【課題】作製、運搬および設置が容易であり、均熱性に優れたホットプレート及びこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るホットプレート１０は、加熱源１３を内蔵した複数のヒーターブロック１１Ａ〜１１Ｈを相互に隣接配置させてなる加熱部１１と、加熱部１１の上面に配置されて被処理基板Ｗの支持面を形成する単一の伝熱板１２とを備えている。ホットプレート１０の主要部を構成する加熱部１１を複数のヒーターブロック１１Ａ〜１１Ｈに分割可能に構成することで、ホットプレート１０の作製、運搬および設置を容易に行うことが可能となる。そして、これら複数のヒーターブロックからなる加熱部１１の上面に伝熱板１２を配置することによって、被処理基板Ｗの支持面において個々のヒーターブロック間における温度勾配の発生を抑制し、支持面の均熱性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】 ランプのレンズ付着した雪を確実に融雪する一方で融雪用の発熱体への給電の消費電力の低減化を図る。
【解決手段】 ランプボディの前面に配設されて光源から出射した光を透過させるレンズに設けられ通電により発熱される発熱体６１と、発熱体に給電する電力を制御するためのヒータ制御回路８２を有するコントローラ８とを備える。ヒータ制御回路８２は給電開始条件を満たしたときに外気温に基づいて発熱体への給電を行う時間を設定する給電時間設定手段ＡＴＭと停止時間設定手段ＳＴＭを備える。外気温が低く融雪し難いときには給電時間を長くして確実に融雪し、また停止時間を短くして再着雪を防止し、一方で外気温が高く融雪が容易なときにおける無駄な電力の消費を防止する。 （もっと読む）

【課題】記録材が加熱体の長手方向に片側に寄って搬送された場合においても、非通紙部領域の温度上昇を低減する。
【解決手段】加熱体１００に設けられた抵抗発熱体１０２，１０３は加熱体長手方向において互いに異なる発熱分布を有すると共に、個々の抵抗発熱体は加熱体長手方向両端部の領域における単位面積あたりの発熱量が異なる。さらに、記録材検知手段の検知状態により各々の抵抗発熱体への通電比率を制御する。 （もっと読む）

【課題】熱板の温度設定のタイミングを適正化及び一定化する。
【解決手段】ＰＥＢ装置の熱板は、複数の熱板領域に区画されており、各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には、熱板面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定できる。先ず、フォトリソグラフィー工程の終了したウェハ面内の線幅が測定される（Ｓ１）。その測定線幅の面内傾向Ｚがゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分Ｚ_ｉに分解される（Ｓ２）。その算出された複数の面内傾向成分Ｚ_ｉから、温度補正値の変更により改善可能な面内傾向成分Ｚａ_ｉが抜き出され、それらが足し合わされて、ウェハ面内の測定線幅の改善可能な面内傾向Ｚａが算出される（Ｓ３）。改善可能な面内傾向Ｚａの大きさが予め設定されている閾値Ｌを超えた場合にのみ、熱板の各熱板領域の温度補正値の設定変更が行われる（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】板状のセラミック製のヒータを構成する絶縁基板の長手方向に均一な発熱を得るとともに、非通紙部分におけるヒータの温度上昇を抑えるようにする。
【解決手段】セラミック製の絶縁基板１１上に、分割した発熱抵抗体１４１〜１４３を、絶縁基板１１の長手方向に直列に配列させ、小サイズの被加熱体を通紙するときに、非通紙部となる部分の発熱抵抗体１４１，１４３の抵抗温度係数を１００ｐｐｍ／℃以下の発熱抵抗体を用いて形成した。これにより、非通紙時の発熱抵抗体１４１，１４３の温度上昇を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】熱処理の異常を検出できるようにする。
【解決手段】熱板１の検出温度に基づく入力ベクトルとして、熱板１と被処理物であるワークとの間の推定距離をデータベース９に予め蓄積するとともに、前記入力ベクトルに対応させて、出力ベクトルとして、熱板１とワークとの間に介在させた異物サンプルの大きさをデータベース９に予め蓄積し、新たな要求点として、新たな入力ベクトルが与えられると、異物等推定部７では、蓄積されたデータベース９のベクトルに基づいて、出力ベクトルとして、熱板１とヘークとの間に介在されると想定される異物の大きさを推定し、これに基づいて、熱処理の異常の有無を判定部８で判定するようにしている。 （もっと読む）

【課題】核酸の迅速な増幅を都合よく可能にする、機器及び方法を提供する。
【解決手段】実質的に平らな温度センサー素子４、実質的に平らで硬い熱伝導基板５、実質的に平らな抵抗ヒーター、実質的に平らな絶縁層、及び冷却素子９を含んで成る、制御された方法において対象を加熱及び冷却するための機器１であり、機器の中の装置を加熱及び冷却することを含んで成り、核酸を含む液体の混合物を、機器中の装置中に供給し、温度サイクルにかけることを含んで成る、核酸の増幅のための方法。 （もっと読む）

【課題】設定温度の変更に起因する応答時間をより短くする。
【解決手段】熱処理装置１０は、基板５０を保持する第１主表面２０ａ及びこの第１主表面に対向する第２主表面２０ｂを有しており、基板を加熱する第１加熱手段２２を有する第１定盤２０と、第１定盤の第２主表面に対向する第１主面３０ａ及びこの第１主面に対向する第２主面３０ｂを有している第２定盤３０と、第１定盤の第２主表面と第２定盤の前記第１主面とを接触又は離間自在に昇降させる定盤昇降機構４０とを具えている。 （もっと読む）

【課題】ステアリングホイールの加熱面積が異なっていても同一の網目状発熱体を使用できるようにする。
【解決手段】複数の絶縁されたヒータ素線１１が経編みされた１つの網目状発熱体１２と、網目状発熱体を経編み方向と直交する方向で電気的に２つに分離し、分離された２つの網目状発熱体１２ａ、１２ｂを直列接続する電極構造を備えたヒータ部を一対で有し、第１、第２のヒータ部１０Ａ、１０Ｂの電極構造はそれぞれ、網目状発熱体の経編み方向の一端部に固定され複数のヒータ素線すべてを電気的に接続する電極１３と、網目状発熱体の経編み方向の他端部に２分割された状態で固定され複数のヒータ素線を電気的に２つに分離させた状態で電気的に接続する一対の分割電極１３Ａ、１３Ｂとを備え、第１のヒータ部１０Ａの分割電極１３Ｂと第２のヒータ部１０Ｂの分割電極１３Ａとは直列接続されている。 （もっと読む）

【課題】長さ方向に電気抵抗が安定している発熱線を用い、不使用時の折り畳み性と使用時の形状復元性の両方を容易に満足させ得る可撓性発熱体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】所定の形状に形状記憶処理した形状記憶合金線を基材中に配置してなり、不使用時に基材中の形状記憶合金線がオーステナイト相からマルテンサイト相に変態することでその縦弾性係数が使用時の値よりも小さくなった状態で折り畳みし、使用時に基材中の形状記憶合金線がジュール熱で逆変態完了温度以上にまで加熱され、マルテンサイト相で与えられていた折り畳みによる塑性変形がオーステナイト相へと変態する際に除かれ、元の形状に戻る可撓性発熱体及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの線幅がウェハ面内で均一に形成されるように，熱板の温度設定を行う。
【解決手段】ＰＥＢ装置の熱板は，複数の熱板領域に分割されており，各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には，熱板面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定できる。先ず，フォトリソグラフィー工程が終了したウェハ面内の線幅を測定するＳ１。その測定線幅の面内傾向Ｚを，ゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分Ｚｎに分解するＳ２。次に，その算出された複数の面内傾向成分Ｚｎから，温度補正値の設定により改善可能な面内傾向成分を抜き出し，それらを足し合わせて，測定線幅における改善可能な面内傾向Ｚａを算出するＳ３。そして，現状の処理状態の面内傾向Ｚからその改善可能な面内傾向Ｚａを引き算して，改善後の面内傾向Ｚｆを算出するＳ４。 （もっと読む）

【課題】長手方向に均一な発熱を得ることができ、素早い温度立ち上がり特性を有する定着等に用いるヒータを実現する。
【解決手段】長尺板状絶縁基板１１に短手方向に幅広の発熱抵抗体１６を形成し、発熱抵抗体１６の両端部にＡｇの含有率が９０ｗｔ％以上の配線パターン１４，１５を介して電力供給用の電極１２，１３を形成する。少なくとも配線パターン１４，１５、発熱抵抗体１６上にオーバーコート層を形成する。発熱抵抗体１６の一端と幅に相当する配線パターン１４，１５長をＬｃとし、配線パターン１４，１５の短手方向長の計をＷｃとする。これらＬｃとＷｃのアスペクト比Ｌｃ／Ｗｃを４０〜７５とする。これにより、配線パターン１４，１５の長さに対して幅を広くすることができ、配線パターン１４，１５全体に電流が流れやすくなる。このため幅広の発熱抵抗体１６の絶縁基板１１の長手方向に対して略均一な発熱量と温度分布を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ヒータの長手方向で均一な温度分布を得ながら被加熱体のサイズに応じて短手方向の場所を変えることなく発熱領域を変えた定着の実現を図る。
【解決手段】長尺板状絶縁基板１１に短手方向に幅広の発熱抵抗体１９を形成し、発熱抵抗体１９の両端部に形成された配線パターン１５，１６と接続する。配線パターン１５，１６、発熱抵抗体１９上にオーバーコート層２５を形成する。配線パターン１５，１６の絶縁基板１１の長手方向中間部と電極１２，１３をそれぞれ接続する。配線パターン１６の両端に電極１４を、絶縁基板１１の裏面の導体パターンを介してスルーホールを用いて接続する。電極１２，１３あるいは電極１２，１４に選択的に電力を供給することにより、絶縁基板１１の長手方向で均一な温度分布を得ながら、短手方向の場所を変えることなく異なるサイズの被加熱体に対応が可能となる。 （もっと読む）

【課題】融解によって２個のポリマー部品を溶接するための装置と方法を提供する。
【解決手段】融解は、絶縁ワニスによって被覆された抵抗線で編まれた発熱体シート（１）によって得られ、発熱体シート（１）は、前記電圧または電流強度が調整可能で短絡に対する耐性を有する自動装置によって電力供給されるようになっている。発熱体シート（１）は、直径が０．２ｍｍ〜０．３ｍｍの抵抗線から得られ、寸法（ａ、ｂ）が１．５×３ｍｍ²〜２．５×４．５ｍｍ²のほぼ平行六面体の網目（Ｍ）を示す。 （もっと読む）

【課題】被焼成体を搬送するための搬送路を上下方向に複数有する多段構造の焼成炉において、前記搬送路間に設置した場合に、その上方及び下方の搬送路内を搬送される被焼成体を同時に加熱できるとともに、搬送路を仕切る薄型の隔壁としても機能し、組み立てが容易で、リード線の破断が生じにくいパネル状のヒータを提供する。
【解決手段】パネル状のヒータであって、当該ヒータの両方の面が各々その表面近傍に発熱線が埋設された発熱面４となっており、かつ、前記両方の面が各々独立して温度制御できるように構成された両面ヒータ１。 （もっと読む）

【課題】定着ヒータの全長より小さいサイズを通紙する場合、通紙部のみを定着に必要な温度になるよう均一に発熱させ、通紙部以外の部分での異常発熱は防ぎながらも、グリースによるローラの潤滑性を阻害させないようにする。
【解決手段】耐熱・絶縁性の材料で形成された絶縁基板１１上に、比抵抗の大きい発熱抵抗体１２，１３の両端に、発熱抵抗体１１，１２の比抵抗より小さく発熱抵抗体１２１，１２２と１３１，１３２を直列接続して形成する。直列接続された１２１，１２，１２２と直列接続された１３１，１３，１３２に対し電極１４，１５から電力を供給する。これにより、各発熱抵抗体は発熱を始めるが、通紙部以外の発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の比抵抗を発熱抵抗体１２，１３の比抵抗より小さくしたことで、発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の異常昇温を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層を有する加熱体について熱効率の向上と摺動性の確保を両立できるようにする。
【解決手段】被加熱材Ｐを可撓性部材２を介して加熱する加熱装置１０７に用いられる加熱体であって、基板と、前記基板の基板面上に形成された発熱体と、前記基板７面上に形成され前記可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層８の熱伝導率が２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、前記ガラスコート層の表面粗さが十点平均粗さＲｚで０．７μｍ以上１．４μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】面状暖房装置において発熱体が短絡したことを検出し、装置を確実に停止させ安全性を高めること。
【解決手段】第１の発熱線１５又は第２の発熱線１６の入出力電流の不平衡状態を検出する不平衡電流検出手段２２を設け、流入流出電流に不平衡が発生すると二つの発熱線１５、１６の間で短絡が発生したと判定し、電流遮断手段１８を強制的に開放することで装置を停止させる面状暖房装置。 （もっと読む）

【課題】通電発熱体の通電制御中における電流値の制御精度を向上できてより多くの電流を通電発熱体の立上げ時に投入でき、立ち上がりの速い像加熱装置を提供すること。
【解決手段】記録媒体Ｐ上に形成された現像像を加熱するための通電発熱体３０２ａ，３０２ｂと、通電発熱体に通電される電流を検出する電流検出手段５０７と、通電発熱体の通電を制御する制御手段５０１と、を有する。制御手段は、通電発熱体の通電制御を開始する前の電流値検出期間において前記電流検出手段の出力信号に基づいて検出される電流値Iｓをもとに、通電発熱体の通電制御を行う電流制御期間において、電流値Iｓよりも大きい目標電流値Iｔで通電発熱体を制御する為の通電条件を求め、制御状態を電流値検出期間から電流制御期間へと変更する。 （もっと読む）

【課題】基板補強部材を用い、かつ基板補強部材の使用を効率的に行うことでコストダウンを達成し、かつ、本体ＣＰＵ暴走等の緊急時の安全性と非通紙部昇温の抑止を達成した、長手方向に発熱分布が異なる加熱体を提供する。
【解決手段】一方向に延在した細長形状の基板３０と、基板３０の片面側に設けられ、基板３０の長手方向に沿って配置された複数本の発熱体３１、３２と、複数本の発熱体３１、３２の少なくとも１本の発熱体は、長手方向の単位長さ当たりの発熱量が異なる発熱領域を有する加熱体２３において、基板３０の片面側に設けられた発熱体３１、３２の高発熱領域に対応した基板３０の他方面側に基板補強部材３８、３９を設ける。 （もっと読む）