【課題】軽量化を図りつつ、液体噴射ヘッドの払拭時に払拭部材が弛むことを抑制できるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッド２２に付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０の一端を巻装した繰り出しローラー８１、または、ワイピング部材３０の他端を巻装した巻き取りローラー８２のうち、払拭時にワイピング部材３０に対して作用する摩擦力によって張力がかかるローラーの回動を規制するラチェット１１５，１２４を備えた。 （もっと読む）

【課題】ワイピング部材の浪費を抑制しつつ、ワイピング部材において液体を吸収した部分が液体噴射ヘッドに当接することを回避することができるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッドに付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０を巻装した繰り出しローラーと、繰り出しローラーから巻き解かれたワイピング部材３０を巻き取る巻き取りローラー８２と、ワイピング部材３０において繰り出しローラーと巻き取りローラー８２との間の掛装される部分を巻き掛けた状態で、繰り出しローラーから巻き取りローラー８２へのワイピング部材３０の繰り出しに伴って連れ回るように回動する中継ローラー８９と、中継ローラー８９の回動量を検出するロータリーエンコーダー１２９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】液体が空間に残存しにくくする。
【解決手段】プリンタは、ヘッド１と、キャップ機構４０と、ワイパユニットと、これらを制御する制御装置とを含んでいる。制御装置は、吐出空間Ｓ１が外部空間Ｓ２から封止された封止状態とする際に、キャップ機構４０及びワイパユニットを制御して、リップ部材４２を第２当接位置に移動させる接近動作を行った後、対向部材１０の表面１０ａを払拭する第２ワイピング動作を行う。この後、制御装置は、キャップ機構４０を制御して、リップ部材４２を第１当接位置に移動させて、キャッピング動作を行う。 （もっと読む）

【課題】処理動作のタクトタイムを短縮することができ、且つ、ノズルのメンテナンス処理に起因する被処理基板の汚染を防止する。
【解決手段】被処理基板Ｇの幅方向に延びる吐出口を有し、前記処理ステージ上の前記基板の上方を基板搬送方向に沿って移動されると共に、前記吐出口から前記基板上に処理液を吐出するノズル３１と、前記ノズルを昇降移動可能であって、前記ノズルを基板搬送方向上流側または下流側に向けて移動可能なノズル移動手段３２と、基板搬送路４の下方に設けられ、前記ノズルの吐出口の状態を整えるノズルメンテナンス手段３５と、前記基板搬送路において前記処理ステージの上流側または下流側に所定長さの空き区間ｄを出没自在に形成可能な空き区間形成手段２１，２２，２３Ａ、２３Ｂ、３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】吸引清掃部材によって塗布ヘッドの吐出口形成面の清掃を良好に行うことができる塗布液塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ヘッド７の吐出口形成面７ａに付着した塗布液Ｌ１、Ｌ２を吸引清掃ノズル９によって清掃する清掃動作の直前に行われた塗布ヘッド７の吐出口７ｂからの吐出動作に応じて、吸引清掃ノズル９に作用させる吸引力を切り換える。例えば、吐出口７ｂから塗布液を流出させる吐出動作によって塗布液が付着した吐出口形成面７ａを清掃するときに吸引清掃ノズル９に作用させる吸引力を、吐出口７ｂから塗布液を液滴状にして噴射させる吐出動作によって塗布液が付着した吐出口形成面７ａを清掃するよりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】ノズルと基板表面の距離（ギャップ）を精度良く制御することを可能とする。
【解決手段】実施形態にかかる塗布方法は、測定により、基準となるノズルの位置情報である基準情報を検出し、前記基準情報測定の後に、前記ノズルを洗浄し、前記洗浄後に、測定により、前記ノズルの位置情報である実測情報を検出し、前記実測情報、及び前記基準情報の変化量から、ノズルの位置変化量を検出し、前記ノズルの位置変化量が、予め設定されたノズルの許容変化量の範囲内である場合には、前記実測情報を対象情報とし、この対象情報に基づいて前記ノズルの位置調整を行って、塗布対象物に塗布材料を供給し、前記ノズルの位置変化量が、前記許容変化量の範囲外である場合には、再度、前記ノズルを洗浄し、その後、前記塗布対象物に、前記塗布材料を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイパブレードに付着したインクによる汚れを低減したインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】被記録媒体にノズル面からインクを吐出して記録を行う記録ヘッドと、前記ノズル面に対して下方に略垂直に配置されて、前記ノズル面に付着しているインクを拭き取る拭取部を上端部に有するワイパブレードを備えたインクジェット記録装置であって、前記ワイパブレードは下端部に下方へ突出するように延設される突出部を有し、前記突出部は、上下方向に対して直交する方向における一端部と他端部との間隔が、下方へ向かうほど小さくなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルを十分清浄に洗浄でき、かつ、そのメンテナンスが容易なノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】 洗浄機構６０は、超音波振動子１５を収納するとともに、この超音波振動子１５を冷却するための冷却水１３を貯留する冷却水貯留部１１を備える。また、洗浄機構６０は、冷却水貯留部１１に貯留された冷却水１３中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液１４を貯留する溶液貯留部１２を備える。スリットノズル４１を溶液１４中に浸漬した状態で超音波振動子１５が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水１３および溶液貯留部１２を介して溶液１４に伝達される。 （もっと読む）

【課題】塗布対称物の塗布面に塗布される材料の厚みが不均一になることを抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１０は、アプリケータ５０と、材料供給部８０と、第１〜３の移動機構とを備える。前記アプリケータは、メニスカス柱形成部Ｓと、余剰材料回収用の凹部５２とを備える。前記材料供給部は、前記アプリケータに前記材料を供給する。前記第１の移動機構４０は、前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を前記塗布面に沿って相対的に移動する。前記第２の移動機構は、前記メニスカス柱形成部と前記塗布面との間に形成されるメニスカス柱を、前記塗布面と前記凹部との間に移動するように前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を相対的に移動する。前記第３の移動機構は、前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を離れる方向と近づく方向とに相対的に移動する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出面にストレスを与えることなくノズル内部に付着した汚れ及び液体吐出面に付着した汚れを除去しうる洗浄装置、液体吐出装置及びインクジェットヘッドの洗浄方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド（１０）のノズル（１２）から吐出させる第１の液体（１４）の最大吐出速度以上の流速を有する第２の液体（１６）の層流（１６Ａ）を発生させ、発生させた第２の液体の層流をノズルの内部の前記第１の液体に接触させて、ノズルの内部の第１の液体と第２の液体の層流との間に生じるせん断応力によりノズルの内部に第１の液体の循環流を発生させて、ノズルの内部の汚れを除去するととともに、発生させた第２の液体の層流を前記インクジェットヘッドの液体吐出面（１２Ａ）に接触させて、液体吐出面に付着している汚れを除去する。 （もっと読む）

【課題】スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供すること。
【解決手段】被塗布面Ｋａ上に塗工液を塗布するスリットコータ１のスリット部２４を清掃する清掃具７であって、スリット部２４に挿入され、スリット部２４を構成する一対の壁部２４１，２４１に付着した塗工液を清掃する清掃部材７３と、一対の壁部２４１，２４１の少なくとも一方に向けて清掃部材７３を付勢する付勢部７４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電極用塗工塗膜を形成する際、塗工精度を保ちつつ、塗工部の終端部にヒゲ形状が生じないように塗工することが可能な二次電池の電極部材の塗工装置および塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗料を吐出する塗工用ヘッド（５）と、塗工用ヘッド（５）に塗料を供給する塗料供給装置(１，２)と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗工用ヘッド（５）へ塗料を送液するための第１の流路と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗料供給装置(１，２)に塗料を還流させるための第２の流路と、塗工用ヘッド（５）の近傍に設けられ、塗工停止時に塗工用ヘッド（５）内の塗料を吸引する２つ以上の吸引バルブ（１０）とを備える電極部材の塗工装置。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】幅方向に長く先端で開口しているスリット７が内部に形成されている口金３において、従来では振動波（振動波に基づくキャビテーション）の伝播が充分にされず残っていた固着物を、浮かび上がらせることが可能となり、短時間で所望の洗浄結果を得る。
【解決手段】洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに口金先端９を浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。この状態から、スリット７を通じて口金内部に気体を、スリット７の幅方向全長にわたって、流入させる。この後、口金先端９を洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。 （もっと読む）

【課題】描画作業が長時間となってもノズル詰り等の発生を防止し、作業効率を維持しつつ、描画動作を実行させる。
【解決手段】部材に対して紫外線の照射により硬化する機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記部材に付着した前記機能液に対して前記紫外線を照射する紫外線照射部と、前記紫外線の照射光量に応じて設定されるフラッシング条件でフラッシング動作を行わせる制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】インクの付着を防止したヘッドクリーニング装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】インクの液滴を水平方向に吐出する記録ヘッドの鉛直なノズル面に沿って上から下に移動することによってノズル面のインクを払拭する払拭部材と、記録ヘッドの下端にノズル面と面位置で設けられ、ノズル面の払拭終了後の払拭部材に当接し、少なくとも払拭部材より剛性が高い弾性体からなるガイド部材と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ディスペンサに詰まりが生じた場合にディスペンサを交換することなく詰まりを解消する。
【解決手段】光透過性の吐出部１０Ａを有し吐出部１０Ａ先端の吐出口１０Ａ１から塗布材を吐出するディスペンサ１０と、吐出部１０Ａに照射可能なレーザ光を出射するレーザ光源１１と、レーザ光源１１から出射したレーザ光を吐出部１０Ａに照射させる光学系１２を備える。吐出部１０Ａの特定位置にレーザ光を照射させ、特定位置の吐出部１０Ａ内に存在する詰まり原因を流動化させることでディスペンサ１０の詰まりを解消する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドに対するメンテナンス頻度を適正に行い、吐出特性を安定化させる。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドの周囲の湿度を測定する湿度測定部と、前記吐出ヘッドを保守するメンテナンス部と、測定された前記湿度に基づいて、前記吐出ヘッドに対する前記メンテナンス部の駆動頻度を制御する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高速間欠塗布、および被塗布材全域への塗布を可能にする、塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液体を塗布対象物に塗布する液体塗布装置において、気体の吸引口を有し、且つ、吸引口側の壁面に複数の凹凸が存在する、もしくは吸引口側の壁面の濡れ性が一定ではない部分を設けたノズルを用い、塗布終端において吸引を強めることで選択的に塗布液をノズル壁面に濡れ上がらせ、ビードに細かい亀裂を複数生じさせる。 （もっと読む）