【課題】粒径のバラツキが大きい原料粉末を用いても、空隙の少ない緻密な堆積膜を成膜可能にすること。
【解決手段】網の目状に貫通孔が形成された平板に原料粉末を付着させ、前記平板に付着した前記原料粉末にガスを吹き付けて、前記原料粉末を形成する粒子と前記ガスを混合し、前記粒子を、真空中で前記ガスと共に基板に向かって噴射する。 （もっと読む）

【課題】高い配量精度において単位時間当たり広範囲な区間で調節可能なパウダー量を放出することができる、パウダー用の配量装置を提供する。
【解決手段】パウダー用の配量装置（１０）は、パウダーのための入口（１２）と出口（６４）を有している。入口（１２）から出口（１４）へ回転可能な配量ディスク（１６）が、焼結材料（２８）からなる配量領域を有しており、その焼結材料には、パウダーを体積測定配量するためのキャビティが設けられている。 （もっと読む）

【課題】農薬などの粉粒体の吸湿および固化を防止し、粉粒体を定量的に供給することができ、粉粒状の農薬を温室ハウスなどの施設内に散布する、いわゆるダクト散布法に好適に用いることができる粉粒体供給装置および農薬散布装置、これらを用いた農薬散布方法および病害防除方法を提供する。
【解決手段】粉粒体を保持する保持手段１１と、粉粒体を保持手段１１から放出し外部に供給する放出手段１２と、を備えた粉粒体供給装置１であって、保持手段１１は、所定量の粉粒体を収納する複数の収納空間１１１Ａを備え、放出手段１２は、いずれか一つまたは複数の収納空間１１１Ａを開封して収納された粉粒体を放出させる。 （もっと読む）

【課題】粉末粒子を被覆する動的吹き付けシステムのノズルアッセンブリを提供する。
【解決手段】動的吹き付けシステムのノズルアッセンブリは、先細部、スロート部及び末広部を備え、各々は、高圧加熱ガスの流れに浮遊した粉末粒子の混合物を通過させるための通路を画定するように協働する。ノズルアッセンブリは、末広部に取り付けられ、且つ、ノズルアッセンブリの末広部から所定の長さで末端部まで延在する延長部を更に備える。延長部は、高圧加熱ガスの流れにより粉末粒子に発揮された引きずり力が、より長い期間に亘って粉末粒子に作用することを可能にし、これによって粉末粒子を以前には達成できなかったより高速度にまで加速することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法によって成膜を行う成膜装置において、エアロゾルの流れを安定化して均一な膜形成を行なうことのできる成膜装置を提供することにある。
【解決手段】成膜装置１には、噴出口２５の長手方向の側方に設けられてこの噴出口２５から噴射されたエアロゾルの噴射流Ｅ１の側方を覆う遮蔽板２６が備えられている。これにより、排気流Ｆによって噴射流Ｅ１が乱れることを抑制し、均一な膜を形成できる。特に、噴射流が大きく流れる噴出口２４の長手方向の側方で流れを遮るように遮蔽板２６を設置することで効果的に噴射流Ｅ１の乱れを抑制できる。また、遮蔽板２６が、成膜チャンバ２０内部での排気口２１に向かう排気流Ｆに対して交差方向に配されている。また、遮蔽板２６は一対が噴射流Ｅ１を挟んで互いに対向して設けられている。また、遮蔽板２６は噴射流Ｅ１に相対する内側面が凹面２６Ａとされている。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルを停止することなく原料の補充が可能な複合構造物形成システム及び形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させて前記微粒子の構成材料からなる構造物と前記基材との複合構造物を形成する複合構造物形成システムであって、前記微粒子を収容する収容機構と、前記微粒子をガス中に分散させてエアロゾルを形成するエアロゾル化機構と、前記収容機構から前記エアロゾル化機構に前記微粒子を供給する供給機構と、前記収容機構と前記エアロゾル化機構との間のガスの流れを遮断する圧力遮断機構と、前記エアロゾル化機構に前記ガスを供給するガス供給機構と、前記エアロゾルを前記基材に向けて噴射する吐出口と、を備えたことを特徴とする複合構造物形成システムを提供する。 （もっと読む）