【課題】 基板周縁部ではノズルによる薬液の噴霧密度を低くして塗布することによって、基板全面に亘って膜厚が均一な薄膜の塗布を可能にしようとする薄膜塗布方法及びその制御装置を提供することである。
【解決手段】 薬液を噴霧するノズル１と基板２とを相対移動させて該基板２の表面に薄膜を塗布する方法であって、上記薬液の基板２面に対する噴霧密度が、上記基板２の中心部よりも周縁部２ａ〜２ｄで低くなるようにして塗布するようにしたものである。これにより、基板２の周縁端部２ａから２ｄにおける薄膜の盛り上がりを抑制し、基板全面に亘って膜厚の均一化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ロボット塗装において、スプレーガンを使用して塗装ロボットの近距離塗装のティーチングを行う場合に、吹き付け距離の近距離設定が容易に行えると共に、万一塗装物と接触した場合においても、塗装物の破損／落下・コンベアの損傷、あるいはスプレーガンの損傷・ロボットの故障・ティーチング棒の折損等の異常を生じてしまうことのないティーチング棒を提供する。
【解決手段】ロボット塗装時のスプレーガンの先端に取り付けするためのホルダーに棒状の可撓性部材をスプレーパターンの中心方向を示すように取り付けた。また、前記可撓性部材が片側に等間隔に突起部を形成した樹脂製の帯状体を該突起部同士が噛み合うように折り曲げて棒状にした。 （もっと読む）