（式中Ｚ’は、置換または未置換の直鎖、分岐鎖または環状のアルキル基、置換または未置換のアリール基、あるいは置換または未置換のアラルキル基を表し、Ｘ’は酸素原子または硫黄原子を表し、ｎは０または１を表す）を表し、Ａｒは置換または未置換のアリール基を表し、Ｘは酸素原子または硫黄原子を表し、Ｚは置換または未置換の直鎖、分岐または環状のアルキル基、置換または未置換のアリール基、あるいは、置換または未置換のアラルキル基を表す〕 （もっと読む）

【課題】 発光効率の向上及び発光輝度、発光効率などの素子特性を長期間にわたって高水準に維持することが可能な長寿命の有機ＥＬ素子及び有機ＥＬディスプレイを提供すること。
【解決手段】 有機ＥＬ素子１のホール注入電極層１２と電子注入電極層１８との間に配置された発光層２０に、アントラセン構造を有するポリマーを含有させると共にその電子注入電極１８に近い側の表面付近にバンドギャップ４．０ｅＶ以上のホールブロック性化合物を含有する改質部１６を設け、更に、ホール注入電極層１２と発光層２０との間に電子親和力３．０ｅＶ以下のホール輸送性化合物を含有する電子ブロック層１３を設ける。これにより、発光層２０におけるホール及び電子の双方の移動度が高められ、両者が効率よく再結合するようにキャリアバランス良好な状態に保つことができ、発光輝度、発光効率などの素子特性を長期間にわたって高水準に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 容易な構造で、有機絶縁膜からの水分の放出を防止できるアクティブマトリクス型表示装置を提供する。
【解決手段】 アクティブマトリクス型表示装置は、ＴＦＴ２との電気的な接続を行なうためのコンタクトホール４ａを含む有機絶縁膜４と、有機絶縁膜４の表面の少なくとも一部に形成された画素メタル電極７ａとを備える。有機絶縁膜４は、隣り合う画素の画素メタル電極７ａを互いに分離するように形成された第１溝部４ｂを含む。 （もっと読む）

有機発光素子の製造方法が与えられる。第１有機層が第１電極に堆積される。次いで小さな分子の有機材料を含む第２有機層が、第１有機層と物理的に接触した第１有機層上の溶液処理を用いて堆積され、その結果、第１有機層は第２有機層を堆積するために用いられる溶液に溶解しない。次いで第２電極が第２有機層に堆積される。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置内の流路に充填した液状材料を交換することなしに、色度規格の異なる画像表示装置用の画素を形成することができる画素形成方法、液滴吐出装置、画像表示装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の画素形成方法は、画像表示装置の構成要素を製造するための基体と、液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、画素形成用の液状材料をノズルから液滴として吐出することにより、基体に形成された複数の画素領域１８Ｒへ液状材料を付与する工程を有する。一つの画素領域１８Ｒにつき、含有する材料の透過スペクトルのピーク波長が異なる複数種の液状材料１１１ａ、１１１ｇ、１１１ｈ、１１１ｉの液滴を付与し、該付与された複数種の液状材料を当該画素領域１８Ｒ内で混合させる。 （もっと読む）