【課題】基板上における膜形成領域の配列方向が異なっていても効率よく液状体を塗布す
ることが可能な液状体の吐出方法、これを用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ装
置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例の液状体の吐出方法は、マザー基板Ｐは、膜形成領域３ｒ，３ｇ，
３ｂが複数配列した第１塗布領域Ｅ１と、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'が複数配列し
た第２塗布領域Ｅ２とを有し、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに液滴を吐出する複数回の走
査を行うと共に、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に少なくとも１滴の液滴を吐出する第
１吐出工程と、少なくとも膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に所定量に対して不足する液
状体を液滴として吐出する第２吐出工程と、を備えた。なお、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３
ｂの長手方向と、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の長手方向とは直交している。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出法を用いて有機ＥＬパネルの機能層を形成する場合に、第１溶媒を蒸散させ、一旦機能層を作成した後、第２溶媒をスプレーコーティング法により供給して機能層を再度形成する方法がある。この場合、有機ＥＬパネル全面に溶媒が同時に供給されるため、有機ＥＬパネルの中心部と外周部との間には、溶媒の揮発に伴う溶媒雰囲気の濃度に分布が生じ、有機ＥＬ素子の特性に大きな分布が発生するという課題がある。
【解決手段】液滴吐出法を用いて、有機ＥＬパネル１の機能領域１１７内での蒸散速度を揃えるための吐出パターンとして、平面視にて市松模様状のパターンを描くように、機能領域１１７に第２溶媒２２３を吐出後蒸散させ、次に隣接する機能領域１１７Ａ内に第２溶媒２２３を吐出後蒸散させる。その結果として、第２溶媒２２３のガス雰囲気の分布を抑えることができ、均一な特性を有する有機ＥＬパネル１を提供可能となる。 （もっと読む）

【課題】隣接するサブピクセルへの漏れがなく、かつ均一な膜厚を有する色変換層を、インクジェット法を用いて、低コストおよび高精細に作製することができる方法を提供する。
【解決手段】バンク層１９を平坦化層１８に接触する第１のバンク層１９ａと第１のバンク層に接触する第２のバンク層１９ｂの二層構造から形成し、第２のバンク層１９ｂの幅は第１のバンク層１９ａよりも大きく、かつ、第１のバンク層１９ａは色変換層形成用インクに対して親液性であり、第２のバンク層１９ｂは該インクに対して撥液性であるバンク層１９を有する色変換フィルタを製造する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜の形成におい
て、膜厚の不均一を低減させる。
【解決手段】液状体を吐出する複数のノズル５２からなるノズル列５２ａと、マトリクス
状に区画された矩形形状の画素領域Ｆからなる被吐出領域を有する基板Ｐとを、前記ノズ
ル列５２ａと略直交する主走査方向に相対移動させながら前記ノズル５２から前記液状体
を前記被吐出領域Ｆに吐出させる吐出工程を有し、１つの前記画素領域Ｆに対する前記吐
出工程において、前記ノズル列５２ａおよび／または前記基板Ｐを、前記主走査方向と略
直交する副走査方向に、少なくとも１回相対移動させ前記ノズル５２から前記液状体を吐
出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最初に機能液が吐出された画素における液量は、最後に吐出した画素に残っている液量に比べて、自然乾燥時間に応じた量分少ない量になっている。このため、固化して形成される発光層の膜厚が異なり、各々の画素間で発光輝度にムラが生じる。
【解決手段】ステップＳ１０７にて、最初の画素への機能液の吐出開始からの経過時間を計測する。ステップＳ１０８にて、経過時間に対する溶媒液の増加量を算出する。ステップＳ１０９にて、第２ヘッドから溶媒液の増加量を吐出する。こうすれば、経過時間に応じて画素に吐出される溶媒液の吐出量を漸次少なく変更することができる。従って、総ての画素に対して吐出が終了したときに、自然乾燥によって液量が減少した状態において、各々の画素に存在する機能液と溶媒液の合計液量をほぼ均一にできる。この結果、その後真空乾燥処理によって形成される発光層の膜厚がほぼ均一になり輝度のバラツキが抑制される。 （もっと読む）

【課題】比較的均一な厚みを有する有機層を備える発光装置、及びその発光装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】まず、所定の間隔で配された画素電極と画素電極間を区切る隔壁とが形成された基板上を、純水での洗浄、乾燥と、減圧条件下での酸素プラズマ処理により親液化処理を施す。次に、基板上に定められ発光した光を取り出す表示領域の全域に、界面活性剤を含有し高沸点溶媒を溶媒とした有機化合物含有液を、画素電極が配された間隔を正の整数で除した値の間隔で滴下する。続いて、滴下した有機化合物含有液を減圧条件下で乾燥を行なう。 （もっと読む）

【課題】キャリア輸送層の膜厚むらを低減する。
【解決手段】略長方形状の開口部１３ａの短手方向に、複数の開口部１３ａが並んだ凹部の列に沿いノズルＮを相対的に移動させて、キャリア輸送層（正孔注入層８ｂ、発光層８ｃ）となる材料が含有される液状体を複数の開口部１３ａに亘って連続的に塗布することによって、略長方形状の開口部１３ａの長手方向に複数の開口部１３ａが並んだ凹部の列に沿いノズルＮを相対的に移動させて、その液状体を開口部１３ａに塗布することに比べて、這い上がりといわれるキャリア輸送層の不均一な成膜を抑えることが可能になり、キャリア輸送層の膜厚をより均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】有機機能層を簡易にパターン形成できると共に、その膜厚の均一性を実現できる有機ＥＬ素子の製造方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】有機化合物を含む発光層を有する積層体である有機ＥＬ素子の製造方法であって、有機機能層となる有機材料が含まれるインクを、インクジェット装置により平板印刷版面にパターン塗布する塗布工程（Ｓ−１１）と、前記平板印刷版上に塗布されたインクの溶媒を除去し、インクの粘度を調整する粘度調整工程（Ｓ−１２）と、前記平板印刷版面上の粘度調整されたインクを転写体に転写する第１の転写工程（Ｓ−１３）と、前記転写体に転写されたインクを基板に転写する第２の転写工程（Ｓ−１４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板上に異なる複数の材料層を積層する際、スループットを向上しつつ、円滑に材料層の所望のパターン形状を得る成膜方法および発光装置の作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】予め、第１の基板上の光吸収層と重なる位置に液滴吐出法により材料層を選択的に形成する。この第１の基板と被成膜基板となる第２の基板とを対向して配置し、光吸収層にレーザ光の照射を行って加熱し、第２の基板に成膜を行う。光吸収層が所望のパターン形状であれば、レーザ光が照射された光吸収層のパターン形状を反映した成膜が第２の基板に行われる。第２の基板には光吸収層のパターン形状とほぼ同じ材料層のパターン形状が得られる。 （もっと読む）

【課題】簡便に、歩留まり良く有機ＥＬ装置を製造する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】長辺または長軸を有する平面形状を有する複数の画素を有し、画素が少なくとも一対の電極と当該電極間に挟まれた有機化合物を含む発光層を含む積層体で形成される有機エレクトロルミネッセンス素子で構成される有機エレクトロルミネッセンス装置を製造するにあたり、積層体を構成する層のうちの少なくとも一層を形成する工程に、塗布工程と乾燥工程とを設け、塗布工程において、層を形成する成分を含むインクを非断続的に連続して吐出し、画素領域および画素領域の長手方向にある隔壁上に非断続的に連続してインクを塗布しながら、画素領域の長手方向に並ぶ複数の画素領域上に線状にインクを塗布し、乾燥工程において、塗布されたインクを乾燥する。 （もっと読む）

【課題】ガスバリア性と柔軟性とが両立された機能液供給チューブを備える液滴吐出装置を得る。
【解決手段】機能液３２を収納する機能液タンク４０と、機能液３２を対象物７１に吐出する液滴吐出ヘッド１２と、機能液３２を機能液タンク４０から液滴吐出ヘッド１２へ供給する機能液供給チューブ４４と、を備える液滴吐出装置１であって、機能液供給チューブ４４が、機能液３２が流動する内側チューブ４５と、内側チューブ４５の外周を囲むチューブであって機能液とは異なる第２の流体６１が流動する外側チューブ４６と、からなる二重構造を有することを特徴とする液滴吐出装置１。 （もっと読む）

【課題】色変換フィルタを簡易に形成した場合であっても、色変換層のパターンを高精度に形成することで、インクの流れ出しに起因する混色を防止することができる、色変換フィルタの製造方法を提供することにある。
【解決手段】（ａ）透明基板上に複数種のカラーフィルタ層を形成する工程であって、該複数種のカラーフィルタ層のそれぞれは、第１の方向に延びる複数のストライプ形状部分から構成される工程と、（ｂ）上記カラーフィルタ層上に光硬化性または光熱併用型硬化性樹脂からなるバンクを第１の方向に延びる複数のストライプ形状部分に形成すると同時に、上記バンクの端部において隣り合うバンクを連結するインク漏れ防止壁を上記透明基板上に形成する工程と、（ｃ）上記カラーフィルタ層上に、インクジェット法を用いて、特定の波長の光を吸収し、吸収した波長と異なる波長を含む光を出力する色変換層を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出法を用い、補助配線を備えた有機ＥＬ装置を良好に製造することを可能とする有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】複数の発光素子７０と、複数の発光素子７０の間隙部に沿って延在する隔壁層３０と、隔壁層３０と平面的に重なって設けられると共に、共通電極６０と接続され発光素子７０への導通を補助する補助配線５０と、を備える有機エレクトロルミネッセンス装置１Ａの製造方法であって、自身の頂部に溝部３３を備える隔壁層３０を形成する工程と、液滴吐出法を用いて、導電性材料を含む導電インクＬ１を溝部３３に配置し、溝部３３に沿って延在する補助配線５０を形成する工程と、補助配線５０と接する共通電極６０を形成する工程と、を備え、少なくとも隔壁層３０の頂面３４Ａに撥液処理が施され、溝部３３の内部に親液処理が施されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高精度な駆動回路又は薄膜トランジスタを可撓性の基板に形成する表示素子用の製造装置を提供する。
【解決手段】 表示素子の製造装置は、可撓性の長尺基材（ＦＢ）の上に表示素子を形成する製造装置（１００）である。そしてこの製造装置は、長尺基材を所定方向に搬送する搬送ローラ（ＲＲ）と、長尺基材が搬送ローラの外周面に倣う領域を増やす領域増加手段（ＳＲ１、ＳＲ２）と、長尺基材が搬送ローラの外周面に倣う領域で長尺基材に対して表示素子を構成する材料の液滴を塗布する液摘塗布装置（２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】画素部の形成とその修正を含めた一連の工程において、薄膜が抜けることなく修正される薄膜製造方法と、その薄膜製造システムを提供する。
【解決手段】カラーフィルタの製造フローには、初期インクジェット工程、修正インクジェット工程およびＩＴＯ電極膜形成工程がある。初期インクジェット工程１１には、インク充填部に親液処理を施す工程Ｓ２が含まれ、修正インクジェット工程１２には、不良箇所のインク充填部に親液処理を施す工程Ｓ７が含まれる。初期インクジェット工程におけるプラズマ処理量は、修正インクジェット工程におけるプラズマ処理量以上に設定される。 （もっと読む）

【課題】有機発光層を液滴吐出法により形成した場合であっても、有機発光層の発光強度を均一にすることができる有機ＥＬ素子、電気光学装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】第一電極１２は、陰極層１２２と、陰極層１２２と機能層１０との間に設けられた電子注入層１２１と、を備え、電子注入層１２１は、陰極層１２２からの電子の注入容易性が、有機発光層８の発光強度が最も高い領域Ａよりも有機発光層８の発光強度が最も低い領域Ｂにおいて高くなるように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吐出された材料が被吐出部上で広がりやすい吐出装置を提供すること。
【解決手段】複数の被吐出部に液状の材料を塗布する吐出装置は、被吐出部を有する基板
を保持するステージと、材料を吐出可能な第１のノズルおよび第２のノズルを有する吐出
部と、被吐出部に対して第１および第２のノズルを相対移動させる走査部と、を備える。
そして、複数の被吐出部のうち所定のＸ座標範囲と所定のＹ座標範囲とで決まる所定の被
吐出部に対し、第１の走査期間内に、第１のノズルは、Ｘ座標範囲内の第１のＸ座標に位
置し、Ｙ軸方向に相対移動するとともに、所定の被吐出部の複数の位置に材料を着弾させ
、第２の走査期間内には、第１のノズルとは異なる第２のノズルがＸ座標範囲内の第１の
Ｘ座標とは異なる第２のＸ座標に位置し、Ｙ軸方向に相対移動するとともに、所定の被吐
出部の複数の位置に材料を着弾させる。 （もっと読む）

【課題】隣接するサブピクセルへの漏れがなく、かつ均一な膜厚を有する色変換層を、インクジェット法を用いて、低コストおよび高精細に作製することができる方法を提供する。
【解決手段】ドライエッチング法によってバンクを形成する際に、平坦化層５０が無機粒子を含有し、かつ平坦化層５０中の第１マトリクスと第１バンク材料層を構成する第２マトリクスとを同じエッチングガスでエッチングすることのできる材料とすることで、第１バンク層を形成することと隣接するバンク層６０の間に位置する平坦化層５０に選択的に凹凸を形成することとを同一工程で行う。 （もっと読む）

【課題】 膜形状のばらつきを低減させ、各パターンにおける膜厚が一様な機能膜及び配線を形成することが可能である、機能性膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１上に隔壁または親液領域を形成し、隔壁または親液領域内に機能性膜２の形成材料を含む液体３を付与し、機能性膜４を形成する。次いで、機能性膜４を液化膨潤し、隔壁または親液領域内全域に拡がらせ、乾燥させて、機能性膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子を構成する各有機物層や駆動回路への熱的ダメージを低減しつつ、有機ＥＬ素子が設けられた基板と、電極とを、高い寸法精度で強固に接合し得る発光装置の製造方法、かかる発光装置の製造方法により製造された特性に優れる発光装置、および信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の発光装置の製造方法は、複数の陽極３が設けられた基板２０上に、シリコーン材料を含有する液状材料を、各陽極３を区画するように供給した後、乾燥することにより隔壁部３１を形成する工程と、隔壁部３１によって区画された各陽極３上に、正孔輸送層４および発光層５を形成する工程と、隔壁部３１の少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、隔壁部３１の表面付近に接着性を発現させ、隔壁部３１に発現した接着性によって、隔壁部３１と上基板９に設けられた陰極６とを接合する工程とを有する。 （もっと読む）