【課題】周波数帯域の低い圧電素子を用いることで熱による圧電素子の損傷を防止するとともに、霧化した液体を集中的に放射することで霧化効率を向上させた超音波霧化装置及びそれを備えた設備機器を提供する。
【解決手段】超音波霧化装置１０は、２０ｋＨｚ〜８０ｋＨｚの周波数帯域の超音波を発生するＰＺＴ振動子１３と、ＰＺＴ振動子１３の振動と共振することで共振波を発生する共振体１４と、共振体１４のＰＺＴ振動子１３側とは反対側に複数個取り付けられ、共振体１４からの共振波が内部を伝搬する突起部１５とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周波数帯域の低い圧電素子を用いることで熱による圧電素子の損傷を防止するとともに、霧化した液体の噴霧距離を向上させた超音波霧化装置及びそれを備えた設備機器を提供する。
【解決手段】超音波霧化装置１０は、２０ｋＨｚ〜８０ｋＨｚの周波数帯域の超音波を発生するＰＺＴ振動子１３と、ＰＺＴ振動子１３の振動と共振することで共振波を発生する共振体１４と、共振体１４のＰＺＴ振動子１３側とは反対側に取り付けられ、共振体１４からの共振波が内部を固体伝搬し、この共振波と固有振動数を一致させた突起部１５とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被処理基板上に凸凹のない平坦な塗布膜を形成すること。
【解決手段】このレジスト塗布処理において、２回目以降のＹ方向走査では、レジストノズル１５４の直ぐ後で超音波照射部１６０をオン状態で、つまり両帯状レジスト液膜Ｒ(1)，Ｒ(2)の境界Ｅ付近に向けて超音波を放射させながらレジストノズル１５４と一体に移動させる。この超音波照射部１６０の超音波照射走査により、両帯状レジスト液膜Ｒ(1)，Ｒ(2)の境界Ｅ付近では、レジスト液が低粘度化ないし流動化して、液膜表面が基板面と平行な方向（水平方向）に均され、凸凹が除去される。 （もっと読む）

【課題】 超音波霧化装置において、簡単な構成によって安定した霧化機能が得られるようにする。
【解決手段】 貯液部１は内部に液体３を溜める。吸水部５は貯液部１差し込まれ液体３を吸液、保水する。ガイド部材９は貯液部１の開口部７近傍の外周に配置される。支持部材１１はガイド部材９内に横置きした状態で変位自在に収容される。圧電セラミックス１３は支持部材１１の裏面に固定される。被振動板１７は小孔２３を有し圧電セラミックス１３の貫通孔１５を横切ってこれを塞ぐ。被振動板１７はこの中央部が支持部材１１および圧電セラミックス１３を含めた自重によって吸水部５の上端面に圧接される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、香料、医薬品など生活の中で使用する化学物質を霧に含有して放出するための超音波式霧発生装置であって、特に、小型で、大量の霧を効率よく発生する装置に関する。
【解決手段】
中心軸の周りに複数の振動面を持つ超音波発生体と、各振動面に対向するように設けられた複数の超音波反射板とからなり、反射した超音波は、液体の所定領域に集中するように設定され、飛散液体は、霧搬送筒、又は、霧搬送管に導かれ外部に放出される。超音波反射板には、凹面鏡レンズを用いることができる。超音波は、超音波伝播媒体と超音波通過膜を介して、霧化対象液体の前記所定領域に集中するように設定できる。超音波発生体は、１枚の超音波振動子の両面を振動面として用いることができる。霧搬送筒には、霧に化学物質を含有させる機構を設けてもよい。液面付近に液中管を設け前記中心軸の周りに霧を集中させてもよい。 （もっと読む）

【課題】 例えば霧化装置に用いられる超音波振動ユニットにおいて、振動源としての圧電セラミックスに形成した電極間が液体によって短絡され難くする。
【解決手段】 圧電セラミックス２９は対向面に第１、第２の電極３９ａ、３９ｂを有する。圧電セラミックス２９の一端辺には微細な小孔４１を多数有する被振動板３１を部分的に重ねる。圧電セラミックス２９には第１、第２の電極３９ａ、３９ｂを大きく覆うように絶縁性の弾性板３５ａ、３５ｂを重ねる。弾性板３５ａ、３５ｂの上から圧電セラミックス２９を押圧するようにして、第１、第２のケース部材３７ａ、３７ｂにて圧電セラミックス２９全体を覆う。 （もっと読む）

【課題】 霧化効果が良くて、エネルギーの節約ができ、且つ、体積が小さい微霧滴発生装置を安価に提供する。
【解決手段】 本発明は噴出孔板２０は本体１０の開口１２に取り付け、その一面は収容室１１内の流体と接触するようにする。振盪エレメント３０は噴出孔板２０と結合させて往復振動させる。噴出孔板２０と頂面エレメント４の頂面４１との開口小腔体５０を形成し、該小腔体５０内の流体が圧縮をうけることにより、噴出孔２１から微霧滴５１が噴出できるように構成されて成るものである。 （もっと読む）

本発明による液体噴射装置が備える液体噴射デバイス１０は、第１液体が導入されるチャンバー１０−３と、圧電／電歪素子１１と、圧電／電歪素子１１を保持する加振用チャンバー１２とを具備している。圧電／電歪素子は、複数の電極層を備えて振動する活性部と、電極層を備えずに振動しない不活性部とからなる。活性部は圧電／電歪素子のＹ軸方向略中央部にのみ設けられ、Ｙ軸方向両端部は不活性部となっている。加振用チャンバーは圧電／電歪素子のＹ軸方向両端部の不活性部にて同圧電／電歪素子を保持する。圧電／電歪素子の活性部の変形による振動は加振用チャンバー内の第２液体を介して液体噴射孔１０−３ａから噴射される第１液体に伝達される。
（もっと読む）

【課題】 圧電セラミックスの端部に被振動板をせり出すように固着した超音波振動ユニットにおいて、小形の被振動板を省電力で安定かつ大きく振動させるようにする。
【解決手段】 超音波振動ユニット２３は、平板状の圧電セラミックス２５の一端辺２９の側に被振動板２７を部分的に重ねて固着してなる。超音波振動ユニット２３は、圧電セラミックス２５の長さ振動に基づいて被振動板２７を超音波振動させる。圧電セラミックス２５は、その一端辺２９とこれに対向する対向辺３１との間の中央に一端辺２９と平行設定した仮想線Ｔに対し非対称の平面視形状を有する。 （もっと読む）

下端から上端まで液体を引き上げる毛細管通路を有する多孔性部分と約５容積％以下の多孔率を有するほぼ非多孔性部分を含む中実で寸法安定性の高いウィック。該ウィックはリザーバから噴霧装置へ流体を供給する際に特に有用である。
（もっと読む）