【課題】処理液供給ノズルから基板例えば半導体ウエハへの処理液の供給を行うにあたり、処理液供給ノズル内の処理液の乾燥を防止する。
【解決手段】ノズルユニット４の処理液供給ノズル４Ａ〜４Ｊの先端内部の処理液層の外側に空気層と処理液の溶剤層とを形成する。次いで前記処理液供給ノズル４Ａの前記溶剤層を待機ユニット６の液排出部に排出し、次いでこのノズル４ＡからウエハＷ表面に処理液を供給して塗布処理を行う。この後ノズル４Ａ内に残存する処理液を吸引し、次いでノズルユニット４の各ノズル４Ａ〜４Ｊの先端を、待機ユニット６の溶剤貯留部の溶剤内部に浸漬し、前記一のノズル４Ａを吸引することにより、当該ノズル４Ａの先端内部の処理液層の外側に空気層と溶剤層とを形成する。 （もっと読む）

【課題】 シンプルな構成でありながら多数のインクジェットヘッドを好適に洗浄することができ、また、インクジェットヘッドの角度が変更された場合であっても対応が可能なインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】 インクジェット塗布装置は、インクジェットヘッドユニット１２を洗浄する洗浄部２２と、この洗浄部２２を各インクジェットヘッドユニット１２と対向する洗浄位置とインクジェットヘッドユニット１２から離隔した待機位置との間で移動させる洗浄部移動機構と、洗浄部２２をインクジェットヘッドにおけるスペーサ粒子分散液の吐出口の列設方向と透明基板１の搬送方向との交差角度に対応させて回動させる洗浄部回動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】少量の洗浄液によって回転ローラを洗浄できるスリットコータ予備吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】予備吐出位置のノズル（９）の先端に近接して配置されるとともに回転してノズル（９）の塗布液を周面に付着させて受け取る回転ローラ（１２）と、回転ローラ（１２）の周面から落下した塗布液を受ける位置に配置されたパン（１１）と、予備吐出位置のノズル（９）から見て回転ローラ（１２）の回転の方向の下手側で回転ローラ（１２）から塗布液を掻き取る第１スキージ（１３）と、予備吐出位置のノズル（９）から見て回転ローラ（１２）の回転の方向の上手側に洗浄液（１５ａ）を滴下する洗浄液滴下ノズル（１５）とを設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液がスペーサ粒子分散液の吐出口に浸入してスペーサ粒子分散液の吐出不良を生ずることを防止する。
【解決手段】 洗浄ユニット３１は、インクジェットヘッドにおけるスペーサ粒子分散液の吐出口からスペーサ粒子分散液の吐出方向に第１の距離だけ離隔した位置に配置され、インクジェットヘッドにおける前記吐出口から当該吐出口の列設方向と直交する方向に離隔した位置に向けて洗浄液を吐出する洗浄液吐出口６２と、スペーサ粒子分散液の吐出口からスペーサ粒子分散液の吐出方向に前記第１の距離より小さい第２の距離だけ離隔し、かつ、洗浄液吐出口６２からインクジェットヘッドにおけるスペーサ粒子分散液の吐出口の列設方向に離隔した位置に配置された洗浄液吸引口６６と、洗浄ユニット３１をスペーサ粒子分散液の吐出口の列設方向に向けて移動させる移動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出対象物を案内する搬送ガイドが簡易な構成で迅速に退避することができ、上流側搬送ローラと下流側搬送ローラとの間の部分をコンパクトに構成することができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体吐出装置は、（ａ）第１の駆動ローラ１１１と第２の駆動ローラ１２１との間において用紙搬送方向に吐出対象物を案内する第１の搬送ガイド１４１を備え、（ｂ）第１の搬送ガイド１４１が、（ｂ１）搬送可能な最小の用紙における用紙幅方向の寸法よりも用紙幅方向の開口寸法が広い開口部が形成されていない第１の区間部１４１ａと、ライン型インクジェットヘッドのノズル面を覆うキャップが出入可能な開口部１４１ｃが形成された第２の区間部１４１ｂとを有するものであり、（ｂ２）第１のヘッド列１５１における各ライン型インクジェットヘッド１５０の真下の位置から用紙幅方向に巻取り可能な帯状板である。 （もっと読む）

【課題】スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能な、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルと、複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッド５と、シート部材１５を供給する供給リール１２と、巻取リール１３と、画像を撮影する撮像装置１４と、機能液の吐出量の分布を求める解析手段３２と、分布から複数のノズルにおける吐出量が所定の適正量に近づくように複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段３１と、を有し、制御手段３１は、液滴吐出ヘッド５を複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に走査しつつ、シート部材１５上に各ノズルから第１の間隔で機能液を複数滴吐出させ、その後、第１の間隔よりも広い第２の間隔で機能液を１滴もしくは複数滴吐出させ、さらにその後、第１の間隔よりも広い第３の間隔で機能液を複数滴吐出させる。 （もっと読む）

【課題】機能液滴吐出ヘッドの保全に支障を生ずることがなく、且つ保守作業を簡略化することができる吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液をインクジェット方式で吐出する機能液滴吐出ヘッド２５に離接自在に密接するシール部材７７、およびシール部材７７により囲繞された吸引溝８２を有する吸引キャップ５８と、吸引キャップ５８の吸引溝８２に連通する吸引手段と、吸引キャップ５８の吸引溝８２に連通し、機能液の溶媒を供給する溶媒供給手段と、吸引手段および溶媒供給手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッド２５に吸引キャップ５８を密接させて機能液滴吐出ヘッド２５の保全を行うときに、溶媒供給手段を駆動し、吸引溝に機能液滴吐出ヘッド２５を保湿するための溶媒を送り込むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大型化することなく、複数のキャップ内空間を選択的に吸引することが可能な流体噴射装置を提供する。
【解決手段】プリンターは、複数のノズルからインクを噴射する記録ヘッドを支持して往復移動可能なキャリッジと、各ノズルを個別に囲うように記録ヘッドに当接して複数のキャップ内空間を形成するキャップと、各キャップ内空間を、それぞれ第１及び第２排出チューブ３５，３７を介して吸引可能なチューブポンプと、メンテナンス領域でのキャリッジの往復移動に伴って各排出チューブ３５，３７を選択的に閉塞可能な選択閉塞手段とを備える。そして、選択閉塞手段は、メンテナンス領域におけるキャリッジの往復移動に伴って往復移動するピン部４５と、該ピン部４５が往復移動する度に該ピン部４５と係合して各排出チューブ３５，３７を閉塞するそれぞれの閉塞位置Ｂ，Ｃに該ピン部４５を順次導く第１〜第４カム面７９ｂ，８０ｂ，８１，８２とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドの温度上昇を防止することができ、機能液の消費量を削減し、生産性を向上させることができる液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの冷却方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面２１ａの各ノズルから機能液の液滴を吐出する吐出ヘッド２と、ノズル面２１ａをワイピングするワイプ部７０と、を備え、ワイプ部７０は、シートに無機材料の粉末を保持させたワイプ材７１を有する。 （もっと読む）

【課題】定期的に重量測定処理を行なう場合でも、描画処理におけるタクトタイムを短縮すること。
【解決手段】液滴吐出装置１は、ワークＷにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッド１７と、ワークＷを搭載するワークステージ２１と、ワークＷを主走査方向に移動させるワーク移動手段２２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けるフラッシングユニット１４と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能を検査する吐出検査ユニット１８と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット９０と、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を搭載すると共に、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を、ワークステージ２１と同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段２３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】インクジェット塗布法で機能性材料を基板上に塗布し、液晶表示素子を製造するにあたり、インクジェット塗布装置に特別な機構、機能を付加することなく、塗布品質を安定させ、製品の信頼性を向上させる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】インクジェットヘッドのノズルの詰まりを低減するため、インクジェットヘッドの１回の基板送り方向への移動の間、少なくとも１回、インクジェットヘッドの全ノズルから吐出を行わせるダミーパターンを塗布データに設ける。また、ダミーパターンを撮影する撮影手段をさらに設ける。 （もっと読む）

【課題】液滴を吐出するノズルが設けられたノズル面の近傍の雰囲気を加湿することができ、かつ装置の小型化を実現することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル２１ｂが設けられたノズル面２１ａを有し、ノズル面２１ａの各ノズル２１ｂから機能液の液滴Ｄを吐出する吐出ヘッドを備え、ノズル面２１ａの周囲に機能液の溶媒又は分散媒からなる保湿液を含浸する保湿部材２２が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつも、液体の吐出時及び非吐出時のそれぞれにおいて、不要な液体を効率的に吸引し得る液体吐出ヘッド７及び液体吐出装置Ａを提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド７は、液体を収容する圧力室１１、圧力室１１に連通するノズル１２の先端が開口するノズル面を有するノズル板１３、及び、圧力室１１内の液体に圧力を印加することによって、ノズル１２を通じて圧力室１１内の液体を吐出する圧力印加手段１４を含んで構成されるヘッド本体９１と、ノズル１２の開口の近傍位置に位置する吸引口１８ａを有すると共に、当該吸引口１８ａを通じて、液体の吐出時及び非吐出時のそれぞれにおいて、ノズル１２開口の周囲に存在する不要な液体を吸引する吸引手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】吸引装置による単位時間当たりの吸引量と装置不良との間に相関関係があることに着目して為されたものであり、効率良く且つ正確に吸引装置を評価することができる吸引装置の装置不良評価方法および吸引装置の装置不良評価装置を提供する。
【解決手段】吸引ユニット９による機能液滴吐出ヘッド２０からの機能液の吸引に伴って降下してゆく機能液タンク（サブタンク３３）の液位について、所定の降下距離減液するときの実減液時間を計測する計測工程と、予め試験的に求めておいた所定の降下距離減液するときの適性減液時間と測定した実減液時間とを比較し、吸引ユニット９の装置不良を評価する評価工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の液はねを防止したインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽１５２は、洗浄液２５０を貯留し、水平方向に移動する。弾性ブレード１６３は、ヘッドが洗浄槽１５２の上方に移動した時に、洗浄液２５０が付着した状態でヘッドの噴射面に接触する。液はね防止カバー１７０は、洗浄槽１５２の上端の辺に沿って取り付けられて、洗浄槽１５２の開口部の内側に向かって延在する。一方、仕切り板１８０は、洗浄槽１５２の底面に取り付けられて、上方に向かって延在し、洗浄槽１５２を仕切る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ワイピングシートの使用量を増加することなく、且つ異物を吐出ノズルに再付着させることのない機能液滴吐出ヘッドのワイピング方法を提供することを課題としている。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面５８を、払拭方向に走行するワイピングシート１１２により払拭する機能液滴吐出ヘッド１３のワイピング方法であって、ノズル面５８に平行な面内において、ワイピングシート１１２の摺動部分Ａがノズル列ＮＬを構成する複数の吐出ノズル５７を重複して払拭しないように、ノズル列ＮＬ方向に対し鋭角となる方向を払拭方向として、ノズル面５８の払拭を行う。 （もっと読む）

【課題】上部空間に開口した液体流入口から液面に流下する液体の、飛散を抑制することができる。
【解決手段】液面Ａの上部空間Ｓに連通する液体流入口１６１,１６２がヘッドキャップ８１に接続されると共に上部空間Ｓに連通する気体流出口１６３がエジェクター１１０に接続され、エジェクター１１０により上部空間Ｓを負圧にすることで、ヘッドキャップ８１から機能液を吸引しトラップする廃液タンク１０１であって、上部空間Ｓに配設され、液体流入口１６１,１６２から流入する機能液が衝突する邪魔板１６４と、邪魔板１６４に衝突した機能液を邪魔板１６４から液面Ａに導く内周面１６５ａを有する導水部材１６５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】複数の機能液滴吐出ヘッドに一括して洗浄する場合において、各機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路を確実に洗浄することができるヘッド洗浄装置およびヘッド洗浄方法を提供することである。
【解決手段】各機能液滴吐出ヘッド２にそれぞれ接続した複数本の個別供給流路３６を介して、各ヘッド内流路９に洗浄液を供給する洗浄液タンク２６と、各機能液滴吐出ヘッド２に対応し、各機能液滴吐出ヘッド２の各ノズル面１０をそれぞれ封止する複数の吸引キャップ２３と、各吸引キャップ２３を介して洗浄液を吸引し、複数のヘッド内流路９に洗浄液を通液して洗浄を行う吸引装置２４と、吸引装置２４による吸引時に、洗浄液の各ヘッド内流路９への通液を検出する複数の通液検出装置２５と、吸引装置２４を駆動すると共に、各通液検出装置２５の検出結果から各ヘッド内流路９への通液状態をそれぞれ監視する制御装置２８と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】多量の洗浄液を使用することなく、圧力調整弁のバルブ内流路を確実に洗浄することができる圧力調整弁の洗浄方法および圧力調整弁の洗浄装置を提供する。
【解決手段】機能液タンクから１次室７に導入した機能液を、２次室８の１つの面を構成するダイヤフラム１３により大気圧基準で圧力調整し、２次室８から機能液滴吐出ヘッド４１に供給する圧力調整弁１の、内部を洗浄する圧力調整弁１の洗浄方法であって、１次室７および２次室８を含む圧力調整弁１のバルブ内流路に洗浄液を通液して洗浄を行う前洗浄工程と、前洗浄工程の後、バルブ内流路に洗浄液を充填した状態でこれを放置する放置工程と、放置工程の後、再度バルブ内流路に洗浄液を通液して洗浄を行う後洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で圧力調整弁内のエアーを排出することができる圧力調整弁の初期充填方法等を提供する。
【解決手段】バルブハウジング６４内の１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路に設けた弁体７０を、２次室６８の１の面を構成するダイヤフラムにより大気圧基準で開閉し、機能液供給手段から導入した機能液を、圧力調整して２次室６８から流出ポート８１を介して機能液滴吐出ヘッド２５に供給する圧力調整弁２７の初期充填方法であって、機能液滴吐出ヘッド２５に密接して１次室６７および２次室６８に機能液を吸引・充填する吸引充填手段を用い、圧力調整弁２７を、流出ポート８１が２次室６８の下部に位置する使用姿勢に維持して吸引を行う第１吸引工程Ｓ１と、第１吸引工程Ｓ１の後に流出ポート８１が２次室６８の上部に位置するエアー抜き姿勢に姿勢変更して吸引を行う第２吸引工程Ｓ２と、を備えた。 （もっと読む）