【課題】フォトレジスト現像排水中の有機フッ素化合物を効率的に除去できるフォトレジスト現像排水の排水処理システム。
【解決手段】有機フッ素化合物及び水酸化テトラアルキルアンモニウムを含むフォトレジスト現像排水の水酸化テトラアルキルアンモニウム／有機フッ素化合物（質量比）で表される含有比率を低減する前処理装置と、アニオン交換体を含むイオン交換体を充填したアニオン交換塔３０と、前記前処理装置で処理した水を前記アニオン交換塔３０に流す手段とを設ける。前記前処理装置は、電気透析装置２０であってもよく、膜分離装置であってもよく、カチオン交換体を含むイオン交換体を充填したカチオン交換塔であってもよい。さらに、前記アニオン交換塔３０に再生液を流す手段と、前記アニオン交換塔３０を流通した再生液を分解処理する分解装置１００とを設けることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＡなどのアミノ基を有する水溶性有機溶媒含有水からこの水溶性有機溶媒を効率よく回収することができるアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置を提供する。
【解決手段】水溶性有機溶媒含有水（被処理液）を混合・吸着槽１に導入し、カチオン交換樹脂貯槽４からＨ形カチオン交換樹脂を該混合・吸着槽１内に導入して攪拌し、水溶性有機溶媒をＨ形カチオン交換樹脂に交換吸着させる。混合・吸着槽１内のカチオン交換樹脂を分離再生槽２に導入し、再生剤貯槽６内の酸を該分離再生槽２に導入して、水溶性有機溶媒の溶離とカチオン交換樹脂の再生を行う。溶離させた液を取り出して水溶性有機溶媒を回収する。再生されたＨ形カチオン交換樹脂をその貯槽４に戻す。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成と操作により、排水を高濃縮しても、微生物の増殖を抑制してスライムの発生による分離膜の目詰まりを防止して膜分離を行うことができ、これにより差圧の上昇を防止して効率よく排水から水を回収でき、安定した運転が可能な方法および装置を提案する。
【解決の手段】排水を逆浸透装置１に供給し、逆浸透膜２を通して水を透過液室３側に透過させて回収水を得、濃縮液室４の濃縮液の一部を取出すとともに、他の一部を循環経路Ｌ４を通して濃縮液室４へ循環する過程においてカチオン除去装置６でカチオンを除去して、スライムの発生を抑制しながら、膜分離処理を行うことにより、差圧の上昇を防止して効率よく排水から水を回収する。 （もっと読む）

【発明の課題】水質の良い超純水を供給するとともに、逆浸透装置における水回収率の向上を図るとともに、安定した純水装置の運転を維持できることが可能な純水製造の方法及び装置を提供する。
【解決手段】カチオン交換樹脂装置１と、脱気装置２と、第１の逆浸透装置３と、第２の逆浸透装置４とを有し、さらに、第１の逆浸透装置３の透過水を製造された純水として収容する透過水ピット５と、前処理装置で処理された被処理水及び第２の逆浸透装置４から返送された透過水を収容する被処理水ピット１１と、被処理水をそれぞれ後段の装置へ送液するポンプ１２，３２と、第１の逆浸透装置３の濃縮水を収容する濃縮水ピット４１と、濃縮水ピット４１に収容された濃縮水を第２の逆浸透装置４へ送液するポンプ４２と、第２の逆浸透装置４の透過水を被処理水ピット１１へ返送する配管と、から構成される純水製造装置。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤ製造排水等のリン酸、硝酸及び酢酸などの有機酸を含む排水を、カルシウム化合物を用いるリン酸除去処理と、その後のＲＯ膜分離処理により、スケール析出等のトラブルを引き起こすことなく、また、薬剤使用量を抑えた上で効率的に処理する。
【解決手段】リン酸含有水にカルシウム化合物を添加すると共にｐＨ６．５以下に調整し、析出したリン酸アパタイトを固液分離し、分離水に酸を添加してｐＨ５．５以下にｐＨ調整するか、或いは、脱カルシウム処理した後、ＲＯ膜分離処理するリン酸含有水の処理方法。このＲＯ膜濃縮水は更に脱窒処理される。 （もっと読む）

【課題】ホウ酸を含む一次冷却水を接触させても、陰イオン交換樹脂に割れや亀裂が発生しない脱塩装置を目的とする。
【解決手段】本発明の一次冷却系８の脱塩装置は、加圧水型原子力発電所の一次冷却水を浄化する脱塩装置であって、細孔容積が０．０５〜０．５０ｍＬ／ｇ−乾燥樹脂（Ｃｌ形）、かつ、平均細孔半径が２〜５０ｎｍ（Ｃｌ形）の、多孔形陰イオン交換樹脂が充填された浄化手段を有することよりなる。本発明の一次冷却水の浄化方法は、細孔容積が０．０５〜０．５０ｍＬ／ｇ−乾燥樹脂（Ｃｌ形）、かつ、平均細孔半径が２〜５０ｎｍ（Ｃｌ形）の多孔形陰イオン交換樹脂に、加圧水型原子力発電所の一次冷却水を接触させることよりなる。 （もっと読む）

【課題】ホウ酸を含む一次冷却水を接触させても、陰イオン交換樹脂に割れや亀裂が発生しない脱塩装置を目的とする。
【解決手段】本発明の一次冷却系８の脱塩装置は、加圧水型原子力発電所の一次冷却水を浄化する脱塩装置であって、ホウ酸形陰イオン交換樹脂が充填された浄化手段を有することよりなる。本発明の一次冷却水の浄化に用いるホウ酸形陰イオン交換樹脂の調製方法は、ＯＨ形陰イオン交換樹脂を充填した浄化手段に、ホウ酸溶液の通液量に従ってホウ素濃度を高めて通液することよりなる。本発明の一次冷却水の浄化に用いるホウ酸形陰イオン交換樹脂の調製方法は、空間速度ＳＶ＝１５Ｌ／Ｌ−Ｒ・ｈ^−１以下で、ホウ酸溶液をＯＨ形陰イオン交換樹脂を充填した浄化手段に通液させることよりなる。 （もっと読む）

【課題】不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にＨ形カチオン交換樹脂を混合し、懸濁状態で反応させて脱アルカリ処理した後、脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する前処理を行う廃液処理において、廃液中の固形物の系内蓄積による運転障害を防止して、長期に亘り安定かつ効率的な処理を行う。
【解決手段】不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にＨ形カチオン交換樹脂を添加混合して脱アルカリ処理するに先立ち、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を除去するか或いは破砕して、不溶解成分を除去した液又は不溶解成分が破砕された液を脱アルカリ工程に導入する。 （もっと読む）

【課題】カチオン交換樹脂から溶出するＴＯＣ由来の硫酸イオン濃度の低い、高純度な処理水質を得ることが可能な復水脱塩方法及び装置の提供。
【解決手段】沸騰水型原子力発電プラントの復水をイオン交換樹脂で脱塩処理する復水脱塩方法において、（ａ）強酸性ゲル型カチオン交換樹脂からなる上層部と、（ｂ）平均粒径値が４５０〜６００μｍの範囲であり、平均粒径値±１００μｍの範囲の樹脂粒存在率が９５％以上ある強酸性ゲル型均一粒径カチオン交換樹脂と、ガウス分布アニオン交換樹脂とが均一に混合された混床からなり、前記混床は、前記アニオン交換樹脂の存在比が混床全域にわたって設計基準値±５％以内となるように均一に混合された下層部と、を有するイオン交換樹脂床に復水を接触させて復水の脱塩処理を行うことを特徴とする復水脱塩方法。 （もっと読む）

【課題】ＢＷＲ原子力発電プラントの復水脱塩装置による復水処理において、クラッド濃度が低く且つ硫酸イオン濃度の低い、高純度な処理水質を得ることのできる復水脱塩方法及び装置の提供。
【解決手段】沸騰水型原子力発電プラントの復水をイオン交換樹脂で脱塩処理する復水脱塩方法において、
（ａ）架橋度が２％〜７％の範囲の強酸性ゲル型カチオン交換樹脂からなる上層部と、
（ｂ）架橋度が８％〜１６％の範囲の強酸性ゲル型カチオン交換樹脂と、強塩基性１型アニオン交換樹脂との混床からなる下層部と、を有するイオン交換樹脂床に復水を接触させて復水の脱塩処理を行うことを特徴とする復水脱塩方法。 （もっと読む）

【課題】原子力発電プラントの復水脱塩装置による復水処理において、カチオン交換樹脂から溶出するＴＯＣ由来の硫酸イオン濃度の低い、高純度な処理水質を得ることができる復水脱塩方法及び装置の提供。
【解決手段】原子力発電プラントの復水をイオン交換樹脂で脱塩処理する復水脱塩方法において、強酸性ゲル型カチオン交換樹脂と、架橋度が１％〜４％の範囲の強塩基性１型ポーラス型アニオン交換樹脂とが均一に混合された混床を有するイオン交換樹脂床に復水を接触させて復水の脱塩処理を行うことを特徴とする復水脱塩方法。 （もっと読む）

【課題】水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にＨ形カチオン交換樹脂を混合し、懸濁状態で反応させて脱アルカリ処理した後、脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離し、分離したカチオン交換樹脂を再生して循環使用する前処理を行う廃液処理において、カチオン交換樹脂再生時の水溶性樹脂成分の析出や、樹脂への固形分の付着、混入、それによる固形物の系内蓄積に起因する運転障害を防止して、安定かつ効率的な処理を行う。
【解決手段】カチオン交換樹脂の再生に際し、カチオン交換樹脂を水で前洗浄し、前洗浄後のカチオン交換樹脂を酸と接触させて再生する。前洗浄において、再生容器内のカチオン交換樹脂に、カチオン交換樹脂の体積の４体積倍以上の水を上向流通水して洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成と操作により、高濃度の液状で運搬可能であり、回収物として有用な高純度のリン酸を、リン酸含有水から低コストで、かつ効率よく回収できるリン酸を回収する方法および装置を提案する。
【解決の手段】食塩脱塩率が５０〜９０％の逆浸透膜４ａを備えた逆浸透装置４に、ｐＨ３以下、かつリン酸濃度１〜１５重量％のリン酸含有水を供給して逆浸透処理を行い、リン酸以外の酸を水とともに透過液室４ｃ側に透過させ、リン酸を濃縮液室４ｂ側に濃縮し、透過液を脱塩して純水７ａを回収し、濃縮液から水とともに揮発性成分を除去してリン酸濃縮液９ａを回収する。 （もっと読む）

【課題】比表面積が大きいフィルタ用繊維と、この繊維を巻回してなる糸巻型フィルタと、この糸巻型フィルタを用いた水処理方法とを提供する。
【解決手段】糸巻型フィルタ１は、水透過性の筒体２と、この筒体２の外周に巻回された繊維の巻回体層３とを備えている。巻回体層３は、ナノファイバー被覆繊維を複数本、撚りをかけて集束して繊維束としたものである。ナノファイバーは、カチオン交換基、アニオン交換基及びキレート基の少なくとも１種が付与されていることが好ましく、これにより糸巻型フィルタにイオン除去性能が付与される。 （もっと読む）

【課題】 熱安定性アミン塩を含むアミン液を簡単な装置と操作で効率よく再生することができるとともに、熱安定性アミン塩から生成する難分解性成分を吸着したイオン交換樹脂を効果的に再生することができ、再生排液処理も安定して高効率で容易に行うことができるアミン液の再生方法を提案する。
【解決手段】 ガス精製装置１に付随して複数のイオン交換装置２を設け、イオン交換装置２から離れた場所に、再生センターとして樹脂再生装置３および再生排液処理装置４を設け、イオン交換装置２と樹脂再生装置３間に着脱交換式のカチオン交換ユニット５およびアニオン交換ユニット６を行き来するように移送し、イオン交換装置２に装着してアミン液に含まれるカチオンおよびアニオンをそれぞれカチオン交換ユニット５およびアニオン交換ユニット６に吸着させた後、脱着して樹脂再生装置３へ移送して樹脂を再生し、再生排液を再生排液処理装置４で再生する。 （もっと読む）

【課題】ホウ素濃度が１ｎｇ／Ｌ以下の超純水を安定して製造することができる超純水製造装置と、これを用いた超純水製造方法、電子部品部材類の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを備えた混床式脱イオン装置１６を最後段の脱イオン装置として設置した超純水製造装置において、該アニオン交換樹脂として、ホウ素含有量が規定値以下であることを確認したアニオン交換樹脂を用いる。規定値は、好ましくは５０μｇ／Ｌ−アニオン交換樹脂（湿潤状態）である。 （もっと読む）

【課題】コバルトイオン吸着容量が大きいリン酸ジルコニウムイオン交換体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】リン酸ジルコニウム粉末をアルキルアミン水溶液中で処理したコバルト吸着材で基本構造が、一般式
Ｚｒ（ＨＰＯ_４）_２ｘＨ_２Ｏ・ｙＣ_ｎＨ_２ｎ＋ｚ（ＮＨ_２）_２−ｚ
（式中のｎは４〜１２の整数、ｘは０より大きく３未満の数、ｙは０より大きく３未満の数、ｚは０又は１である。）で表されるリン酸ジルコニウム／アルキルアミン複合体から成り、微粒子の形態を有するコバルトイオン吸着材、及びリン酸ジルコニウムに脂肪酸アミン水溶液を混合し、攪拌操作を行い、得られた沈殿物を、ろ別、乾燥処理を施すことから成る上記コバルトイオン吸着材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】不純物の残存や分解物の発生が抑制された、溶出物の少ないアニオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】下記（ａ）〜（ｅ）の工程を含むアニオン交換樹脂の製造方法。
（ａ）モノビニル芳香族モノマーと架橋性芳香族モノマーとを共重合させて架橋共重合体を得る工程
（ｂ）特定の溶出性化合物の含有量を、架橋共重合体１ｇに対して４００μｇ以下とする工程
（ｃ）架橋共重合体をハロアルキル化して、モノビニル芳香族モノマーに対して８０モル％以下のハロアルキル基を導入する工程
（ｄ）ハロアルキル化架橋共重合体から、特定の溶出性化合物を除去する工程
（ｅ）ハロアルキル化架橋共重合体をアミン化合物と反応させる工程 （もっと読む）

【課題】不純物の残存や分解物の発生が抑制された、溶出物の少ないアニオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】下記（ａ）〜（ｅ）の工程を含むアニオン交換樹脂の製造方法。
（ａ）モノビニル芳香族モノマーと架橋性芳香族モノマーとを共重合させて架橋共重合体を得る工程
（ｂ）特定の溶出性化合物の含有量を、架橋共重合体１ｇに対して４００μｇ以下とする工程
（ｃ）架橋共重合体をハロアルキル化する工程
（ｄ）ハロアルキル化架橋共重合体から、特定の溶出性化合物を除去する工程
（ｅ）ハロアルキル化架橋共重合体をアミン化合物と反応させる工程 （もっと読む）

【課題】設備コスト、ランニングコスト値をさほど上げることなく、ＴＯＣ濃度を格段に低減させた超純水を製造し得る超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】被処理水を、紫外線分解装置で処理する紫外線処理工程と、紫外線処理工程を経た被処理水をイオン交換装置で処理する脱イオン工程と、前記紫外線処理工程前、又は前記紫外線処理工程の後前記脱イオン工程の前に、前記被処理水を尿素除去手段で処理する尿素除去工程とからなるＴＯＣ低減工程を備えることを特徴とする超純水の製造方法及び製造装置を使用する。 （もっと読む）