【課題】塗工対象の特定部分を選択的に塗工する方法において、塗工対象の熱歪みを発生させることなく工程時間を短縮することが可能な塗工ヘッドおよび塗工装置を提供することである。
【解決手段】塗工ヘッド１２は、塗布用開口３０と、加熱用開口３２と、冷却用開口３４と、を有し、冷却用開口は、加熱用開口と隣接して配置される。塗工ヘッド１２を適用した塗工装置は、塗工ヘッド１２のほかに、塗工対象を保持する保持テーブル２４と、塗工ヘッド１２を移動させる駆動部２０と、制御部２２と、を備え、制御部２２は、塗工ヘッド１２の塗布用開口３０と加熱用開口３２とが配置される方向に沿って加熱用開口３２に対して塗布用開口３０が先頭となるように、塗工ヘッド１２を塗工対象に対して相対的に移動させながら、塗布液を吐出させ、塗布液の吐出と連動して、加熱媒体の吹出し及び冷却媒体の吹出しを実行する。 （もっと読む）

【課題】搬送に必要な推力の低減を図り、且つ被搬送物のたわみを抑制することが可能な搬送装置、これを備える塗布システム及び検査システムを提供する。
【解決手段】搬送装置１２は、被搬送物２８の搬送方向Ｘに延びる主面１６ａを有するベース１６と、搬送方向Ｘに延びるガイド部材１８と、ガイド部材１８にガイドされて搬送方向Ｘに移動可能な移動部材２０と、移動部材２０に固定され主面１６ａから間隙を於いて被搬送物２８を保持する保持部材２４と、ベース１６上の搬送方向Ｘにおける一部領域において、搬送方向Ｘに搬送される被搬送物２８に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被塗装物の塗布不良を防止できる生産性の高い塗膜形成装置を提供する。
【解決手段】塗膜形成装置１Ａは、軸芯が鉛直となる状態で支持された被塗装物４の全周に亘って塗料７を吐出する塗布スリット１９ｂを有する円環状の塗布ノズル１９と、塗布スリット１９ｂから吐出された塗料７に向かって気体を噴射する気体噴射部４２と、を備えている。そして、塗膜形成装置１Ａは、塗料７を吐出しながら塗布ノズル１９を被塗装物４に対して相対的に鉛直方向上方に移動させ、塗布ノズル１９が被塗装物４の上端部４ｂに到達したとき、気体噴射部４２から気体を噴出する。 （もっと読む）

【課題】塗布装置において基板上に塗布液を均一に塗布する。
【解決手段】塗布ヘッドを主走査方向に往復移動するヘッド移動機構は、主走査方向に伸びるガイド部に係合しつつガイド部との間にエアを噴出することにより非接触状態にてガイド部に支持されるスライダを有する。スライダにはエアチューブ３３１を介してエアが供給され、スライダに取り付けられる塗布ヘッドの複数の吐出口には複数の塗布液チューブ３３２を介して塗布液が供給される。エアおよび塗布液の供給源と塗布ヘッドとの間において、エアチューブ３３１の周囲には複数の塗布液チューブ３３２が配置され、結束材３３３が複数の塗布液チューブ３３２の全体の外周に密着して当該外周を覆うことにより、これらのチューブが結束されてチューブ群３３が構築される。チューブ群３３では基板上への塗布液の塗布時における変形が抑制され、基板上に塗布液を均一に塗布することが実現される。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体についても液滴のサイズを制御することが可能な高粘度液体用液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】
高粘度液体用液滴吐出装置は、高粘度の液体が充填され、入口と出口流路とを備えるマイクロ流路と、前記出口流路に連通する少なくとも一つの分岐流路と、前記入口に接続され、前記マイクロ流路に前記高粘度液体を供給する高粘度液体供給装置と、前記分岐流路に接続され、前記分岐流路を通じて前記出口流路にガスを供給するガス供給装置と、前記分岐流路と前記ガス供給装置との間に設けられ、前記マイクロ流路から前記高粘度液体を液滴化して吐出させるために前記分岐流路から前記出口流路へ前記ガスを間欠的に供給するように制御する少なくとも一つの制御弁とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、スリット幅と流体流路の絞り幅とを容易に変更可能なリングヘッドを提供することにある。また、軸芯体の周面に高品位な塗膜が形成されてなるローラ部材の製造方法を提供することにある。
【解決手段】流体分配室と、第１、２のリング部材の間隙に構成される、内周面全周に開口しているスリットと、流体導入口と、該流体分配室と該スリットとを結ぶ環状流路とを有するリングヘッドであって、該第１、２のリング部材の間には該スリット幅を規定するスペーサが配置され、流体の流路は該スペーサの絞り孔により流路幅が絞られている絞り部を有し、該絞り部において流体の絞り孔通過前の供給口側の流路断面積Ｓａと、複数の絞り孔の総断面積Ｓｂが、０．０３≦Ｓｂ／Ｓａ≦０．３０を満たすリングヘッド及び該リングヘッドを用いたローラ部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】微細化されるパターンにおいて液滴の乾燥を促進させることによりパターンの加工精度を向上させた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】吹付けポート２４は、液滴吐出ヘッド２２に隣接し、融着する前の孤立する液滴Ｄに向けて液滴Ｄの蒸発成分と異なる乾燥用の気体を吹付けることによって、液滴Ｄの周囲を局所的に乾燥用の気体に置換する。また、吸引ポート２５は、液滴吐出ヘッド２２に隣接して、液滴Ｄの周囲を吸引する。 （もっと読む）

【課題】発泡性溶融体がスロットノズル組立体の内部で発泡することを防止する。
【解決手段】幅広の帯状に発泡性溶融体を押し出すスロットノズル組立体（２）において、複数の発泡性溶融体通路（２０）と、複数の発泡性溶融体通路と連通する横分配流路（２１、２２）と、横分配流路内に配置された絞り部材（８）と、発泡性溶融体を吐出するためのスロット（２３）と、横分配流路とスロットとを連通し、スロットへ向けて断面積が徐々に小さくなる収束部分（２２ａ）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】塗料を循環させつつ、この塗料とエアとを選択的に吐出できる注入ガンを提供すること。
【解決手段】注入ガン６０は、塗料およびエアを選択的に吐出する。具体的には、この注入ガン６０は、円筒状のガン本体６１と、このガン本体６１の内部に摺動可能に設けられた円筒状の塗料シャフト６２と、この塗料シャフト６２の内部に摺動可能に設けられたエアシャフト６３と、を備え、ガン本体６１には、塗料が流通する塗料供給路６１１および塗料排出路６１２が貫通して形成され、ガン本体６１および塗料シャフト６２には、それぞれ、エアが流通するエア供給路６１４およびエア供給路６２２が貫通して形成され、塗料シャフト６２の外周面には、塗料シャフト６２の先端がガン本体６１の先端まで前進した状態で、塗料供給路６１１の貫通位置から塗料排出路６１２の貫通位置に至る凹部６２３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口から吐出された流動性材料の乾燥速度の均一性を向上する。
【解決手段】塗布装置１では、塗布ヘッド１４が主走査方向に移動することにより、３本のノズル１７から吐出された有機ＥＬ液が、基板９上にストライプ状に塗布される。塗布装置１では、気流形成部１９により形成された副走査方向における基板９の相対移動方向前側（以下、単に「前側」という。）から相対移動方向後側（以下、単に「後側」という。）に向かう基板９の上面９０に平行なエアの流れにより、前側および中央のノズル１７により塗布された有機ＥＬ液のラインの周囲の雰囲気が後側へと広げられ、３本のノズル１７により塗布された３本の有機ＥＬ液のラインの周囲において、雰囲気中の溶媒成分の濃度の均一性が向上される。これにより、３本のノズル１７の吐出口から吐出された有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性を向上することができ、塗布ムラの発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】均一な大きさとなった液滴などの微粒流体を生成可能とした流体の吐出器及び微粒流体生成装置を提供する。
【解決手段】吐出器は、円筒状の周面壁と、この周面壁の一方の端部を閉塞する閉塞壁とを有し、この閉塞壁の所定位置に貫通孔を設けた吐出体と、この吐出体を周面壁の周方向に振動させる振動手段と、吐出体内に貫通孔から吐出させる液体または気体を供給する配管とを備え、振動手段で吐出体をさせることにより、貫通孔から液体または気体を所定量の微粒流体として吐出させる。 （もっと読む）

【課題】液体の充填終了時に、充填ノズルの先端から液柱を素早く引き抜き、充填速度を速めると共に、液体収容部以外への液体の飛散を防止し、液柱の一部が充填ノズルの先端に留まることを防止でき、充填精度が高い液体充填方法及び液体充填装置を提供すること。
【解決手段】凹状の液体収容部Ｐに液体Ｑ１を充填する液体充填方法であって、液体Ｑ１が流通する内筒２及び気体Ｑ２が流通する外筒３を備えた二重管構造を有し且つ内筒２の上流側に液体Ｑ１の流通を制御するニードルバルブ４を備えた充填ノズル１を用い、液体収容部Ｐへの液体Ｑ１の充填後に、外筒３の下端から気体Ｑ２を噴射する。 （もっと読む）

【課題】 塗布用ダイを被塗布体に対して相対的に走行させて、塗布用ダイの先端に設けられたスリット状の吐出口から塗布液を被塗布体の表面に供給するにあたり、高粘度の塗布液を用いた場合においても、この塗布液を被塗布体の表面に薄く平滑かつ均一に塗布できるようにする。
【解決手段】 塗布用ダイ10を被塗布体1に対して相対的に走行させて、塗布用ダイの先端に設けられたスリット状の吐出口11から塗布液2を被塗布体の表面に供給する塗布装置において、上記の吐出口から被塗布体に塗布液を供給する位置の近傍で塗布用ダイの走行方向下流側の部分にガスを噴出させるガス噴出装置20を設け、このガス噴出装置からガスを塗布用ダイの走行方向下流側に傾斜させて噴出させるようにした。 （もっと読む）

【課題】塗布ノズル下端の進行方向後部に塗布剤が付着しないようにして、被塗布面と塗布ノズル下端との間隙を小さくできる塗布ノズルを提供すること。
【解決手段】塗布剤供給源２０から塗布剤６０が供給される供給部９４１と、該供給部９４１と連通し、該供給部９４１から流入した塗布剤６０が貯留される塗布剤貯留部９４３と、該塗布剤貯留部９４３の先端に設けられ、スリット状の吐出口９４５ａを有する塗布剤吐出部９４５と、を備えた塗布ノズル４０であって、前記吐出口９４５ａの、前記塗布ノズル４０の進行方向後側に、吐出した塗布剤６０が前記塗布ノズル４０の下面９４５ｂに接触するのを防止する接触防止手段５０Ａ（５０Ｂ、５１Ｃ、５１Ｄ、５０Ｅ）を備えた。 （もっと読む）

【課題】隣り合うパターンを近づけることができ、且つ粘性流体材料の垂れ落ちがないノズルを提供する。
【解決手段】粘性流体材料の概ね傾斜波状パターンを形成するノズル（４０）において、ノズルが塗布装置に取り付けられたときに、基材との相対移動方向に対して所定角度で傾斜した長手方向に延在する突起（４６）と、突起に設けられ、粘性流体材料を吐出して、実質的に連続した粘性流体材料の繊維を形成するためのオリフィス（４８）と、突起（４６）の長手方向に延在する両壁（４６ａ）の近傍にそれぞれ設けられ、粘性流体材料の繊維に対してガスを噴射して粘性流体材料を長手方向とほぼ垂直な方向に振動させる少なくとも二つのガス孔（５６）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】塗布範囲の制御を容易に行うことができる塗布装置及び電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】溶剤を塗布領域２ａに塗布する溶剤吐出ノズル３と、溶剤が配置された塗布領域２ａを挟んで一方側から他方側に向けて気体を流動させる気体吐出ノズル４及び吸引ノズル５からなる気体流動手段１５とを備え、基板２上に形成された塗布領域２ａに溶剤を塗布する。 （もっと読む）

【課題】ノズル先端にペーストが付着する（溜まる）のを防止でき、しかも、ペースト塗布工程終了時にはペースト塗布部が平坦に広がっているペースト塗布方法およびペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト吐出口１６とエア噴出口２３を有するノズル１５を基板１の被ペースト塗布部位１７に接近させる。ペースト吐出口１６からペースト１４を被ペースト塗布部位１７に吐出して、基板１上にペースト塗布部２７を形成する。その後、エア噴出口２３からペースト塗布部２７の中心部に向けてエアを噴射しつつノズル１５をペースト塗布部２７から離間させる。これによって、ペースト塗布部２７を平坦に広げる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液と気体を同時に噴射しても十分な洗浄を可能にするとともに、洗浄液の吐出口と気体の噴出口を適切な位置に配置して洗浄能力を高め、これらの効果によって、低コストで高品質の液晶ディスプレイ用部材を製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】長手方向に延在または配列し、塗液を吐出する吐出口を具備した塗布器の少なくとも吐出口面およびそれに隣接する面（以下、これを総称して洗浄面という。）を洗浄する塗布器の洗浄方法であって、複数の洗浄液流出口を有する洗浄機と、複数の気体噴出口を有する気体噴出器を前記塗布器の長手方向に並べて配置するとともに、洗浄機と気体噴出器を長手方向に走査させつつ、洗浄機から隣接面に向けて洗浄液を供給し、続いて前記気体噴出器から隣接面に向けて気体を噴出させて、洗浄面の洗浄を行うことを特徴とする塗布器の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、基板上の各画素領域の全域に機能液を確実に濡れ拡がらせることができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】バンク部５０７ｂにより画成した基板Ｗ上の多数の画素領域５０７ａに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド１７を相対的に移動させながら機能液を吐出・着弾させる描画手段と、機能液の吐出に伴って相対的に移動する機能液滴吐出ヘッド１７に後行して基板Ｗに臨み、基板Ｗ上にガスを吹き付けて各画素領域５０７に着弾した機能液の液面を挙動させるガス吹出し口８１と、ガス吹出し口８１に連なるガス送出手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ワークや機能液への熱的影響を排除しつつワークに描画された機能液滴の溶媒を適切に気化させることができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながらワーク上に機能液滴を吐出して描画を行う描画手段と、移動する機能液滴吐出ヘッドに後行してワークに臨み、ワーク上に機能液を乾燥させるための常温ドライエアーを吹き付けるエアー吹出し口と、ワークに吹き付けた常温ドライエアーを吸引するエアー吸込み口と、これらを収容するチャンバルームと、送気側をチャンバルームの天井内送気室に連通し、吸気側をチャンバルームの排気口に連通する清浄エアー供給ユニットを有するチャンバ装置と、を備え、エアー吹出し口は、天井内送気室に連通し、エアー吸込み口は、専用のエアー排気口を介してチャンバルーム外に連通している。 （もっと読む）