液滴吐出装置
【課題】定期的に重量測定処理を行なう場合でも、描画処理におけるタクトタイムを短縮すること。
【解決手段】液滴吐出装置１は、ワークＷにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッド１７と、ワークＷを搭載するワークステージ２１と、ワークＷを主走査方向に移動させるワーク移動手段２２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けるフラッシングユニット１４と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能を検査する吐出検査ユニット１８と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット９０と、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を搭載すると共に、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を、ワークステージ２１と同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段２３と、を備えた。
【解決手段】液滴吐出装置１は、ワークＷにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッド１７と、ワークＷを搭載するワークステージ２１と、ワークＷを主走査方向に移動させるワーク移動手段２２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けるフラッシングユニット１４と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能を検査する吐出検査ユニット１８と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット９０と、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を搭載すると共に、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を、ワークステージ２１と同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段２３と、を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いてワークに描画を行なう液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、ワークをセットするセットテーブル（ワークステージ）と、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルからの捨て吐出を行なうためのフラッシングユニットと、吐出ノズルから機能液が適切に吐出されているか否かを検査する吐出検査ユニットと、機能液滴吐出ヘッドの機能回復を行なう吸引ユニットと、吸引後の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングユニットと、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。フラッシングユニットおよび吐出検査ユニットは、ワークステージの移動軸上（主走査方向）に設けられ、吸引ユニットおよびワイピングユニットはワークステージの移動軸と直交する別軸（副走査方向）に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０７６０６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、高精度の描画を行なうためには、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから吐出した機能液の重量を測定して機能液滴の量を調整する重量測定ユニットを備えることが好ましい。重量測定ユニットは、例えば描画処理前に行なわれるため、メンテナンス処理を考慮して、吸引ユニットおよびワイピングユニットと共に上記の別軸に設けられることが考えられる。
【０００５】
しかしながら、従来の液滴吐出装置において、描画精度の向上のために、定期的に重量測定を行なう場合、重量測定処理を行なう度に、機能液滴吐出ヘッドを別軸上に設けられた重量測定ユニットに臨ませる必要があるため、描画処理におけるタクトタイムが長くなってしまう問題が想定される。
【０００６】
本発明は、定期的に重量測定処理を行なう場合でも、描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出装置は、ワークにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッドと、ワークを搭載するワークステージと、ワークステージを介して、複数の機能液滴吐出ヘッドに対しワークを主走査方向に移動させるワーク移動手段と、複数の機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査ユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニットと、フラッシングユニット、吐出検査ユニットおよび重量測定ユニットを搭載すると共に、フラッシングユニット、吐出検査ユニットおよび重量測定ユニットを、ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、ワークステージを移動させるワーク移動手段と、フラッシングユニット、吐出検査ユニットおよび重量測定ユニットを移動させるユニット移動手段と、が同一軌道上にあるため、描画処理の直前に、重量測定を行なうことができる。このため、定期的に重量測定を行なった場合でも、重量測定処理から描画処理への移行を短時間で行なうことができ、全体としてのタクトタイムを短縮することができる。
【０００９】
この場合、ワーク移動手段およびユニット移動手段は、共通のリニアモータを有し、リニアモータにより個別に駆動することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ワークや各ユニットを高精度に移動させることができると共に、ワーク移動手段およびユニット移動手段の構造を単純化することができる。
【００１１】
これらの場合、重量測定ユニットは、複数の機能液滴吐出ヘッドに対しノズル列単位で測定を行うようになっており、重量測定ユニットに対し複数の機能液滴吐出ヘッドを、副走査方向に相対的に移動させるサブ移動手段を、を更に備えたことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、重量測定ユニットに対し複数の機能液滴吐出ヘッドを、副走査方向に相対的に移動させることで、１の重量測定ユニットにより複数の機能液滴吐出ヘッドの重量測定を行なうことができる。
【００１３】
この場合、測定吐出のために、重量測定ユニットの受液容器に任意の１の機能液滴吐出ヘッドが臨んだ状態で、他の全ての機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受け得るように、重量測定ユニットとフラッシングユニットとは、一体に形成されていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、任意の１の機能液滴吐出ヘッドが重量測定にかかる測定吐出を行なっている間に、重量測定を待つその他の全ての機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を行なうことができる。これにより、重量測定の待ち状態の間に、機能液滴吐出ヘッドのノズルが乾燥等（機能液の増粘）の不具合を生ずることがない。
【００１５】
この場合、フラッシングユニットは、受液容器を外れた位置において、複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、フラッシングが受液容器を外れた位置にあるため、捨て吐出された機能液滴が受液容器に入ることがない。これにより、不要な受液容器の交換を防止することができる。
【００１７】
これらの場合、吐出検査ユニットは、複数の機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、副走査方向に延在する帯状の検査シートと、検査シートに検査吐出された着弾ドットを画像認識すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けた認識カメラと、を有し、フラッシングユニットは、画像認識のための認識カメラが検査シートの幅内のいずれかの位置に臨んだ場合であっても、複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、認識カメラが着弾ドットを画像認識している吐出検査時に、フラッシングユニットが複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受けることができ、機能液滴吐出ヘッドの機能維持を図ることができる。
【００１９】
これらの場合、ワークのアライメントマークを画像認識すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けたアライメントカメラを、更に備え、ワーク移動手段により、アライメントマークをアライメントカメラの画像認識可能な位置に臨ませた前記ワークステージに対し、ユニット移動手段によりフラッシングユニットを最大限接近させた状態で、フラッシングユニットは、複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、アライメントカメラがワークのアライメントマークを画像認識している時に、フラッシングユニットが複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受けることができ、機能液滴吐出ヘッドの機能維持を図ることができる。
【００２１】
これらの場合、複数の機能液滴吐出ヘッドから主走査方向に逃げた軌道上に、重量測定ユニットの電子天秤が直下に臨む風防部材を配設したことが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、重量測定時に、移動手段により重量測定ユニットの電子天秤を防風部材の直下に移動させることで、電子天秤は気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行なうことができる。
【００２３】
これらの場合、複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピングユニットと、吸引ユニットおよびワイピングユニットを搭載すると共に、吸引ユニットおよびワイピングユニットを、ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるサブユニット移動手段と、を更に備えたことが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、吸引ユニットが機能液滴吐出ヘッドから機能液の吸引し、ワイピングユニットが吸引された機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する。これにより、吸引、ワイピングおよび重量測定から成る一連処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００２５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２６】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２７】
これらの構成によれば、上記液滴吐出装置を用いて、ワークのアライメント処理および機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を並列に行うことで、製造のサイクルタイムを短縮することができ、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】本実施形態に係る液滴吐出装置を主走査方向から見た側面図である。
【図３】本実施形態に係る液滴吐出装置を副走査方向から見た側面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図６】ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。
【図７】カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。
【図８】吐出検査ユニット廻りの外観斜視図である。
【図９】液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図１０】重量測定ユニットの平面図である。
【図１１】重量測定ユニットの側面図である。
【図１２】アライメント時の定期フラッシング処理を説明するための模式図である。
【図１３】重量測定処理を説明するための模式図である。
【図１４】重量測定処理を説明するための模式図である。
【図１５】定期フラッシング処理を説明するための模式図である。
【図１６】本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図１７】本実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。
【図１８】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１９】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図２０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２３】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２４】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２５】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２６】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２７】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２８】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２９】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３０】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３１】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３２】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３３】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３４】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３５】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３２】
図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワーク（基板）ＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、一対のアライメントカメラ８１を有し、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された画像認識ユニット８０と、Ｘ軸テーブル１１上に設けられたフラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された１０個のキャリッジユニット５１とから成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、一対の基準マーク（アライメントマーク）Ｍの位置が異なる複数種のワークＷに対して、所定の描画パターンを描画する。なお、重量測定ユニット９０とフラッシングユニット１４とは、一体に形成されている（詳細は後述する）。
【００３３】
また、液滴吐出装置１は、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６、から成るメンテナンスユニット５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている。
【００３４】
吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、機能液滴吐出ヘッド１７を吸引して、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に排出させるものである。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る（ワイピングを行なう）ものである。
【００３５】
また、同図では省略したが、液滴吐出装置１には、装置全体を制御する制御手段７（図９参照）が備えられており、後述する重量測定処理、描画処理およびメンテナンス処理は、制御手段７による制御に基づいて行なわれている。
【００３６】
以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするワークステージ２１と、ワークステージ２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記の重量測定ユニット９０および吐出検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介して重量測定ユニット９０および吐出検査ユニット１８をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ２６と、Ｘ軸リニアモータ２６に並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。なお、Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸共通支持ベース２４とにより請求項に言うワーク移動手段が構成され、Ｘ軸第２スライダ２３とＸ軸共通支持ベース２４とにより請求項に言うユニット移動手段が構成され、これらはＸ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能となっている。
【００３７】
ワークステージ２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２等を有している。図１における図示左側の位置が、ワークＷのアライメントを行なうためのアライメント位置４１（除給材位置）となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。そして、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行なわれる。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。なお、ワークステージ２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１が添設されている。
【００３８】
画像認識ユニット８０は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、給材された各種ワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）Ｍを画像認識する２台のアライメントカメラ８１と、Ｘ軸共通支持ベース２４に支持され、カメラホルダ（図示省略）を介して、２台のアライメントカメラ８１を副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構８２と、を有している。各認識カメラ８１は、ワークステージ２１の主走査方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２により副走査方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を行なう。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。
【００３９】
Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット１３を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。なお、Ｙ軸テーブル１２は、請求項で言うサブ移動手段を構成している。
【００４０】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する（副走査）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。なお、
【００４１】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図５参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。
【００４２】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００４３】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。また、機能液滴吐出ヘッド１７は、各吐出ノズル９８ごとに液滴を自在に吐出することができるように構成されている。
【００４４】
図５に示すように、ヘッドユニット１３には、サブキャリッジ５３を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつ（Ｒ・Ｇ・Ｂそれぞれ２個ずつ）Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド群５４を構成している。本実施形態のものでは、全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）の２回の副走査により、Ｙ軸方向に連続するＲＧＢ３色の描画ラインがそれぞれ形成される。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。
【００４５】
ところで、ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており（図６参照）、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。この描画パターンには、図７に示すように３種類のパターンがあり、本実施形態では、図７（ａ）の描画パターン（ビットマップデータ）により描画が行われる。
【００４６】
液滴吐出装置１の描画動作は、まず、ワークＷをＸ軸テーブルにより、Ｘ軸方向で移動させながら（図１中左側へ）、第１描画動作（往動パス）を行う。その後、ヘッドユニット１３を２ヘッド分Ｙ軸方向に移動（副走査）させて、改めて、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中右側へ）、第２描画動作（復動パス）を行う。そして、再度ヘッドユニット１３を２ヘッド分副走査し、もう一度、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中左側へ）、第３描画動作（往動パス）を行う。このような描画動作により、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を効率良く行っている。
【００４７】
次に、図９を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１を有し、ワークＷをＸ軸方向に移動させるワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンスユニット５の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、各種センサを有し、各種検出を行なう検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体を制御する制御部１９７（制御手段７）と、を備えている。
【００４８】
制御部１９７には、各部を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各部からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。
【００４９】
そして、制御部１９７は、各部からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行なわれる。
【００５０】
図１、図２および図８に示すように、吐出検査ユニット１８は、ヘッドユニット１３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル９８）から機能液が適切に吐出されているか否か（ドット抜け）を検査するためのものであり、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット１６１と、被描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドット）を撮像して検査する撮像ユニット１６２と、を備えている。なお、被描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載され、撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下の検査位置に固定的に設けられている（但し、後述する検査カメラ（認識カメラ）１６３は、移動する）。
【００５１】
被描画ユニット１６１は、機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受けると共に、副走査方向に延在する帯状の検査シート１７１と、検査シート１７１が載置される検査ステージ１７２と、検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２に送り出し、かつ非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように検査シート１７１を送るシート送り手段１７３と、シート送り手段１７３を支持するシート送り支持部材１７４と、シート送り支持部材１７４を支持するユニットベース１７５と、検査ステージ１７２上に載置される検査シート１７１のセット不良を検出する真空センサ１７８と、を備えている。
【００５２】
図２に示すように、撮像ユニット１６２は、上記したＹ軸支持ベース３に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、検査シート１７１に検査吐出された着弾ドットを画像認識する２個の検査カメラ１６３と、Ｙ軸支持ベース３に固定され、カメラホルダを介して、２個の検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、カメラ移動機構１６４を介して検査カメラ１６３をＹ軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ（図示省略）と、を有している。
【００５３】
撮像ユニット１６２は、吸着テーブル３１がワーク載せ換え位置に臨んだときに、２個の検査カメラ１６３が検査シート１７１に臨むように配設されており、本実施形態では、ワークＷ載換え中およびアライメント中に、検査パターンの撮像を行なえるようになっている。そして、２個の検査カメラ１６３による撮像結果は、制御手段７に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル９８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判断されるが、この判断もワーク載換え中およびアライメント中に行われる。すなわち、吐出検査手段は、撮像ユニット１６２および制御手段７により構成されている。
【００５４】
図１０および図１１に示すように、重量測定ユニット９０は、フラッシングユニット１４と一体に形成されており、これらユニットは、複数（本実施形態では２０個）の重量測定装置９１と、４つの重量測定装置９１毎に一括して支持する５つの支持フレーム９２と、重量測定装置９１内に収容される定期フラッシングボックス９３と、を備えており、支持フレーム９２がＸ軸第２スライダ２３に副走査方向に並べて搭載されている。また、重量測定ユニット９０の複数の機能液滴吐出ヘッド１７に臨む位置から主走査方向に逃げた軌跡上に、電子天秤９９が直下に臨む風防部材１０１が配設されている（図１３参照）。複数の重量測定装置９１は、Ｙ軸方向に並設されており、１つの重量測定装置９１が１つのヘッド群５４に対応している。
【００５５】
各重量測定装置９１は、ヘッド群５４を構成する６個の機能液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受ける受液容器９４と、受液容器９４を介して機能液の重量を測定する電子天秤９９と、受液容器９４を挟むようＸ軸方向に配設され、重量測定時に測定対象外の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を受ける一対の重量測定時定期フラッシングボックス９５と、これらを収容するケース９６と、を有している。重量測定時定期フラッシングボックス９５および定期フラッシングボックス９３内には、機能液吸収材９７が、その両長辺部を一対の押えプレート９８により押え付けた状態で敷設されている。なお、受液容器９４は、各機能液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。
【００５６】
電子天秤９９は、受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を制御手段７に出力する。制御手段７は、電子天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ３８から機能液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。すなわち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次のワークＷに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更し、変更後の電圧値で、再度重量測定を行なう。この重量測定および電圧値変更は、重量測定結果が目標の範囲内になるまで、繰り返し行なわれる。
【００５７】
また、一対の重量測定時定期フラッシングボックス９５の内、定期フラッシングボックス９３側の重量測定時定期フラッシングボックス９５ａと、定期フラッシングボックス９３とは、吐出検査時に用いられ、これらは検査シート１７１の幅内のいずれかの位置に検査カメラ１６３が臨んだ場合でも、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されている。
【００５８】
定期フラッシングボックス９３は、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行なわれる、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受けるためのものであり、受液容器９４から外れた位置に設けられている。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７から捨て吐出された機能液滴が受液容器９４に入ることがなく、不要な受液容器９４の交換を防止することができる。また、定期フラッシングボックス９３は、Ｘ軸第１スライダ２２により、ワークＷのアライメントマークＭをアライメントカメラ８１の画像認識可能な位置に臨ませたワークステージ２１に対し、Ｘ軸第２スライダ２３により定期フラッシングボックス９３を最大限接近させた状態で、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されている。より具体的には、図１２（ａ）に示すように、センター中心にワークＷがセットされたときに、アライメントマークＭが機能液滴吐出ヘッド１７から最も離れるワークＷに対し、画像認識を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッド１７の直下には、定期フラッシングボックス９３のワークステージ２１から離れた側（図示右側）が臨み、複数の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受ける。一方、図１２（ｂ）に示すように、アライメントマークＭが機能液滴吐出ヘッド１７から最も近いワークＷに対し、画像認識を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッド１７の直下に、定期フラッシングボックス９３のワークステージ２１に近い側（図示左側）が臨み、複数の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受ける。これにより、アライメントカメラ８１がアライメントマークＭを画像認識している際にも、定期フラッシングボックス９３が複数の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を受けることができ、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持を図ることができる。
【００５９】
本実施形態では、１の重量測定装置９１で６個の機能液滴吐出ヘッド１７についてノズル列単位で測定を行うため、１の機能液滴吐出ヘッド１７の１つのノズル列が測定吐出を行っている際に、その他の５個の機能液滴吐出ヘッド１７はその測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の機能液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間に吐出ノズルが乾燥することなく、「待ち」状態後に測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【００６０】
次に、図１３、図１４および図１５を参照して、重量測定における一連の動作について説明する。重量測定を開始すると、Ｘ軸第２テーブル２３が、各重量測定装置９１の各受液容器９４を、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａに臨ませる（図１３（ａ）参照）。そして、各受液容器９４に対し、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの全ノズルから、ノズル列単位で測定吐出を行なう。このとき、各ヘッド群１６の２番目から６番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂ〜１７ｆは、重量測定時定期フラッシングボックス９５に対し、捨て吐出を行なう（図１４（ａ）参照）。
【００６１】
機能液滴吐出ヘッド１７ａの測定吐出が終わると、Ｘ軸第２テーブル２３が、各受液容器９４を、重量測定ユニット９１の移動軌跡上に設けられた風防部材１０１の直下に移動させる（図１３（ｂ）参照）。この状態で、電子天秤９９により、ノズル列単位で液滴吐出量の測定を行う。これにより、電子天秤９９は、気流（チャンバルームによるダウンフローや乱流）が風防部材１０１により遮断されるため、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。そして、１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの残りのノズル列の液滴吐出量の重量測定後、２番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂを受液容器９４に臨ませ、同様にして、測定吐出を行う（図１４（ｂ））。以下同様にして、各ヘッド群５４の６個の機能液滴吐出ヘッド１７について順に液滴吐出量を測定する。
【００６２】
また、ワークＷの給材等の描画処理休止時には、Ｘ軸第２テーブル２３が、各重量測定装置９１の各定期フラッシングボックス９３を、全ての機能液滴吐出ヘッド１７に臨ませる（図１５（ａ）参照）。そして、全ての機能液滴吐出ヘッド１７は、各定期フラッシングボックス９３に対し、捨て吐出を行なう（図１５（ｂ）参照）。
【００６３】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１では、ワークステージ２１を移動させるワーク移動手段と、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を移動させるユニット移動手段と、が同一軌道上にあるため、描画処理の直前に、重量測定を行なうことができる。このため、定期的に重量測定を行なった場合でも、重量測定処理から描画処理への移行を短時間で行なうことができ、全体としてのタクトタイムを短縮することができる。
【００６４】
次に、図１６および図１７を参照して、本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置１について説明する。なお、上記実施形態１に係る液滴吐出装置１と同じ構成については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６５】
この実施形態では、液滴吐出装置１のＸ軸テーブル１１上に、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０に加え、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６が設けられており、吸引ユニット１５は、フラッシングユニット１４（定期フラッシングユニット）を兼ねている。具体的には、ワークステージ２１と同軸上において、機能液滴吐出ヘッド１７から離れた側から、ワイピングユニット１６、重量測定ユニット９０、吸引ユニット１５、吐出検査ユニット１８の順に設けられ、重量測定ユニット９０、吸引ユニット１５および吐出検査ユニット１８はＸ軸第２スライダ２３に搭載され、ワイピングユニット１６はＸ軸第３スライダ（サブユニット移動手段）１０２に搭載されている。
【００６６】
吸引処理を行なう場合、Ｘ軸第２スライダ２３により、吸引ユニット１５を機能液滴吐出ヘッド１７の下に臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を吸引する。その後、ワイピング処理を行なう場合には、Ｘ軸第２スライダ２３により吸引ユニット１５を微小移動させると共に、Ｘ軸第３スライダ１０２によりワイピングユニット１６を機能液滴吐出ヘッド１７の下に臨ませて、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。そして、重量測定処理を行なう場合には、Ｘ軸第３スライダ１０２によりワイピングユニット１６を機能液滴吐出ヘッド１７から離れる方向に微小移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３により重量測定ユニット９０を機能液滴吐出ヘッド１７の下に臨ませて、上記した重量測定処理を行なう。
【００６７】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１では、吸引ユニット１５が機能液滴吐出ヘッド１７から機能液の吸引し、ワイピングユニット１６が吸引された機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を払拭する。これにより、吸引、ワイピングおよび重量測定から成る一連処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００６８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１９（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１９（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１９（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１９（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７４】
図２０は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図２０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００８０】
図２１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８３】
図２２は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８８】
次に、図２３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１００】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２４〜図３２を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２５に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２６に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０４】
図２７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２８に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０６】
そして次に、図２９に示すように、各色のうちのいずれか（図２９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図３０に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図３１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図３２に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１２】
次に、図３３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１９】
次に、図３４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
１…液滴吐出装置 ７…制御手段 １１…Ｘ軸テーブル １２…Ｙ軸テーブル １４フラッシングユニット １５…吸引ユニット １６…ワイピングユニット １７…機能液滴吐出ヘッド １８…吐出性能検査ユニット ２１…ワークステージ ２２…Ｘ軸第１スライダ ２３…Ｘ軸第２スライダ ２６…リニアモータ ９０…重量測定ユニット ９４…受液容器 ９９…電子天秤 １０１…風防部材 Ｗ…ワーク。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いてワークに描画を行なう液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、ワークをセットするセットテーブル（ワークステージ）と、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルからの捨て吐出を行なうためのフラッシングユニットと、吐出ノズルから機能液が適切に吐出されているか否かを検査する吐出検査ユニットと、機能液滴吐出ヘッドの機能回復を行なう吸引ユニットと、吸引後の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングユニットと、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。フラッシングユニットおよび吐出検査ユニットは、ワークステージの移動軸上（主走査方向）に設けられ、吸引ユニットおよびワイピングユニットはワークステージの移動軸と直交する別軸（副走査方向）に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０７６０６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、高精度の描画を行なうためには、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから吐出した機能液の重量を測定して機能液滴の量を調整する重量測定ユニットを備えることが好ましい。重量測定ユニットは、例えば描画処理前に行なわれるため、メンテナンス処理を考慮して、吸引ユニットおよびワイピングユニットと共に上記の別軸に設けられることが考えられる。
【０００５】
しかしながら、従来の液滴吐出装置において、描画精度の向上のために、定期的に重量測定を行なう場合、重量測定処理を行なう度に、機能液滴吐出ヘッドを別軸上に設けられた重量測定ユニットに臨ませる必要があるため、描画処理におけるタクトタイムが長くなってしまう問題が想定される。
【０００６】
本発明は、定期的に重量測定処理を行なう場合でも、描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出装置は、ワークにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッドと、ワークを搭載するワークステージと、ワークステージを介して、複数の機能液滴吐出ヘッドに対しワークを主走査方向に移動させるワーク移動手段と、複数の機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査ユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニットと、フラッシングユニット、吐出検査ユニットおよび重量測定ユニットを搭載すると共に、フラッシングユニット、吐出検査ユニットおよび重量測定ユニットを、ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、ワークステージを移動させるワーク移動手段と、フラッシングユニット、吐出検査ユニットおよび重量測定ユニットを移動させるユニット移動手段と、が同一軌道上にあるため、描画処理の直前に、重量測定を行なうことができる。このため、定期的に重量測定を行なった場合でも、重量測定処理から描画処理への移行を短時間で行なうことができ、全体としてのタクトタイムを短縮することができる。
【０００９】
この場合、ワーク移動手段およびユニット移動手段は、共通のリニアモータを有し、リニアモータにより個別に駆動することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ワークや各ユニットを高精度に移動させることができると共に、ワーク移動手段およびユニット移動手段の構造を単純化することができる。
【００１１】
これらの場合、重量測定ユニットは、複数の機能液滴吐出ヘッドに対しノズル列単位で測定を行うようになっており、重量測定ユニットに対し複数の機能液滴吐出ヘッドを、副走査方向に相対的に移動させるサブ移動手段を、を更に備えたことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、重量測定ユニットに対し複数の機能液滴吐出ヘッドを、副走査方向に相対的に移動させることで、１の重量測定ユニットにより複数の機能液滴吐出ヘッドの重量測定を行なうことができる。
【００１３】
この場合、測定吐出のために、重量測定ユニットの受液容器に任意の１の機能液滴吐出ヘッドが臨んだ状態で、他の全ての機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受け得るように、重量測定ユニットとフラッシングユニットとは、一体に形成されていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、任意の１の機能液滴吐出ヘッドが重量測定にかかる測定吐出を行なっている間に、重量測定を待つその他の全ての機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を行なうことができる。これにより、重量測定の待ち状態の間に、機能液滴吐出ヘッドのノズルが乾燥等（機能液の増粘）の不具合を生ずることがない。
【００１５】
この場合、フラッシングユニットは、受液容器を外れた位置において、複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、フラッシングが受液容器を外れた位置にあるため、捨て吐出された機能液滴が受液容器に入ることがない。これにより、不要な受液容器の交換を防止することができる。
【００１７】
これらの場合、吐出検査ユニットは、複数の機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、副走査方向に延在する帯状の検査シートと、検査シートに検査吐出された着弾ドットを画像認識すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けた認識カメラと、を有し、フラッシングユニットは、画像認識のための認識カメラが検査シートの幅内のいずれかの位置に臨んだ場合であっても、複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、認識カメラが着弾ドットを画像認識している吐出検査時に、フラッシングユニットが複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受けることができ、機能液滴吐出ヘッドの機能維持を図ることができる。
【００１９】
これらの場合、ワークのアライメントマークを画像認識すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けたアライメントカメラを、更に備え、ワーク移動手段により、アライメントマークをアライメントカメラの画像認識可能な位置に臨ませた前記ワークステージに対し、ユニット移動手段によりフラッシングユニットを最大限接近させた状態で、フラッシングユニットは、複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、アライメントカメラがワークのアライメントマークを画像認識している時に、フラッシングユニットが複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受けることができ、機能液滴吐出ヘッドの機能維持を図ることができる。
【００２１】
これらの場合、複数の機能液滴吐出ヘッドから主走査方向に逃げた軌道上に、重量測定ユニットの電子天秤が直下に臨む風防部材を配設したことが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、重量測定時に、移動手段により重量測定ユニットの電子天秤を防風部材の直下に移動させることで、電子天秤は気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行なうことができる。
【００２３】
これらの場合、複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピングユニットと、吸引ユニットおよびワイピングユニットを搭載すると共に、吸引ユニットおよびワイピングユニットを、ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるサブユニット移動手段と、を更に備えたことが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、吸引ユニットが機能液滴吐出ヘッドから機能液の吸引し、ワイピングユニットが吸引された機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する。これにより、吸引、ワイピングおよび重量測定から成る一連処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００２５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２６】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２７】
これらの構成によれば、上記液滴吐出装置を用いて、ワークのアライメント処理および機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を並列に行うことで、製造のサイクルタイムを短縮することができ、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】本実施形態に係る液滴吐出装置を主走査方向から見た側面図である。
【図３】本実施形態に係る液滴吐出装置を副走査方向から見た側面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図６】ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。
【図７】カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。
【図８】吐出検査ユニット廻りの外観斜視図である。
【図９】液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図１０】重量測定ユニットの平面図である。
【図１１】重量測定ユニットの側面図である。
【図１２】アライメント時の定期フラッシング処理を説明するための模式図である。
【図１３】重量測定処理を説明するための模式図である。
【図１４】重量測定処理を説明するための模式図である。
【図１５】定期フラッシング処理を説明するための模式図である。
【図１６】本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図１７】本実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。
【図１８】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１９】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図２０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２３】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２４】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２５】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２６】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２７】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２８】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２９】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３０】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３１】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３２】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３３】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３４】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３５】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３２】
図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワーク（基板）ＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、一対のアライメントカメラ８１を有し、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された画像認識ユニット８０と、Ｘ軸テーブル１１上に設けられたフラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された１０個のキャリッジユニット５１とから成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、一対の基準マーク（アライメントマーク）Ｍの位置が異なる複数種のワークＷに対して、所定の描画パターンを描画する。なお、重量測定ユニット９０とフラッシングユニット１４とは、一体に形成されている（詳細は後述する）。
【００３３】
また、液滴吐出装置１は、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６、から成るメンテナンスユニット５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている。
【００３４】
吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、機能液滴吐出ヘッド１７を吸引して、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に排出させるものである。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る（ワイピングを行なう）ものである。
【００３５】
また、同図では省略したが、液滴吐出装置１には、装置全体を制御する制御手段７（図９参照）が備えられており、後述する重量測定処理、描画処理およびメンテナンス処理は、制御手段７による制御に基づいて行なわれている。
【００３６】
以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするワークステージ２１と、ワークステージ２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記の重量測定ユニット９０および吐出検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介して重量測定ユニット９０および吐出検査ユニット１８をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ２６と、Ｘ軸リニアモータ２６に並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。なお、Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸共通支持ベース２４とにより請求項に言うワーク移動手段が構成され、Ｘ軸第２スライダ２３とＸ軸共通支持ベース２４とにより請求項に言うユニット移動手段が構成され、これらはＸ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能となっている。
【００３７】
ワークステージ２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２等を有している。図１における図示左側の位置が、ワークＷのアライメントを行なうためのアライメント位置４１（除給材位置）となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。そして、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行なわれる。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。なお、ワークステージ２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１が添設されている。
【００３８】
画像認識ユニット８０は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、給材された各種ワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）Ｍを画像認識する２台のアライメントカメラ８１と、Ｘ軸共通支持ベース２４に支持され、カメラホルダ（図示省略）を介して、２台のアライメントカメラ８１を副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構８２と、を有している。各認識カメラ８１は、ワークステージ２１の主走査方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２により副走査方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を行なう。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。
【００３９】
Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット１３を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。なお、Ｙ軸テーブル１２は、請求項で言うサブ移動手段を構成している。
【００４０】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する（副走査）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。なお、
【００４１】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図５参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。
【００４２】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００４３】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。また、機能液滴吐出ヘッド１７は、各吐出ノズル９８ごとに液滴を自在に吐出することができるように構成されている。
【００４４】
図５に示すように、ヘッドユニット１３には、サブキャリッジ５３を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつ（Ｒ・Ｇ・Ｂそれぞれ２個ずつ）Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド群５４を構成している。本実施形態のものでは、全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）の２回の副走査により、Ｙ軸方向に連続するＲＧＢ３色の描画ラインがそれぞれ形成される。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。
【００４５】
ところで、ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており（図６参照）、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。この描画パターンには、図７に示すように３種類のパターンがあり、本実施形態では、図７（ａ）の描画パターン（ビットマップデータ）により描画が行われる。
【００４６】
液滴吐出装置１の描画動作は、まず、ワークＷをＸ軸テーブルにより、Ｘ軸方向で移動させながら（図１中左側へ）、第１描画動作（往動パス）を行う。その後、ヘッドユニット１３を２ヘッド分Ｙ軸方向に移動（副走査）させて、改めて、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中右側へ）、第２描画動作（復動パス）を行う。そして、再度ヘッドユニット１３を２ヘッド分副走査し、もう一度、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中左側へ）、第３描画動作（往動パス）を行う。このような描画動作により、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を効率良く行っている。
【００４７】
次に、図９を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１を有し、ワークＷをＸ軸方向に移動させるワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンスユニット５の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、各種センサを有し、各種検出を行なう検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体を制御する制御部１９７（制御手段７）と、を備えている。
【００４８】
制御部１９７には、各部を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各部からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。
【００４９】
そして、制御部１９７は、各部からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行なわれる。
【００５０】
図１、図２および図８に示すように、吐出検査ユニット１８は、ヘッドユニット１３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル９８）から機能液が適切に吐出されているか否か（ドット抜け）を検査するためのものであり、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット１６１と、被描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドット）を撮像して検査する撮像ユニット１６２と、を備えている。なお、被描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載され、撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下の検査位置に固定的に設けられている（但し、後述する検査カメラ（認識カメラ）１６３は、移動する）。
【００５１】
被描画ユニット１６１は、機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受けると共に、副走査方向に延在する帯状の検査シート１７１と、検査シート１７１が載置される検査ステージ１７２と、検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２に送り出し、かつ非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように検査シート１７１を送るシート送り手段１７３と、シート送り手段１７３を支持するシート送り支持部材１７４と、シート送り支持部材１７４を支持するユニットベース１７５と、検査ステージ１７２上に載置される検査シート１７１のセット不良を検出する真空センサ１７８と、を備えている。
【００５２】
図２に示すように、撮像ユニット１６２は、上記したＹ軸支持ベース３に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、検査シート１７１に検査吐出された着弾ドットを画像認識する２個の検査カメラ１６３と、Ｙ軸支持ベース３に固定され、カメラホルダを介して、２個の検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、カメラ移動機構１６４を介して検査カメラ１６３をＹ軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ（図示省略）と、を有している。
【００５３】
撮像ユニット１６２は、吸着テーブル３１がワーク載せ換え位置に臨んだときに、２個の検査カメラ１６３が検査シート１７１に臨むように配設されており、本実施形態では、ワークＷ載換え中およびアライメント中に、検査パターンの撮像を行なえるようになっている。そして、２個の検査カメラ１６３による撮像結果は、制御手段７に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル９８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判断されるが、この判断もワーク載換え中およびアライメント中に行われる。すなわち、吐出検査手段は、撮像ユニット１６２および制御手段７により構成されている。
【００５４】
図１０および図１１に示すように、重量測定ユニット９０は、フラッシングユニット１４と一体に形成されており、これらユニットは、複数（本実施形態では２０個）の重量測定装置９１と、４つの重量測定装置９１毎に一括して支持する５つの支持フレーム９２と、重量測定装置９１内に収容される定期フラッシングボックス９３と、を備えており、支持フレーム９２がＸ軸第２スライダ２３に副走査方向に並べて搭載されている。また、重量測定ユニット９０の複数の機能液滴吐出ヘッド１７に臨む位置から主走査方向に逃げた軌跡上に、電子天秤９９が直下に臨む風防部材１０１が配設されている（図１３参照）。複数の重量測定装置９１は、Ｙ軸方向に並設されており、１つの重量測定装置９１が１つのヘッド群５４に対応している。
【００５５】
各重量測定装置９１は、ヘッド群５４を構成する６個の機能液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受ける受液容器９４と、受液容器９４を介して機能液の重量を測定する電子天秤９９と、受液容器９４を挟むようＸ軸方向に配設され、重量測定時に測定対象外の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を受ける一対の重量測定時定期フラッシングボックス９５と、これらを収容するケース９６と、を有している。重量測定時定期フラッシングボックス９５および定期フラッシングボックス９３内には、機能液吸収材９７が、その両長辺部を一対の押えプレート９８により押え付けた状態で敷設されている。なお、受液容器９４は、各機能液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。
【００５６】
電子天秤９９は、受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を制御手段７に出力する。制御手段７は、電子天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ３８から機能液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。すなわち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次のワークＷに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更し、変更後の電圧値で、再度重量測定を行なう。この重量測定および電圧値変更は、重量測定結果が目標の範囲内になるまで、繰り返し行なわれる。
【００５７】
また、一対の重量測定時定期フラッシングボックス９５の内、定期フラッシングボックス９３側の重量測定時定期フラッシングボックス９５ａと、定期フラッシングボックス９３とは、吐出検査時に用いられ、これらは検査シート１７１の幅内のいずれかの位置に検査カメラ１６３が臨んだ場合でも、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されている。
【００５８】
定期フラッシングボックス９３は、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行なわれる、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受けるためのものであり、受液容器９４から外れた位置に設けられている。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７から捨て吐出された機能液滴が受液容器９４に入ることがなく、不要な受液容器９４の交換を防止することができる。また、定期フラッシングボックス９３は、Ｘ軸第１スライダ２２により、ワークＷのアライメントマークＭをアライメントカメラ８１の画像認識可能な位置に臨ませたワークステージ２１に対し、Ｘ軸第２スライダ２３により定期フラッシングボックス９３を最大限接近させた状態で、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されている。より具体的には、図１２（ａ）に示すように、センター中心にワークＷがセットされたときに、アライメントマークＭが機能液滴吐出ヘッド１７から最も離れるワークＷに対し、画像認識を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッド１７の直下には、定期フラッシングボックス９３のワークステージ２１から離れた側（図示右側）が臨み、複数の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受ける。一方、図１２（ｂ）に示すように、アライメントマークＭが機能液滴吐出ヘッド１７から最も近いワークＷに対し、画像認識を行なう場合には、機能液滴吐出ヘッド１７の直下に、定期フラッシングボックス９３のワークステージ２１に近い側（図示左側）が臨み、複数の機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受ける。これにより、アライメントカメラ８１がアライメントマークＭを画像認識している際にも、定期フラッシングボックス９３が複数の機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を受けることができ、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持を図ることができる。
【００５９】
本実施形態では、１の重量測定装置９１で６個の機能液滴吐出ヘッド１７についてノズル列単位で測定を行うため、１の機能液滴吐出ヘッド１７の１つのノズル列が測定吐出を行っている際に、その他の５個の機能液滴吐出ヘッド１７はその測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の機能液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間に吐出ノズルが乾燥することなく、「待ち」状態後に測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【００６０】
次に、図１３、図１４および図１５を参照して、重量測定における一連の動作について説明する。重量測定を開始すると、Ｘ軸第２テーブル２３が、各重量測定装置９１の各受液容器９４を、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａに臨ませる（図１３（ａ）参照）。そして、各受液容器９４に対し、各ヘッド群１６の１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの全ノズルから、ノズル列単位で測定吐出を行なう。このとき、各ヘッド群１６の２番目から６番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂ〜１７ｆは、重量測定時定期フラッシングボックス９５に対し、捨て吐出を行なう（図１４（ａ）参照）。
【００６１】
機能液滴吐出ヘッド１７ａの測定吐出が終わると、Ｘ軸第２テーブル２３が、各受液容器９４を、重量測定ユニット９１の移動軌跡上に設けられた風防部材１０１の直下に移動させる（図１３（ｂ）参照）。この状態で、電子天秤９９により、ノズル列単位で液滴吐出量の測定を行う。これにより、電子天秤９９は、気流（チャンバルームによるダウンフローや乱流）が風防部材１０１により遮断されるため、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。そして、１番目の機能液滴吐出ヘッド１７ａの残りのノズル列の液滴吐出量の重量測定後、２番目の機能液滴吐出ヘッド１７ｂを受液容器９４に臨ませ、同様にして、測定吐出を行う（図１４（ｂ））。以下同様にして、各ヘッド群５４の６個の機能液滴吐出ヘッド１７について順に液滴吐出量を測定する。
【００６２】
また、ワークＷの給材等の描画処理休止時には、Ｘ軸第２テーブル２３が、各重量測定装置９１の各定期フラッシングボックス９３を、全ての機能液滴吐出ヘッド１７に臨ませる（図１５（ａ）参照）。そして、全ての機能液滴吐出ヘッド１７は、各定期フラッシングボックス９３に対し、捨て吐出を行なう（図１５（ｂ）参照）。
【００６３】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１では、ワークステージ２１を移動させるワーク移動手段と、フラッシングユニット１４、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０を移動させるユニット移動手段と、が同一軌道上にあるため、描画処理の直前に、重量測定を行なうことができる。このため、定期的に重量測定を行なった場合でも、重量測定処理から描画処理への移行を短時間で行なうことができ、全体としてのタクトタイムを短縮することができる。
【００６４】
次に、図１６および図１７を参照して、本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置１について説明する。なお、上記実施形態１に係る液滴吐出装置１と同じ構成については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６５】
この実施形態では、液滴吐出装置１のＸ軸テーブル１１上に、吐出検査ユニット１８および重量測定ユニット９０に加え、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６が設けられており、吸引ユニット１５は、フラッシングユニット１４（定期フラッシングユニット）を兼ねている。具体的には、ワークステージ２１と同軸上において、機能液滴吐出ヘッド１７から離れた側から、ワイピングユニット１６、重量測定ユニット９０、吸引ユニット１５、吐出検査ユニット１８の順に設けられ、重量測定ユニット９０、吸引ユニット１５および吐出検査ユニット１８はＸ軸第２スライダ２３に搭載され、ワイピングユニット１６はＸ軸第３スライダ（サブユニット移動手段）１０２に搭載されている。
【００６６】
吸引処理を行なう場合、Ｘ軸第２スライダ２３により、吸引ユニット１５を機能液滴吐出ヘッド１７の下に臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を吸引する。その後、ワイピング処理を行なう場合には、Ｘ軸第２スライダ２３により吸引ユニット１５を微小移動させると共に、Ｘ軸第３スライダ１０２によりワイピングユニット１６を機能液滴吐出ヘッド１７の下に臨ませて、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。そして、重量測定処理を行なう場合には、Ｘ軸第３スライダ１０２によりワイピングユニット１６を機能液滴吐出ヘッド１７から離れる方向に微小移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３により重量測定ユニット９０を機能液滴吐出ヘッド１７の下に臨ませて、上記した重量測定処理を行なう。
【００６７】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１では、吸引ユニット１５が機能液滴吐出ヘッド１７から機能液の吸引し、ワイピングユニット１６が吸引された機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を払拭する。これにより、吸引、ワイピングおよび重量測定から成る一連処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００６８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１９（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１９（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１９（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１９（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７４】
図２０は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図２０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００８０】
図２１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８３】
図２２は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８８】
次に、図２３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１００】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２４〜図３２を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２５に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２６に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０４】
図２７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２８に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０６】
そして次に、図２９に示すように、各色のうちのいずれか（図２９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図３０に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図３１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図３２に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１２】
次に、図３３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１９】
次に、図３４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
１…液滴吐出装置 ７…制御手段 １１…Ｘ軸テーブル １２…Ｙ軸テーブル １４フラッシングユニット １５…吸引ユニット １６…ワイピングユニット １７…機能液滴吐出ヘッド １８…吐出性能検査ユニット ２１…ワークステージ ２２…Ｘ軸第１スライダ ２３…Ｘ軸第２スライダ ２６…リニアモータ ９０…重量測定ユニット ９４…受液容器 ９９…電子天秤 １０１…風防部材 Ｗ…ワーク。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッドと、
ワークを搭載するワークステージと、
前記ワークステージを介して、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対しワークを主走査方向に移動させるワーク移動手段と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査ユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニットと、
前記フラッシングユニット、前記吐出検査ユニットおよび前記重量測定ユニットを搭載すると共に、前記フラッシングユニット、前記吐出検査ユニットおよび前記重量測定ユニットを、前記ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ワーク移動手段およびユニット移動手段は、共通のリニアモータを有し、前記リニアモータにより個別に駆動することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記重量測定ユニットは、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対しノズル列単位で測定を行うようになっており、
前記重量測定ユニットに対し前記複数の機能液滴吐出ヘッドを、副走査方向に相対的に移動させるサブ移動手段を、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
測定吐出のために、前記重量測定ユニットの受液容器に任意の１の前記機能液滴吐出ヘッドが臨んだ状態で、他の全ての前記機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受け得るように、
前記重量測定ユニットと前記フラッシングユニットとは、一体に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記フラッシングユニットは、前記受液容器を外れた位置において、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記吐出検査ユニットは、前記複数の機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、副走査方向に延在する帯状の検査シートと、
前記検査シートに検査吐出された着弾ドットを画像認識すると共に、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けた認識カメラと、を有し、
前記フラッシングユニットは、画像認識のための前記認識カメラが前記検査シートの幅内のいずれかの位置に臨んだ場合であっても、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることを特徴する請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ワークのアライメントマークを画像認識すると共に、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けたアライメントカメラを、更に備え、
前記ワーク移動手段により、前記アライメントマークを前記アライメントカメラの画像認識可能な位置に臨ませた前記ワークステージに対し、前記ユニット移動手段により前記フラッシングユニットを最大限接近させた状態で、前記フラッシングユニットは、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることを特徴する請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記複数の機能液滴吐出ヘッドから主走査方向に逃げた前記軌道上に、重量測定ユニットの電子天秤が直下に臨む風防部材を配設したことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピングユニットと、
前記吸引ユニットおよび前記ワイピングユニットを搭載すると共に、前記吸引ユニットおよび前記ワイピングユニットを、前記ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるサブユニット移動手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
ワークにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッドと、
ワークを搭載するワークステージと、
前記ワークステージを介して、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対しワークを主走査方向に移動させるワーク移動手段と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出検査ユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニットと、
前記フラッシングユニット、前記吐出検査ユニットおよび前記重量測定ユニットを搭載すると共に、前記フラッシングユニット、前記吐出検査ユニットおよび前記重量測定ユニットを、前記ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ワーク移動手段およびユニット移動手段は、共通のリニアモータを有し、前記リニアモータにより個別に駆動することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記重量測定ユニットは、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対しノズル列単位で測定を行うようになっており、
前記重量測定ユニットに対し前記複数の機能液滴吐出ヘッドを、副走査方向に相対的に移動させるサブ移動手段を、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
測定吐出のために、前記重量測定ユニットの受液容器に任意の１の前記機能液滴吐出ヘッドが臨んだ状態で、他の全ての前記機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を受け得るように、
前記重量測定ユニットと前記フラッシングユニットとは、一体に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記フラッシングユニットは、前記受液容器を外れた位置において、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記吐出検査ユニットは、前記複数の機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、副走査方向に延在する帯状の検査シートと、
前記検査シートに検査吐出された着弾ドットを画像認識すると共に、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けた認識カメラと、を有し、
前記フラッシングユニットは、画像認識のための前記認識カメラが前記検査シートの幅内のいずれかの位置に臨んだ場合であっても、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることを特徴する請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ワークのアライメントマークを画像認識すると共に、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍において主走査方向に対し固定的に設けたアライメントカメラを、更に備え、
前記ワーク移動手段により、前記アライメントマークを前記アライメントカメラの画像認識可能な位置に臨ませた前記ワークステージに対し、前記ユニット移動手段により前記フラッシングユニットを最大限接近させた状態で、前記フラッシングユニットは、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出を同時に受け得る大きさに形成されていることを特徴する請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記複数の機能液滴吐出ヘッドから主走査方向に逃げた前記軌道上に、重量測定ユニットの電子天秤が直下に臨む風防部材を配設したことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピングユニットと、
前記吸引ユニットおよび前記ワイピングユニットを搭載すると共に、前記吸引ユニットおよび前記ワイピングユニットを、前記ワークステージと同一軌道上において主走査方向に移動させるサブユニット移動手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【公開番号】特開２０１０−１９８０２８（Ｐ２０１０−１９８０２８Ａ）
【公開日】平成２２年９月９日（２０１０．９．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−８５７９５（Ｐ２０１０−８５７９５）
【出願日】平成２２年４月２日（２０１０．４．２）
【分割の表示】特願２００７−７７５３１（Ｐ２００７−７７５３１）の分割
【原出願日】平成１９年３月２３日（２００７．３．２３）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年９月９日（２０１０．９．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年４月２日（２０１０．４．２）
【分割の表示】特願２００７−７７５３１（Ｐ２００７−７７５３１）の分割
【原出願日】平成１９年３月２３日（２００７．３．２３）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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