【課題】コールドスプレー法において不可避的に発生する落下粉末を再利用可能な状態にする。
【解決手段】 コールドスプレー用粉末の再利用装置（2）は、コールドスプレー装置（1）のスプレーガン（13）から加速用ガス（Ｇ）とともにターゲット（16）に向かって噴射され、ターゲット（16）に付着しなかった粉末（Ｐ）を受けて拾集する受け容器（20）と、前記受け容器（20）で拾集した粉末（Ｐ）を導入し、旋回気流によって粉末（Ｐ）とガスとを分離するサイクロン分離器（30）とを備える。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法において粗大なセラミックス凝集粉等を容易に除去し、一次粒子の発生割合を容易に増やすことができ、得られる被膜の硬度や、成膜速度および成膜効率に優れる被膜形成方法および被膜形成装置を提供する。
【解決手段】原料セラミックス微粒子をガス中に分散させてエアロゾルとするエアロゾル発生装置１１と、捕集チャンバー３と、真空チャンバー５と、該真空チャンバー５内に配設されたエアロゾル噴射ノズル１２とを備える被膜形成装置１であって、捕集チャンバー３は、エアロゾル発生装置１１と、噴射ノズル１２との間に設けられ、エアロゾル発生装置１１から供給されるエアロゾル中の粗大なセラミックス微粒子を捕集チャンバー３の底部に沈降させて捕集し、噴射ノズル１２に供給されるエアロゾル中のセラミックス微粒子の平均粒子径が、0.1μm〜2μm である。 （もっと読む）

【課題】 付着量のバラツキを抑制し、標準粒子を安定して塗布できる標準粒子塗布装置を提供する。
【解決手段】 標準粒子塗布装置１０は、希釈液３１から標準粒子４２のエアロゾルを生成するエアロゾル発生部３と、標準粒子４２のエアロゾルが導入され内部に配置された対象物１に標準粒子４２を付着させる付着槽２１とを備える。対象物１の近傍には、水晶発振子５１が配置され、水晶発振子５１に付着した標準粒子４２の付着量に基づいて、付着槽２１への標準粒子４２の導入量を調整する標準粒子制御バルブ６２の開閉制御、もしくは、希釈液３１が収容された容器３２への希釈水の供給量を調整する希釈水バルブ６４の開閉制御が行われる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから噴射される微粒子の量を調整し、安定で均一性の高い成膜を得る。
【解決手段】 成膜材料の粒子を含むエアロゾルを形成するエアロゾル形成手段と、該エアロゾル形成手段により形成されたエアロゾルを噴射するノズルと、を有する成膜装置において、前記エアロゾル形成手段が、成膜材料の粒子の量を検出する検出手段と、形成するエアロゾルに含まれる、成膜材料の粒子の量を、前記検出手段の検出結果に基づいて、制御する手段と、を有する。 （もっと読む）

粉体塗装カートが２つの側部ポスト（１２、１４）を具備し、該側部ポストの上端には把持装置（１６）が設けられ、該把持装置は制御機器取付部（３０）によって互いに連結され、前記ポストは、その下端部において、異なる複数の粉体容器の１つを支持するベース部（１５）に連結されている。
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本発明は、装置の大型化を伴わず、しかも被散布体上への落下物が生じることなしに、大型の被散布体上に液晶用スペーサなどの微粉体を散布することが可能な微粉体の散布装置を提供することを目的とする。 この目的を達成するために、本発明に係る微粉体の散布装置は、被散布体と所定間隔離間して配置され、前記被散布体に対してガス体の気流とともに微粉体をその先端から放出する散布ノズル管と、前記被散布体と前記散布ノズル管とを相対的に３次元的に移動させる移動制御手段と、この移動制御手段により制御される前記散布ノズル管の支持部並びに前記被散布体の支持部とを有する微粉体の散布装置であって、前記散布ノズル管が、前記被散布体の鉛直上方への射影面外に設置されてなることを特徴とする。なお、前記被散布体がその支持部により所定回転速度で回転するように構成されてなることが好ましい。
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【課題】 超臨界晶析法によって微細な粒度分布も狭い粒子を効率良く得ることのできる微細粒子の生成装置を提供すること。
【解決手段】 流体を噴出させるノズルと、超臨界流体とを用いた超臨界晶析法による微細粒子の生成装置において、前記ノズル３１の開口７を、略一定幅の長尺な開口とした。 （もっと読む）