【課題】 発熱抵抗体を覆うオーバーコート層の表面を、より平滑化させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 基板１１に貼着された発熱抵抗体１２１〜１２４が形成された発熱抵抗体上と発熱抵抗体１２１〜１２４が形成されていない基板１１上でオーバーコート層１８に発生する気泡の大きさの関係を、（発熱抵抗体上）＜（基板上）とし、基板１１上のオーバーコート層１８に位置する部分を盛り上げ、オーバーコート層１８表面にできる凸凹を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷媒を供給しても、冷媒の供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】本発明のウェハ加熱装置は、板状体の一方の主面に帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て上記ノズルの先端を上記抵抗発熱体の帯の間に設ける。 （もっと読む）

自動車或いは他の製造物品用のヒータ（１０）が開示してある。このヒータ（１０）は概ね、担体（１８）上に配設した第１の導電媒体（１２）と第２の導電媒体（１４）を含む。好適な実施形態にあっては、第１の導電媒体（１２）は、第２の導電媒体（１４）により電気的に接続された第１の部分（７０）と第２の部分（７２）を含む。第２の導電媒体（１４）は、好ましくは正温度係数を呈する。
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【課題】 オス端子がメス端子から抜け出ることがなく、しかもオス端子をメス端子へ簡単に接続できるようにした面状ヒーターの接続端子を提供することを目的とする。
【解決手段】 多数の発熱体ユニット１を接続してなる面状ヒーター１０の接続端子４であって、前記接続端子４を発熱体ユニット１に取り付けたメス端子４０と、該メス端子４０へ挿入可能なオス端子５０とで構成し、前記オス端子５０の外側の一部に挿入方向から徐々に立ち上がるテーパー状の突起５３を形成してなり、前記メス端子４０の一部に前記オス端子５０の突起５３が係合する切欠き４５を形成した。また、オス端子の突起を変形可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】 抵抗値の変化の原因となる微小なクラックの発生を抑え、使用経時における抵抗発熱体の抵抗値の変化率を小さくする。
【解決手段】 耐熱・絶縁性材料で形成される長尺平板状の基板１１の長手方向に、発熱抵抗体１２１，１２２および発熱抵抗体１２１，１２２に電力を供給するための電極１４，１５を形成し、少なくとも発熱抵抗体１４，１５上にオーバーコート層１８を施してヒータ１００を形成する。ヒータ１００の発熱抵抗体１４，１５としては、銀（Ａｇ）とパラジウム（Ｐｄ）の重量比率Ａｇ／Ｐｄが、９０／０〜７０／３０のＡｇ／Ｐｄ合金およびガラス、前記Ａｇ／Ｐｄ合金重量に対して２０〜６０重量％の無機酸化物および／または無機窒化物を含有したものとする。 （もっと読む）

【課題】静電チャックなどのセラミック素子の内部電極に対する引出し電極は、セラミック体と電極部のメタライズ層との熱膨張率の差異や、焼成時の熱収縮の差異などによって、交差部に高い残留応力が発生し、セラミック体が薄くなるとクラックなどが発生していた。
【解決手段】セラミック体中に、吸着などの外部の作用面にほぼ平行で、面状に広がった状態に内装された薄膜の内部電極を有し、一部が作用面の反対側からセラミック体中に延在して内部電極の端縁に沿ってかど継手状に繋がり、反対側の他端が、セラミック体の端面の外部端子位置に表出する導体薄膜の引出し電極とから成る。 （もっと読む）

【課題】給電用コネクタと温度検出用コネクタの２つ以上のコネクタ装置を別個独立に使用しているため、これ等のコネクタ装置を装着する面状ヒータはスペースを小さく出来ないという課題があった。
【解決手段】ヒータの電力供給用端子に接触する給電用コネクタと、前記ヒータの温度検出用端子に接触する温度検出用コネクタとを、同一のコネクタハウジング内に設けたものである。 （もっと読む）