【課題】被加熱体を均一に過熱したり、部分的に所望の温度に過熱しうる加熱装置及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】被加熱体Ｗが上部に積載され、複数の加熱領域に区画される加熱プレート１３１と、加熱プレート１３１の下部に設けられて加熱プレート１３１を全体的に均一に加熱するメインヒーター１３３と、加熱プレート１３１の下部に加熱領域に対応すべく設けられるものであって、加熱プレート１３１を加熱領域別に加熱する複数のサブヒーター１３５ａ〜１３５ｃとを備える加熱装置である。 （もっと読む）

【課題】建物の構造の違いにもよるが、特に電磁誘導加熱器（ＩＨクッキングヒーター）を設置した部屋で、金属製の流し、蛇口に触れた時、またはその他の部屋において、人間同士が触れた時、金属部に触れた時、人によってビリビリ感がしたり、面状ヒーターのＯＮ，ＯＦＦ時に漏電ブレーカーが作動してしまうことのない漏電防止機構を提供する。
【解決手段】電気を熱源とする面状ヒーターにおいて、発生する電位を空中に放射して放射電流とさせないために面状ヒーターの各発熱体の上面に導通性金属箔（板）を貼り付けるとともに、各導通性金属箔（板）を導通させて端部をアースコードに圧着し、抵抗体を介在させて端部をアース部に結線するようにした。 （もっと読む）

【課題】面状採暖具は、他の電気製品と異なり人体に密着させて使用するので、それだけ使用者が受ける電磁波の量は他の電気製品よりも大きい。
【解決手段】発熱するヒータ線５と前記ヒータ線と電気的に接続された温度制御器６を備え、前記温度制御器６は電源から得られた交流電流のうちプラスまたはマイナスのどちらか一方からなる半波整流７の全てもしくは一部にて前記ヒータ線５を制御する。立ち上がり時から所定温度までは全ての半波整流７にてヒータ線５を制御し、所定時間後は半波整流７の一部について前記ヒータ線５を制御する構成とすることにより、面状採暖具より発生する電磁波の量は通常制御に比べ減少させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】面状暖房装置において発熱体が短絡したことを検出し、装置を確実に停止させ安全性を高めることを目的とする。
【解決手段】第１の発熱線１５又は第２の発熱線１６の端子部電流を検出する第１の電流検出手段１７および第２の電流検出手段１８を設け、比較手段１９によって検出電流値を比較し、検出値に差が発生すると二つの発熱線１５、１６の間で短絡が発生したと判定し、電流遮断手段２０を強制的に開放することで装置を停止させる。これにより、発熱線の短絡時に即時に機器を停止させることができる。 （もっと読む）

【課題】抵抗値のばらつきも少なくして温度ムラを軽減させるとともに、熱伝導損失も抑えることのできるヒータを実現する。
【解決手段】長尺平板状の絶縁性基板１１の長尺方向の中央に第１の抵抗発熱体１２１を形成する。第１の抵抗発熱体１２１の両側に沿った基板１１上に第１の抵抗発熱体１２１より幅の狭い第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３を形成する。基板１１上に形成した第１の電極１３と第１の抵抗発熱体１２１の一端と電気的に接続する。第１の抵抗発熱体１２１の他端と第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３の一端を、基板１１上に形成した接続導体１４と電気的に接続する。第１の電極１３に近傍の基板上に形成した第２の電極１５と第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３の他端をそれぞれ電気的に接続する。ガラス製の保護層１９で少なくとも第１〜第３の抵抗発熱体１２１〜１２３を覆うようにした。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、占有スペースを確保する必要がなく、これによって仕切られる室内、またはこれが配置される室内に、快適な暖房効果および効率的な脱臭効果をバランスよく付与することができる暖房用パネル装置を提供すること。
【解決手段】 面状発熱体１５の少なくとも一面に、直接または基材層１６を介して、光触媒含有層１７が積層されてなる積層パネル１１を有する。また、面状発熱体１５の発熱温度を３０℃以上１００℃未満の範囲で制御する温度制御手段を備えていること、光触媒含有層１７の表面に励起光を照射する光照射手段を備えていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 レジストパターンの線幅がウェハ面内で均一に形成されるように，熱板の温度設定を行う。
【解決手段】 ＰＥＢ装置の熱板は，複数の熱板領域Ｒ_１〜Ｒ_５に分割されており，各熱板領域Ｒ_１〜Ｒ_５毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域Ｒ_１〜Ｒ_５には，熱板に載置されるウェハ面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定される。この熱板の各熱板領域Ｒ_１〜Ｒ_５の温度補正値は，熱処理されるウェハの各反り量，反り形状に対応する最適温度補正値を示す温度補正テーブルＭにより導出されて設定される。温度補正テーブルＭには，ウェハの各反り量，反り形状に対して，最終的に形成される線幅がウェハ面内で均一になるような最適温度補正値が定められている。 （もっと読む）

【課題】 レジストパターンの線幅がウェハ面内で均一に形成されるように，熱板の温度設定を行う。
【解決手段】 ポストエクスポージャーベーキング装置の熱板は，複数の熱板領域に分割されており，各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には，熱板に載置されるウェハ面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定される。この熱板の各熱板領域の温度補正値は，熱板において熱処理されて形成されるレジストパターンの線幅と温度補正値との相関から作成された算出モデルにより算出されて設定される。算出モデルは，レジストパターンの線幅測定値に基づいて，ウェハ面内の線幅が均一になるような温度補正値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 環境試験装置等に採用される操作孔付き観測窓を改良するものであり、操作孔の直近部分についても曇ったり霜が付くことのない操作孔付き観測窓を提供することを課題とする。
【解決手段】 透明基材６には、操作孔１５，１６が設けられている。操作孔を除く全域に導電発熱層２０が設けられている。透明基材６の左右の両端には、母線（主電極）２１，２２が設けられている。操作孔１５，１６の近傍には、補助電極２５，２６が設けられている。補助電極２５，２６は、一方側補助電極片２７と他方側補助電極片２８によって構成されている。一方側と他方側の補助電極片２７，２８は対称形であり、いずれも円弧状をしている。補助電極片２７，２８は、いずれも操作孔１５，１６に対して同心的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】既知の加熱素子の利点を維持しながら、過熱保護および／あるいは温度調節を提供するために、加熱素子内の温度変化を検出するための方法を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも、電流によって熱を発生する層、加熱面、そしてそれらの間に設けた誘電体からなる加熱素子に関する。この場合、誘電体は、少なくとも第一および第二の誘電層からなり、それらの間に導電層が配置される。本発明は、また、そのような加熱素子を備えた液体容器からなる。 （もっと読む）

【課題】過剰電力が投入された時に、ヒーターの抵抗発熱体間でリークが発生することによる熱応力割れの発生を低減する。
【解決手段】ヒーター１００の複数の抵抗発熱体１０２間に空隙Ｓを形成するように各抵抗発熱体を絶縁層１０４によって被覆する。 （もっと読む）

【課題】被加熱物の表面に意図的に温度勾配、温度分布を付与でき、とくに成形同時印刷システムの転写箔の予備加熱用として好適なマトリックスヒータを提供する。
【解決手段】基材上に、独立して温度制御可能な加熱素子を複数配列したことを特徴とするマトリックスヒータ。 （もっと読む）

【課題】炭素系抵抗発熱体３ａを使用する加熱体３の強度を強くする。
【解決手段】少なくとも、基材３ｂと、炭素を導電物質として利用し、少なくとも有機物を含有する原材料を非酸化雰囲気中にて熱処理し有機物を炭化させる炭素系抵抗発熱体３ａと、この炭素系抵抗発熱体３ａに給電する電極３ｃ・３ｄからなる加熱体。 （もっと読む）

【課題】 ゼロクロス検出回路からの信号をトリガ信号として電力制御を行う際に、電源周波数が変動しても追従可能であり、入力電源の正負極性の影響を受けない安定した電力制御をおこなうこと。
【解決手段】 エンジンコントローラ１１において、ゼロクロス検出回路１２からの第1のパルス信号の第1の方向の電圧変化である第1エッジの周期を検知し、次の第1エッジから第1エッジの周期の半分の時間Aに第1の方向と反対方向の第2の方向の電圧変化信号である第2エッジを生成し、第1エッジと第2エッジから生成される第2のパルス信号を基に、発熱体３，２０に供給する電力をトライアック４，１３を位相制御して制御する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置の温度がばらつき、必要な均熱性や温度応答性が得られないという課題があった。
【解決手段】本発明によれば、板状体の一方の主面を被加熱物を加熱する加熱面とし、その内部または他方の主面に帯状の抵抗発熱体を配設し、該帯状の抵抗発熱体の帯は略同一の幅を有する弧状配線部と折り返し弧状配線部とを連続させて略同心円環状に配設され、同一円周上に位置する一対の折り返し弧状配線部の間の距離が半径方向に隣り合う円弧状パターン間の距離よりも小さく、上記抵抗発熱体の両端に給電部を備え、該給電部が上記円環の外に備える。 （もっと読む）

【課題】 複数の工程を経て複雑な変形をした半導体基板でも均一に加熱する。
【解決手段】 それぞれが独立して加熱制御可能な複数の熱板片であって、基板を加熱する熱板３０をなすように組み立てられる熱板片と、各熱板片にそれぞれ対応して配設され、基板の反り量を検出する反り量検出部２０と、反り量検出部２０と熱板３０とに基板を移載する基板移載機構５０と、反り量検出部２０から供給される基板の反り量のデータに基づいて各熱板片の温度を制御する温度制御部４０と、を基板処理装置１に設ける。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体を覆うオーバーコート層の表面を、より平滑化させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 基板１１に貼着された発熱抵抗体１２１〜１２４が形成された発熱抵抗体上と発熱抵抗体１２１〜１２４が形成されていない基板１１上でオーバーコート層１８に発生する気泡の大きさの関係を、（発熱抵抗体上）＜（基板上）とし、基板１１上のオーバーコート層１８に位置する部分を盛り上げ、オーバーコート層１８表面にできる凸凹を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 像加熱装置の加熱ニップの長手方向での左右両端部の温度ムラを解消し、定着ムラやこれにともなう定着不良、高温オフセットを発生させないとともに、温度ムラによって定着フィルムが一方的に片側に寄って破損することを防止する。
【解決手段】 給電電極が長手方向の片側に集中して設けられた加熱体を用いた像加熱装置において、発熱体の発熱量を左右両端部で異ならせ、給電電極側端部よりも非給電電極側端部の発熱量を多くする。 （もっと読む）

【課題】フィルム加熱方式の像加熱装置においてニップ内に板状発熱体の基材の稜線が存在する場合においても、加熱フィルムに磨耗を生じさせないように工夫した板状発熱体を提供する。また、輸送時や検査時、組み立て時において破損し難い板状発熱体を提供するまた、該板状発熱体を用いた、耐久性のあるフィルム加熱方式の像加熱装置を提供する。
【解決手段】基材２３ａと、基材の上に設けられている抵抗発熱体２３ｂ並びに表面保護層２３ｆと、を有し、被加熱材を加熱する加熱装置に用いられる板状発熱体であって、前記基材２３ａの表面保護層２３ｆ側の長手方向の稜線Ａ・Ｂの少なくとも１方を保護層２３ｆ´で被覆したことを特徴とする板状発熱体。 （もっと読む）

【課題】 独立に制御が可能な複数の発熱体を持つオンデマンド定着装置を持つ画像形成装置において、各発熱体を独立に制御する場合に商用電源であるＡＣ入力を正負対称に使用すると共に、フリッカを低減させる。
【解決手段】 各発熱体１，２に対して、単位時間当たりに正負対称になるように制御テーブルを構成する。また、各発熱体１，２は略同抵抗として均等に通電し、それぞれの温度が等しくなるように制御する際にし、上記正負対称の制限があって各発熱体１，２に対して均等に通電できない場合でも、各発熱体１，２の発熱バランスが取れるような制御を実現する。 （もっと読む）