【課題】 均熱板にウエハを支持するウエハ加熱装置において、均熱板の載置面が凹状になると、中心付近で均熱板とウエハの間のギャップが大きくなるので、特に、均熱板の温度設定を変更したり、ウエハを交換したりした際の昇温過渡時に中心部の加熱が遅れ気味になり、その結果ウエハ面内の温度分布が大きくなるという課題があった。
【解決手段】 セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記均熱板の載置面を凸状にする。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡素でコストが安価であり、剛性が高い熱処理用ヒータを提供する。
【解決手段】本発明による熱処理用ヒータ１は、炭化ケイ素の多孔体を仮焼した仮焼体３と、仮焼体３の外表面を被覆した、絶縁材料からなる被覆材５とを備えている。従って、剛性が低い多孔体の仮焼体３を絶縁材からなる被覆材５で被覆することによって、耐久性および輻射効率が高く、製造工程がシンプルで低コストの熱処理用ヒータ１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】熱作用を伴う機能部材を集積した熱型素子において、急激な温度変化に伴って生じる熱膨張による伸縮で発熱部や感熱部等の機能部材が破壊される課題を解決し、機能部材の迅速な熱応答性を確保しつつ変形を防止する熱型素子及び熱型素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板２０に設けた空洞３０上に薄層を架橋する構造の熱型素子は、温度によって寸法が変化する機能部材と、機能部材の寸法の変化を吸収するように、温度によって寸法が変化する寸法増減部材６０と、を備えている。この機能部材と寸法増減部材６０とは、基板２０に設けられた空洞３０上に連結架橋されている。 （もっと読む）

【課題】抵抗体とその回路接続用の接続電極との相互の印刷ズレによる局部発熱とか発熱に寄与しない領域の発生することを防止した面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】電気絶縁性の基板１上に電極２、および抵抗体３を印刷により形成し、前記電極２は、一対の主電極４と、前記各主電極からそれぞれ相手側へ延出された複の枝電極５と、これら枝電極から複数分岐され、反対電位電極の対向位置に対をなして形成された接続電極６とから構成され、これら接続電極に電気的に接続して形成される抵抗体の高さ寸法をＬ１、前記接続電極の長さＬ２としたとき、Ｌ２＞Ｌ１の関係に設定した。したがって、抵抗体と電極の印刷時に相互の位置関係がずれても、抵抗体への通電接続直線長さ範囲が小さくなることがなく、これにより、抵抗体での発熱量の低下、温度むらの発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】高温発熱しながら折れ曲がり及び張力に対応する高い引張強度を有する炭素繊維発熱体を提供すること。
【解決手段】少なくとも１本以上の炭素繊維１１１とガラス繊維１１２とを所定の割合にて編み込んでなる発熱繊維と、前記発熱繊維の両端に設けられて電気供給線から電気を印加する接続端子１１３と、前記発熱繊維及び前記接続端子の表面を被覆する被覆手段１１５と、を備えることを特徴とする炭素繊維発熱体とした。。 （もっと読む）

【課題】ダミー部材を用いることなくセラミックヒータの加熱面の温度の均一性を高める。
【解決手段】発明のセラミックヒータの製造方法は、窒化アルミニウム粉末を主体とし希土類酸化物粉末を０．０３〜１重量％含む低温焼結原料粉からなる内層成形体３２の表裏両面を、金属メッシュからなる抵抗発熱体１４，１６を介して体積抵抗率が１０¹⁵Ωｃｍ以上の窒化アルミニウム焼結体からなる一対の外層３０，３０で挟み込んだ状態で、１６００〜１７５０℃で焼成することによりセラミックヒータ１０を得るものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源の製造方法に関する。
【解決手段】中空熱源の製造方法は、カーボンナノチューブ構造体を提供し、該カーボンナノチューブ構造体が複数の微孔を有するステップと、中空の支持体を提供し、前記カーボンナノチューブ構造体を前記中空の支持体の表面に設置するステップと、第一電極及び第二電極を、間隔を置いて設置し、カーボンナノチューブ構造体と電気的に接続させるステップと、基体の予製体を提供し、該基体の予製体と前記カーボンナノチューブ構造体とを複合し、加熱素子を形成するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、反射層と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含む中空の構造であり、前記カーボンナノチューブ複合構造体が自立構造を有するカーボンナノチューブ構造体及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブ構造体と基体材料が複合される。前記カーボンナノチューブ構造体が、複数のカーボンナノチューブを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含む中空の構造であり、前記カーボンナノチューブ複合構造体が少なくとも一枚の自立構造を有するカーボンナノチューブフィルム及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブフィルム及び基体材料が複合される。該単一のカーボンナノチューブフィルムが複数のカーボンナノチューブを含み、該複数のカーボンナノチューブが等方的に配列されているか、所定の方向に沿って配列されているか、または、異なる複数の方向に沿って配列される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源の製造方法は、カーボンナノチューブ構造体を提供するステップと、第一電極及び第二電極を、間隔を置いて設置し、カーボンナノチューブ構造体と電気的に接続させるステップと、基体の前駆体を提供し、該基体の前駆体と前記カーボンナノチューブ構造体とを複合し、加熱素子を形成するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、線熱源に関する。
【解決手段】本発明の線熱源の製造方法は、カーボンナノチューブ構造体及び線状の支持体を提供するステップと、前記カーボンナノチューブ構造体を前記線状の支持体の表面に設置するステップと、二つの電極を、間隔を置いて設置し、該二つの電極にカーボンナノチューブ構造体と電気的に接続させるステップと、基体材料の予製体を提供し、該基体材料の予製体と前記カーボンナノチューブ構造体とを複合し、カーボンナノチューブ複合構造体を形成するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】発熱効率のよい発熱装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る炭素繊維発熱線１は、炭素繊維２を樹脂材料により形成された筐体部３ａ内に圧縮収容して構成されている。これにより、隣接する炭素繊維２同士が互いに少なくとも一部接触するように構成されている。したがって、炭素繊維発熱線１の抵抗値を低減し、当該炭素繊維発熱線１を用いた発熱装置４の発熱効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含む中空の構造であり、前記カーボンナノチューブ複合構造体が少なくとも一本の線状のカーボンナノチューブ複合構造体からなる。前記線状のカーボンナノチューブ複合構造体が少なくとも一本のカーボンナノチューブ線状構造体及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブ線状構造体及び基体材料が複合される。該カーボンナノチューブ線状構造体が、複数のカーボンナノチューブのみからなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含む中空の構造であり、前記カーボンナノチューブ複合構造体が少なくとも一枚の自立構造を有するカーボンナノチューブフィルム及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブフィルム及び基体材料が複合される。該単一のカーボンナノチューブフィルムが複数のカーボンナノチューブからなり、該複数のカーボンナノチューブが相互に絡み合っている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源は、加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子がカーボンナノチューブ複合構造体を含み、前記カーボンナノチューブ複合構造体がカーボンナノチューブ構造体及び基体材料を含み、該カーボンナノチューブ構造体と基体材料が複合される。前記カーボンナノチューブ構造体が複数のカーボンナノチューブのみからなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、農圃などの土壌を加温することによって農作物の栽培・育成を効率よく行うことができるとともに、配線が簡易で、広範囲の農圃に設置が可能で、さらに、透水性を確保して農作物が湿害を受けない温床マットを提供する。
【解決手段】農圃の土壌中に埋設され、土壌温度を上昇させる温床マットであって透水性を有する前記温床マットと、前記温床マットの下方に埋設され透水開口を有する断熱材と、から構成され、また、前記温床マットが、平面的に並行に配設した電熱線と、前記電熱線に対し交差する方向に複数の横糸を配置してメッシュ状に組み込んで形成されたことを特徴とする農圃土壌の温床装置。 （もっと読む）

【課題】ヒータとしての発熱量を確保しつつ、部位毎の発熱量の差をさらに抑制させたヒータ、ヒータに用いられる発熱体、及び発熱体の製造方法を提供すること。
【解決手段】電力の供給に伴って発熱する発熱体１０と、発熱体１０の両端部に接続され、電源からの電力を供給する端子２０と、を備えたヒータ１００であって、発熱体１０は、純度が、９９．９９％以上の炭化珪素の粉末を成型するステップと、粉末を窒素雰囲気において、１７００℃以上で１時間以上焼成するステップとにより製造されること。 （もっと読む）

【課題】 基板加熱構造体の発熱部およびサセプターおよびリフレクターの少なくともどれか１つに、面内方向で熱伝導調整部を設け、被加熱物を目的とする平面温度分布に加熱することを課題とする。
【解決手段】 被加熱物を加熱するための基板加熱構造体において、被加熱物の温度分布を均一にするため、発熱部の他に、サセプターもしくはリフレクターの少なくともどちらか１つを有し、発熱部およびサセプターおよびリフレクターの少なくともどれか１つに、面内方向で熱伝導調整部を設け、被加熱物を目的とする温度分布に加熱する基板加熱構造体である。 （もっと読む）

【課題】 柔軟性を有し、アウトガスの発生が少ないマイカヒーターを得る。
【解決手段】 マイカヒーターの電気発熱体が設けられる絶縁板として、マイカ原料を抄造した原紙板に、フッ素化ポリエーテル骨格とその末端を修飾し且つケイ素を含む架橋反応基とを有する高分子材料を架橋反応させてなる液状のフッ素エラストマーからなる接着剤を含浸させた後、加熱圧縮して得られる集成マイカ板を用いる。 （もっと読む）

【課題】単体のコイル状のシーズヒータを用いて加熱温度の異なる領域が２箇所以上を与えるシーズヒータとそれを用いた加熱方法を提供する。
【解決手段】所定抵抗値の電熱線１３両端に電極棒１５を溶接し、この電熱線１３を金属パイプ１２内に挿入する。金属パイプ１２内で電熱線１３周囲に電気絶縁粉末１４を充填して、電極棒１５を両端末部でシールして金属パイプ１２を作成する。この金属パイプ１２をコイル状に成形する。コイル状に成形する際、加熱対象物の加熱温度を高くしたい箇所には、金属パイプ１２の表面と加熱対象物との距離を小さく、また、加熱温度を低くしたい箇所に対しては距離が大きくなるように、金属パイプ１２のコイル内径１６を設定する。コイル状に成形したコイル内径１６またはコイルピッチを変えることによって、単体のコイル状シーズヒータ１１で加熱対象物に異なる加熱温度領域を２箇所以上与えることができる。 （もっと読む）