【課題】 本発明は、薄い塗膜厚さをもつ塗布面が得られる水性塗料塗布方法及び水性塗料塗布ノズルを提供することを課題とする。
【解決手段】 水性塗料塗布ノズル１０は、ケース体１１に、水供給手段から加圧された水の供給を受ける水供給口３０と、この水供給口３０に連通し水を噴射する水噴射口３８と、材料供給手段から塗料の供給を受ける塗料供給口２３と、この塗料供給口２３に連通し塗料を貯える塗料たまり部１２と、この塗料たまり部１２に連通し塗料を噴射する塗料噴射口２７とを備え、この塗料噴射口２７は、細孔２４・・・を備えると共に、これらの細孔２４・・・の送り方向前後に塗料を押し広げる圧縮空気噴射口３３Ｆ、３３Ｒを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】塗布液を被塗布物に間欠的に塗布する間欠塗布において、塗布欠陥の発生を抑制しつつシート状基材等の被塗布物に塗布液を塗布する塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液を被塗布物に間欠的に塗布する間欠塗布において、塗布が行われない非塗布時間中に、塗布液吐出口付近に加湿エアを吹き付けて塗布液の溶媒の蒸発を抑制し、凝集物の生成を防止することにより、塗布欠陥の発生を抑制しつつシート状基材等の被塗布物に塗布液を塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、所定の塗膜厚さを維持しながら凹凸の少ない平滑な塗布面を得ることができると共に、塗布面の傾斜の大小に関係なく自動塗布を可能にする塗膜保護材塗布ノズル及び同塗布ノズルを利用した塗布方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 塗膜保護材塗布ノズル１０は、ケース体１１に、材料供給手段から塗料の供給を受ける塗料供給口２３と、この塗料供給口２３に連通し塗料を貯える塗料たまり部１２と、この塗料たまり部１２に連通し塗料を噴射する塗料噴射口２７とを備え、この塗料噴射口２７は、細孔２４・・・を備えると共に、これらの細孔２４・・・の送り方向前後に塗料を押し広げる圧縮空気噴射口３３Ｆ、３３Ｒを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 安定してウェハー上に均一に現像液を塗布することができ、レジストの寸法精度の向上を図ることが可能な現像方法及び現像装置を提供する。
【解決手段】 レジストが塗布、露光されたウェハー１をステージ２上に保持する工程と、前記ウェハー１上に、現像液３を所定幅で所定方向にスキャンパドルする工程と、前記現像液のスキャン方向側端面の位置を制御する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】軽量で、かつ発生する内圧力に対してスリットの開度の変化を極小にすることができるようにする。
【解決手段】塗布材料Ａを吐出口３ａから吐出するスリット３の両側に、かつスリット３に平行して第２のマニホールド７ａ，７ｂを設け、これらマニホールド７ａ，７ｂの開口部をダイヤフラム１０ａ，１０ｂで塞ぐ。これらマニホールド７ａ，７ｂに塗布材料またはその他の加圧流体を充填して内圧力を発生させる。塗布時、スリット３を塗布材料Ａが通ることにより、このスリット３内に内圧力が発生してスリット３の開度ｈを広げようとするが、マニホールド７ａ，７ｂに発生した内圧力によってこれが抑圧される。また、マニホールド７ａ，７ｂに発生した内圧力により、マニホールド外郭部９ａ，９ｂが変形変位するが、ダイヤフラム１０ａ，１０ｂがこれとともに変形し、スリット３の開度ｈに影響しない。 （もっと読む）

【課題】ロールとロール間に所定のテンションで張られたウエブ状の基材に塗布するウエブテンションダイコート装置で、特に上流側を減圧にして、エアーによる欠陥を防止する減圧式ウエブテンションダイコート装置の提供にある。
【解決手段】上流側ガイドロール２ｂと下流側ガイドロール２ａとの間に所定のテンションで張られて走行するウエブ状の被塗布物７上に、スロットダイヘッド１のスリット１ａ先端から吐出される塗液を塗布するウエブテンションダイコート装置において、前記上流側ガイドロール２ｂとスリット１ａ先端との間の被塗布物７上で、該被塗布物７の走行方向に逆らう方向へエアーを噴出するノズル３ａが配設されていて、このの上流部に除電バーユニット６が配設されている減圧式ウエブテンションダイコート装置である。 （もっと読む）

【課題】半田滴が酸化されることを不活性ガスの供給によって防止しつつも、着弾位置の精度を従来よりも向上し得る溶融金属吐出装置を得る。
【解決手段】ノズルプレート４は、平板状のプレート部４２と、プレート部４２の底面の中央部から下方に向けて先細り状に突出した突出部４１とを有している。突出部４１の下端には、半田滴８が滴下される吐出口５が規定されている。供給パイプ２０から供給された窒素ガスは、突出部４１の側面で受け止められた後、半田滴８の吐出方向（即ち下方）に向きを変えて噴出される。従って、半田滴８の吐出方向が窒素ガスによって曲げられてしまう事態を回避でき、吐出口５から滴下された半田滴８が酸化されることを防止しつつも、半田滴８の着弾位置の精度を向上することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 低粘度の塗工液を液ダレせずに均一に厚膜塗工できるダイコータ及び塗工方法を提供する
【解決手段】 本発明に係るダイコータは、ウエブに塗工液を塗工するダイコータにおいて、塗出口から塗出される塗工液の両側面にガスを噴射する噴射部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 水分や酸素の影響を抑制し安定した発光特性を維持するための粘性粘性吸湿部材を、適切に有機ＥＬパネルに塗布する。
【解決手段】 本発明の一態様における表示パネルの製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間の封止空間内に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記第１の基板上に塗布し、前記第１の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対して、前記粘性吸湿部材の厚みが小さくなるようにガスを吹き付け、前記粘性吸湿部材が前記封止空間内に配置されるように、前記第１の基板と前記第２の基板を接着剤によってシールするものである。 （もっと読む）

【課題】 ノズルに存在する噴射物質の乾燥を防止し得る液体噴射ヘッド及びその保湿方法を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッド１は、ノズル開口部２ａからなるノズル列２の周囲の少なくとも一部に、気体噴射溝４を有する。気体噴射溝４から噴射される気体は、ノズル開口部２ａが外気に対して露出したノズル露出領域に存在する外気と、ノズル露出領域以外に存在する外気と、を分離するためのエアカーテンを形成する。 （もっと読む）

【課題】 粘液状の塗布材料を塗布対象物に塗布するものにあって、塗布対象物と吐出ノズルとの間に生ずるテールによる不具合の発生を効果的に防止する。
【解決手段】 塗布ヘッド１０の先端部に取付けられたフルードノズル１９は、バルブ２１の開閉動作に基づき、接着剤通路１７を通して圧送されたホットメルト接着剤Ｂを下向きに吐出するためのノズル口１９ａを有する。フルードノズル１９の下端外周に、エアキャップ２４を介してエアノズル２３を取付ける。エアノズル２３に、斜め上方から圧縮エアＡを噴出させるための斜め用エア噴出口２３ａと、真下方向に向けて圧縮エアＡを噴出させるための真下用エア噴出口２３ｂとを設ける。リテイナーに対してノズル口１９ａからホットメルト接着剤Ｂを吐出した後、所定の遅延時間をおいて、エアノズル２３からの圧縮エアＡの噴出を一定時間行う。 （もっと読む）

【課題】 バンク部により構成された基板上の各画素領域の全域を、確実且つ安定して機能液で満たすことができる液滴吐出装置等を提供することを課題とする。
【解決手段】 複数の画素領域５０７ａに対し、機能液滴吐出ヘッド１６により機能液滴を吐出・着弾させる液滴吐出手段と、各画素領域５０７ａに着弾した機能液滴Ｄに対し、ガスを噴き付けるガスブロー手段６０と、基板Ｗに対し、機能液滴吐出ヘッド１６およびガスブロー手段６０を相対的に移動させる移動手段１２と、各手段を制御する制御手段８と、を備え、制御手段８は、基板Ｗに対して機能液滴吐出ヘッド１６を相対的に移動させながら、各画素領域５０７ａに機能液滴Ｄを吐出・着弾させると共に、各画素領域５０７ａに着弾した機能液滴Ｄが各画素領域５０７ａの全域に行き渡るように、各画素領域５０７ａに対し、上方からガスを噴き付ける。 （もっと読む）

【課題】塗り付け開始時の厚塗りそのものを減少し、且つ、塗布開始時に塗布ビードを確実に形成できる塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】スライドビードコータ８４のスライド面８６の上方にノズル１３０を設け、このノズル１３０から、スライド面８６上の塗布液８８にエアを吹き付ける。そして、スライド面８６上の塗布液の流れを変化させ、液盛り上がり部９６を形成する。これにより、塗布液８８の架橋点が形成され、塗布が開始される。 （もっと読む）

【課題】 乾燥ムラやひけ等の発生を防止して基板上に均一な膜厚の塗布膜を形成することができるスリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法を提供する。
【解決手段】 基板１を保持する保持テーブル２０と保持テーブル２０に保持された基板１の表面に相対向するように配置されると共に基板１の表面に向かって所定の塗布溶液２を流出するスリット状のノズル開口３１を有する塗布ヘッド３０とを具備し、保持テーブル２０と塗布ヘッド３０とが水平方向で相対的に移動することで基板１の表面に塗布溶液２が塗布されると共に、塗布溶液２が塗布された基板１の表面に向かって乾燥気体を噴射する噴射手段５０をさらに具備するようにし、噴射手段５０から噴射された乾燥気体によって基板１表面の塗布溶液２を乾燥させ、且つ塗布溶液２を乾燥させた気体を強制排気する。 （もっと読む）

【課題】 大量生産上、大型の基板に適している液滴吐出法を用いたパターン形成装置を備えた半導体装置の製造装置を提供する。
【解決手段】本発明では、液滴吐出法を用いたパターン形成装置と、加熱処理室をそれぞれ複数設置し、それぞれを一つの搬送室と連結させたマルチチャンバー方式とし、吐出と焼成とを効率よく行って生産性を向上させる。パターン形成装置にブロー手段を設け、着弾直後にガスの吹きつけを基板の走査方向（或いは吐出ヘッドの走査方向）と同じ方向に行い、ガス流路中に加熱ヒータを設けて局所的に焼成を行う。 （もっと読む）

汚染物質から圧縮空気によってノズルを保護するための保護装置を備えた、紙ウェブ（１）上に接着剤を塗布するためのノズル（３６）。前記保護装置は、前記ノズルを取り囲む空間（４７）を定める部材、前記空間に空気を供給する部材、および前記ノズルの前端面（３７）の前方で距離を開けた中心線上において前記空間から空気を排出する部材、を有している。本発明によれば、前記空気を供給する部材は、接着剤の２つの連続した塗布の間の休止状態に前記ノズルがあるときに、空気を供給するように構成される。本発明はまた、そのようなノズルによって紙ウェブ上に接着剤を塗布するための装置および方法に関する。本発明はまた、前記ノズルの作動機能を改良する方法に関する。
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