【課題】薄膜形成装置の真空槽内で水晶振動子を用いて膜厚を測定する場合に、水晶振動子の温度変化によって膜厚測定値に誤差が生じる。
【解決手段】膜厚センサ５の構成として、膜厚測定用の水晶振動子１１と、この水晶振動子１１を保持するハウジング１３と、このハウジング１３を保持するとともに、ハウジング１３を介して水晶振動子１１を冷却する水冷式のホルダ２０とを備えた構成とする。また、ハウジング１３とホルダ２０との間に、熱伝導性を有する振動吸収部材２３を挿入する。 （もっと読む）

【課題】電磁放射を放出するのに適した有機オプトエレクトロニクス素子と、その製造方法とを提供すること。
【解決手段】基板と、基板上の第１の電極と、第１の電極上に設けられ動作中に電磁放射を放射するのに適した少なくとも１つの第１の有機層列と、前記少なくとも１つの有機層列上の導電性の無機保護層と、前記無機保護層上の第２の電極とを有し、前記第１の電極（２）および第２の電極（５）のうち少なくとも１つは、透明酸化物層（２１）および透明金属層（２２）を含む層列（２１，２２，２３）を有する、有機オプトエレクトロニクス素子およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の利用効率をたかめ、有機化合物を含む層を有する発光装置の製造コストを低減するとともに、発光装置の製造に要する製造時間を短縮させることを課題とする。
【解決手段】成膜室内を減圧下とし、導電表面基板への通電によって、導電表面基板を急速に加熱し、導電表面基板上の材料層を短時間に蒸発させ、被成膜基板に蒸着し、被成膜基板上に材料層を成膜する。なお、急速に加熱する導電表面基板の加熱面積は、被成膜基板と同等のサイズとし、１回の加熱で１枚の被成膜基板への成膜を終了させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、パッシベーション層の透明性が良好であることに起因して、有機ＥＬ素子の優れた色再現性が実現可能な、有機ＥＬ素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】パッシベーション層を備える有機ＥＬ素子を製造するにあたり、パッシベーション層をＣＶＤ法によって形成するに際し、ガス組成比を一定とするとともに、ガス圧力を変調させて、内部応力が圧縮応力である層と内部応力が引張応力である層とを積層する。 （もっと読む）

【課題】真空プロセスのみの単一プロセスによって製造可能であるとともに、耐溶剤性に優れた透明導電性フィルムを提供すること。
【解決手段】プラスチックフィルム（１）の少なくとも一方の面に、プラズマソースとして希ガス、水素、窒素、アンモニアガスのうち少なくとも一種類のガスを用いたプラズマイオン注入法によって層厚が１５ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であるイオン注入層（２）が形成されており、前記イオン注入層の上にガスバリア層（３）、透明導電層（４）を順次形成してなることを特徴とする透明導電性ガスバリアフィルム。 （もっと読む）

【課題】有機発光媒体層を形成する有機ＥＬ素子の製造方法において、乾燥工程における全ての有機発光媒体層へのダメージが抑えられ、欠陥やムラのない有機ＥＬ素子の製造方法および表示装置を迅速に提供すること。
【解決手段】第１電極と、第１電極に対向するように設けられた第２電極と、第１電極と第２電極の間に少なくとも有機発光層を含む有機発光媒体層を具備した有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、基板冷却しながら有機発光媒体層を乾燥することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】多色画像を表示可能な有機ＥＬディスプレイの製造において、ファインメタルマスクを使用することなしに発光層を形成可能とする。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法は、絶縁基板に支持された複数の電極を含んだ電極アレイ上に第１ルミネッセンス性有機材料を堆積させて、前記電極アレイを含む表示領域の全体に亘って広がった連続膜として第１発光層を得ることと、前記第１発光層のうち前記複数の電極の一部と向き合った部分に、前記第１発光層のうち前記複数の電極の他の一部と向き合った部分に第１光を照射することなしに第１光を照射して、前記第１発光層のうち前記第１光が照射された部分で前記第１ルミネッセンス性有機材料を前記第１ルミネッセンス性有機材料とは異なる材料へと変化させることとを含む。 （もっと読む）

【課題】フルカラーの有機ＥＬパネルの作製にかかる時間を大幅に短縮する技術を提供することを課題とする。
【解決手段】液滴吐出装置で選択的に形成した第１の材料層と、表面に有機化合物を含む層が形成された導電表面基板を用いる蒸着法で形成した第２の材料層との積層を、一対の電極間に設けた複数種類の発光素子でフルカラーの発光装置を実現する。また、第１の材料層は有機化合物と、無機化合物である金属酸化物とが混在する層である。発光色毎に異なる発光素子の第１の材料層の膜厚をそれぞれ調節することで、光の干渉現象によって白色発光成分中の青色発光成分、緑色発光成分、或いは赤色発光成分を選択的に強調して取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】光透過率が高くて仕事関数の調節が容易であり、これにより、カソードの選択に対する自由度を高くするようなアノードを含む有機発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１金属酸化物に第１金属酸化物と異なる第２金属酸化物がドープされた第１層２１を備えるアノード２と、アノードと対向したカソード４と、アノードとカソードとの間に設けられた発光層３２を備える有機層３と、を備える有機発光素子及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】精細度に問題があるメタルマスクを使わずに、色変換層を微細に選択的に形成することで色変換方式の多色発光デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板上にそれぞれ異なる波長域の光を透過する、２種類以上のフィルタを独立して配設してなるカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程と、
前記カラーフィルタ形成工程で形成されたカラーフィルタの上面に平坦化層を形成する平坦化層形成工程と、
前記平坦化層形成工程で形成された平坦化層の上面に、色変換層に対する親和性が低く、付着防止層として機能する層を所望のパターンで形成する付着防止層形成工程と
前記平坦化層とその上に所望のパターンで形成された付着防止層上に、ある波長の光を吸収し、吸収した波長と異なる波長を含む光を出力する色変換層を蒸着法によって形成する色変換層形成工程と
を有することを特徴とする多色発光デバイスの製造方法。 （もっと読む）

有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を製造する方法であり、前記ＯＬＥＤにおける物理的欠陥の形成を減らす方法であって、第１基板及び第２基板から塵埃粒子を取り除くステップと、前記第１基板及び前記第２基板を、蒸着法を用いて別々にコーティングするステップと、前記第１基板及び前記第２基板を真空中で積層するステップとを有する方法が開示されている。
（もっと読む）

基板（１）、第１の電極（２）、前記第１の電極上の有機機能層（４）及び前記有機機能層（４）上の第２の電極（５）を有する、有機電気素子を記載する。前記第１の電極及び／又は前記第２の電極（２，５）はレニウム化合物を含有する。さらに、レニウム化合物を含有する電極を有する有機電気素子の製造方法を記載する。
（もっと読む）

【課題】湿式成膜法により形成された有機層を有する、長寿命な有機電界発光素子を提供する。
【解決手段】陽極と、陰極と、該陽極と該陰極の間に配置された、１層または２層以上の有機層とを有する有機電界発光素子において、該有機層のうち、少なくとも１層は、分子量３０００以上の有機化合物を含有せず、有機溶媒を０．０１〜２０ｍｏｌ％含有する有機電界発光素子。この有機溶媒含有層は湿式成膜法により形成された発光層であることが好ましい。 （もっと読む）

【目的】 有機ＥＬ層などの有機層と封止膜との間に水分や酸素が介在することを防止でき、また封止膜の形成過程で有機ＥＬ層などの有機層が熱などで変質することを防止できる、有機ＥＬ層などの有機層の封止膜の形成方法を提供する。
【構成】 基板に有機ＥＬ層などの有機層を形成した後、ミラートロンスパッタ法により前記有機層及び／又は電極の上に封止膜を形成する工程を含むものである。また、基板に有機ＥＬ層などの有機層を形成した後、ミラートロンスパッタ法により前記有機層及び／又は電極の上に封止膜（スパッタされて叩き出された原子又は粒子を反応性ガスと反応させて成る化合物封止膜でもよい）を形成する工程と、さらに前記第１の封止膜の上にミラートロンスパッタ法によりスパッタされて叩き出された原子又は粒子を反応性ガスと反応させて化合物封止膜を形成する工程と、を含むものである。 （もっと読む）

有機成分を気化し、および該蒸気をマニホールド中の開口部を通じて該マニホールドから間隔をあけられた基板表面へ供給して、少なくとも二つの有機成分から構成された膜を形成する方法であって：単一の第１有機成分の第1の量を気化デバイスに供給し、そこでは該成分が気化され及び第1の所定速度で該マニホールドへ供給され；該第1有機成分を含む所定比率の有機成分混合物の或る量を輸送装置へ供給し；該輸送装置が該有機成分混合物を第2の所定速度で急速加熱領域に供給し、そこでは該混合物が気化され及び該マニホールドへ供給され；および、該有機成分を該マニホールド中で混合し、該混合気化成分が該開口部を通って該基板表面に堆積されることを可能にして、該膜を形成すること、を含んでなる方法。 （もっと読む）

【課題】透明伝導性酸化膜であるカソードを備える有機電界発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】素子基板１０上に位置するアノードＡと、アノード上に位置し、少なくとも有機発光層１４を備える有機機能膜Ｆと、有機機能膜上に位置し、透明伝導性酸化膜であるカソードＣと、を備える有機電界発光素子である。これにより、有機電界発光素子の共振効果を除去しうる。その結果、角度による輝度変化及び色転移が除去される。 （もっと読む）

【課題】インキジェット印刷装置を使用して、基板上に長細い形状の画素を多数配列して構成される光学素子のストライプ状のパターンを構成する特定の画素と、この画素と隣接する同一色の画素の間隔（ピッチ）との間の吐出の安定性及び解像度を向上させることを課題とする。
【解決手段】光学素子の画素のそれぞれの内部に複数の吐出位置を定めると共に、これら複数の吐出位置を互いに画素の長手方向に異なる位置に定め、複数のノズルのそれぞれを前記画素の端部から順番に数えた自然数ｎで特定し、この自然数ｎを前記繰り返しの回数ａで除したときの剰余をｂ（ただし、ｂは０≦ｂ≦ａ−１を満たす整数）として、前記複数のノズルのそれぞれに剰余ｂを対応させ、剰余ｂに対応するノズルを吐出する単位工程を繰り返すことにより前記画素を印刷して光学素子を製造する。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く調整できる吐出量調整方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ノズルから液滴を吐出するときの吐出量を調整する吐出量調整方法に係る。ノズルから液滴を吐出する測定用吐出工程と、ノズル付近の温度であるノズル温度を冷却する第１冷却工程及び第２冷却工程と、測定用吐出工程にて、吐出された吐出量を測定する測定工程と、測定工程にて、測定された吐出量を目標吐出量に近づける調整をする調整工程とを有し、測定用吐出工程の後、測定工程及び調整工程を経て吐出量を調整した後、再度測定用吐出工程を行うとき、測定用吐出工程と再度行う測定用吐出工程との間に第１冷却工程及び第２冷却工程を行う。 （もっと読む）

発光素子構造体及び発光素子構造体の形成方法が提供される。構造体は、透明基板と、透明基板の上に形成された透明電極と、第一透明電極の上に形成された一層以上の発光層と、一層以上の発光層の上に形成された反射電極と、素子の光コントラスト向上のために透明基板の上に形成された粗面化層とを含む。構造体は、屈折率勾配層を更に含むのが有利である。 （もっと読む）

【課題】画素構造を最適化することにより、開口率を向上させたＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】スイッチング用ＴＦＴのゲート電極に近接して設けられた半導体層と、電流制御用ＴＦＴのゲート電極に近接して設けられた半導体層と、スイッチング用ＴＦＴのゲート電極および電流制御用ＴＦＴのゲート電極と同一面上に設けられたソース配線と、スイッチング用ＴＦＴのゲート電極、電流制御用ＴＦＴのゲート電極、およびソース配線を覆う絶縁膜と、ソース配線および前記スイッチング用ＴＦＴの半導体層に電気的に接続された第１の接続配線と、電流制御用ＴＦＴのゲート電極および前記スイッチング用ＴＦＴの半導体層に電気的に接続された第２の接続配線と、電流制御用ＴＦＴの半導体層と電気的に接続された画素電極と、発光層と、画素電極と対向する電極とを有するＥＬ素子とを有するＥＬ表示装置。 （もっと読む）