【課題】布材に設けられる導電線材と導電性を備える接続体とを互いの接続抵抗が小さくなるように電気的につなげられるようにする。
【解決手段】通電により発熱可能な導電線材１１を備える布材１０である。導電線材１１は、その長さ方向の一部（露出部１１Ａ）が布材１０から外部に露出した状態で設けられており、この露出部１１Ａに対し、導電性を備える接続体１２Ａが巻かれることにより露出部１１と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】発熱体の給電端子との接続部における熱ロスを低減することができるヒーターユニット及び熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るヒーターユニットＨＵａは、発熱体Ｈａと、給電端子２０と、中間体４０とを具備する。給電端子２０は、金属材料でなり、発熱体Ｈａへ電力を供給する。中間体４０は、炭素系材料でなり、発熱体Ｈａと給電端子２０との間に接続されている。中間体４０は、発熱体Ｈａと給電端子２０との間を断熱する機能を有する。このため、給電端子２０が冷却操作されているような場合においても、発熱体Ｈａの熱ロスを抑制することが可能となる。したがって、上記ヒーターユニットＨＵａによれば、発熱体Ｈａの給電端子２０との接続部における温度低下を防止して、均熱性の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）

ケイ化モリブデン又はこの材料の合金からなる電気抵抗素子用の端子であって、この端子１は、炉の壁３又は炉の天井又は対応する絶縁壁を貫通するべく配列され、素子２のホットゾーン４のそれぞれの端部に配置された端子１は、素子のホットゾーン４の直径よりも大きな直径を具備する。本発明は、端子コネクタ５が、それぞれの端子１に接続され、端子コネクタ５は、アルミニウムから製造され、且つ、端子コネクタ５は、合計端子長の長さを完全に又は部分的に構成する長さを具備することを特徴とし、合計端子長とは、素子の関連する端子１及び端子コネクタ５の長さである。 （もっと読む）

【課題】高周波電極の端子部近傍にクラックが生じることを有利に抑制して、信頼性が高く、寿命が長い加熱装置を提供する。
【解決手段】セラミックス基体１１の加熱面１１ａの近傍で加熱面１１ａにほぼ平行に埋設された電極１２を備える。この電極１２に向かう端子穴１１ｃが、セラミックス基体１１の裏面に形成されている。端子穴１１ｃの底面と、電極１２との間に、セラミックス基体と同等の熱膨張係数を有する導電性セラミックス部材１７が電極１２に接続して埋設され、この導電性セラミックス部材１７を介して電極１２と端子１３とが電気的に接続される。 （もっと読む）

抵抗加熱部材１４を電源に接続するための電力端子１６を含むセラミック・ヒーター１０が提供される。抵抗加熱部材の近傍のＡｌＮセラミック基板１２に中間層３０が配置される。電力端子は活性鑞材によって中間層に接合される。中間層が、Ｍｏ／ＡｌＮまたはＷ／ＡｌＮで形成され、活性鑞材の熱膨張係数およびＡｌＮセラミック基板の熱膨張係数の中間の熱膨張係数を有しており、セラミック基板に発生する熱応力を軽減できる。
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【課題】装置の信頼性を向上させることが可能な給電部材及びそれを用いた加熱装置を提供する。
【解決手段】給電部材１００は、給電対象に接続する第１棒状部材１０１と、電源に接続する第２棒状部材１０３と、第１棒状部材１０１と第２棒状部材１０３との間に設けられ、第１棒状部材１０１と第２棒状部材１０３との熱膨張による長手方向の変形に対応して長手方向に収縮する熱膨張吸収部材１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】サーミスタを温度検出用として用いた定着ヒータの温度制御の向上を図る。
【解決手段】耐熱・絶縁性材料で形成される長尺平板状の絶縁基板１１の長手方向に発熱抵抗体１２と該発熱抵抗体に電力を供給するための電極１３，１４を形成する。発熱抵抗体１２上にオーバーコート層１７を施し、発熱抵抗体１２が形成された絶縁基板１１の反対側の端子部２０，２１に接続された配線導体２２，２３に温度制御用のサーミスタ２４を導電性接着剤２５，２６で電気的に接続する。導電性接着剤２５，２６は、Ａｇの導電粒子が含有された有機樹脂で体積抵抗値を２×１０^−４Ω・ｃｍ以下とした。これにより、定着ヒータの温度検出を行うサーミスタ２４の抵抗値の真値を検出し、への熱伝導性を高めてヒータ温度制御の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 振動環境下においても、カーボンワイヤー発熱体と該カーボンワイヤー発熱体を収容したガラス管の内壁との衝突を抑制することにより、耐久性のあるヒータを提供する。
【解決手段】 ガラス管２内に封入されたカーボンワイヤー発熱体３と、前記カーボンワイヤー発熱体に電力を供給する接続線を有する二つの封止端子部４とを備え、前記カーボンワイヤー発熱体３と接続線５とを導電性部材７によって挟持し、かつ、導電性部材７と弾性体８が封止端子部４を構成するガラス管２，６の内部に収容され、前記導電性部材７を弾性体によってガラス管２，６の内壁に押し付けられることにより、ガラス管２，６の内壁に固定される。 （もっと読む）

【課題】給電端子の接合強度を向上させた金属部材埋設セラミックス基材の給電端子取付け構造を提供する。
【解決手段】本金属部材埋設セラミックス基材の給電端子取付け構造は、端子挿入穴６が形成されたセラミックス基材２と、このセラミックス基材２に埋設され、電圧が印加される金属部材３と、この金属部材３に給電し、端子挿入穴６に挿入されてセラミックス基材２に取付けられる金属製給電端子４を有し、この給電端子４は、端子挿入穴６内の金属部材３と対向していない位置において、金属性接合材８により端子挿入穴６の表面に設けられた導電性物質７に接合され、金属部材３は、導電性物質７を介して金属製給電端子４と接続される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、シリコンウェハなどの基板に対し高温の熱処理を行った場合にも、ヒータの気密性を損なうことなく、安定に熱処理を行うことが可能なヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】 セラミックス材料からなる、内部にカーボンにより形成されるカーボンワイヤー発熱体が配設された発光管と、該発光管の両端に接合されるベース部材とを備えてなり、前記発熱体は、少なくとも前記発光管と前記ベース部材との接合箇所に対応する箇所において、その電気抵抗を低減させるための電気抵抗低減部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 機械的強度がより強く、取り扱いが便利であり、また封止端子部を容易に形成することができ、しかも、許容電流を大きくでき、結果ヒータの許容温度範囲を大きくできる封止端子構造及びこれを用いたヒータを提供する。
【解決手段】 発熱体２がガラス部材３中に収納されたヒータの封止端子構造において、前記発熱体に電力を供給する接続線６ａ，６ｂと、前記接続線の一端を保持すると共にガラス部材３の端部を封止する、導電性金属材料からなる有底筒形状のキャップ部材７ａ、７ｂと、前記キャップ部材７ａ、７ｂの少なくとも内底面に設けられた、ガラス部材の端部と接するゴムパッキン部材８ａ，８ｂとを備え、前記ガラス部材３の端部を前記キャップ部材７ａ，７ｂに収容すると共に、ガラス部材３の端部角部が前記ゴムパッキン部材８ａ，８ｂの斜面部に接する。 （もっと読む）