【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】基材の表面に塗布された塗膜を乾燥するにあたり、乾燥後に塗膜に残留する溶剤の量を大きく減少させることができるとともに塗膜表面の質が悪化することを防止することにより、乾燥後の塗膜の品質を良好なものとすることができる乾燥装置および乾燥方法を提供する。
【解決手段】各温度測定部２４により測定された塗膜の表面温度に基づいて、基材Ｗ上の塗膜に対する各乾燥ノズル２２による乾燥強度を調整するよう各乾燥ノズル２２を制御する。この際に、温度測定部２４により測定された塗膜の表面温度が予め設定された設定温度以上となった場合には、基材Ｗの搬送方向におけるこの温度測定部２４よりも下流側にある各乾燥ノズル２２による塗膜に対する乾燥強度を、当該温度測定部２４よりも上流側にある各乾燥ノズル２２による塗膜に対する乾燥強度よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】ウェブ上の液滴接触角を製造工程のなかで測定する塗布システムを提供する。
【解決手段】塗工部２０でハードコート剤を塗布し、乾燥部３０で熱風乾燥したウェブ１１の搬送中に、その一部を切離部４０により切り離し試験サンプル７１を得る。滴下試験部６０は、滴下装置６１によりこの試験サンプル７１に液滴を滴下し、カメラ６３で液滴を撮影し、液滴６５を撮影した画像から、計測装置６９により液滴６５の接触角７５を算出、計測する。計測装置６９は、計測した接触角７５に応じて、乾燥部３０の乾燥条件を制御するための制御信号を乾燥部３０に出力する。 （もっと読む）

【課題】不良ノズルを確実に検出する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に向けてノズルから機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定する着弾径測定部と、制御部と、を備え、前記制御部では、前記ノズルから基材に向けて吐出された液滴の吐出量と前記基材に着弾した前記吐出量に対応する前記液滴の基準着弾径との関係を示す関係データを取得し、前記ノズルから前記基材に向けて前記関係データに含まれる所定の液滴量を吐出させて、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定させ、測定された検査着弾径と前記所定の液滴量に対応する前記基準着弾径とを比較し、前記ノズルの合否を判断する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを精度よくアライメントすることのできるインクジェットヘッドの組立方法を提供する。
【解決手段】基準座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けたヘッドユニットを、姿勢変更して使用状態としたときのインクジェットヘッドの使用状態座標データを取得する使用状態データ取得工程Ｓ０７と、基準座標データと使用状態座標データとを比較し、インクジェットヘッドの位置ズレ量を取得するズレ量取得工程Ｓ１１と、基準座標データを位置ズレ量により補正した実装座標データを取得する実装データ取得工程Ｓ１１と、実装座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けるヘッド組付け工程Ｓ１３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】描画シートＷに設定された許可領域７３に、吐出ヘッド３３を前記ワークの搬送経路に対して交差するＸ方向に移動させながら、吐出ヘッド３３から液状体を吐出することによって、許可領域７３に前記液状体で描画を行う描画工程と、描画シートＷの余白領域７５に、吐出ヘッド３３から前記液状体を吐出することによって、余白領域７５に前記液状体で検査パターンを形成する検査パターン形成工程と、吐出ヘッド３３よりも前記搬送経路の下流側において、余白領域７５を含む描画シートＷの一部に重なる位置に設けられた撮像装置１２で、余白領域７５の前記検査パターンを撮像する撮像工程と、前記検査パターンを撮像した結果に基づいて、吐出ヘッド３３における前記液状体の吐出にかかる性能の合否を判定する判定工程と、を含む、ことを特徴とする描画方法。 （もっと読む）

【課題】大面積基板におけるロット毎の寸法誤差や熱膨張による寸法誤差に対して、精度良く着弾させることができるインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】画素領域外にもインクを着弾させ、画素の端部と画素領域外にも着弾させたインクの着弾位置を認識カメラで認識して、画素の端部と画素領域外にも着弾させたインクの着弾位置からズレ量を算出し、吐出するノズルを切り替えて基板に塗布する。これより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】塗布作業中におけるノズルとワークとの接触を検知し、これに起因して生じる塗布不良を可及的に回避する。
【解決手段】本発明に係る高粘度流体塗布装置は、高粘度流体を吐出可能なノズル１２を少なくとも具備する。ノズル１２は、筒部１６と、筒部１６の内周に配設され筒部１６の吐出側１６ａとの間に隙間１７を形成する隙間形成部１８と、絶縁体１９を介して筒部１６と隙間形成部１８とを連結する連結部２０とで構成され、筒部１６と隙間形成部１８との間の電気抵抗を検出する電気抵抗検出手段１４をさらに具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吐出部と対象物の間の離間距離の変動を検査する対象物上の地点が少ない場合でも、吐出タイミングの補正を良好に行うことができる技術を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数の吐出口が形成された吐出部に対して対象物を移動機構によって相対的に移動させ、該吐出部から吐出した前記液滴を前記対象物に着弾させる。液滴吐出装置は、吐出部に対して吐出信号を出力することにより、吐出口からの液滴の吐出を制御する吐出制御部と、対象物上の複数の地点について、対象物の相対的な移動に応じた、吐出部と前記対象物との間の離間距離の変動を検査する検査部と、対象物上の領域のうち、前記複数の地点を除く地点における前記変動を、検査部の検査結果に基づいた演算により補間する補間部と、補間部によって取得された前記変動に関する情報に基づいて、吐出口からの液滴の吐出タイミングを補正する補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】循環系を循環する塗液を適切な手段により管理することで上記塗液のポットライフをより長期にわたって確保し、より安定的な塗膜を塗布物上に得るためのグラビア塗工装置を提供する。
【解決手段】液受けパンと前記送液ポンプ、前記送液ポンプと前記塗液タンク、前記塗液タンクと前記液受けパンがそれぞれ送液チューブにより連結され、前記送液ポンプと前記塗液タンクの間の送液チューブが３方向に分岐し、分岐した送液チューブが追液タンクと連結しており、さらに、前記自動分析装置が液受けパン内の塗液を採取し前記塗液の状態を分析し前記追液タンクによる塗液の調整にフィードバックを与える。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、コストを軽減することが困難である。
【解決手段】ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、前記相対位置の変位方向に沿って並ぶ複数の目盛り７５が設けられたリニアスケール７１と、前記相対位置の変位にともなって目盛り７５を検出し、目盛り７５を検出するごとに検出信号を出力するエンコーダー７３と、リニアスケール７１の一端７８ａ側を支持するビス８２と、リニアスケール７１の他端７８ｂ側からリニアスケール７１に張力を付与する引張りばね８３と、リニアスケール７１から独立した状態で、ビス８２から距離Ｄを隔てた位置に設けられ、他端７８ｂ側において、複数の目盛り７５のうちの一部の目盛り７５をエンコーダー７３から隠す隠し部材９１と、を有する、ことを特徴とする描画装置。 （もっと読む）

【課題】ノズルの移動方向の違いで塗布高さに生じる違いを吸収してガラスペーストの塗布高さの精度を確保できるペースト塗布方法およびペースト塗布装置を提供することを課題とする。
【解決手段】有機ＥＬ素子が蒸着された基板８の蒸着部Ａ１の周囲に沿ってノズル５５ａを移動させてガラスペーストを基板８の蒸着部Ａ１の周囲に塗布するペースト塗布方法であって、ノズル５５ａが移動するときのノズル高さを補正するノズル補正量を、蒸着部Ａ１の周囲に沿ってノズル５５ａが移動するときの移動方向ごとに設定する準備工程と、ノズル高さを移動方向ごとにノズル補正量で補正し、ノズル５５ａを蒸着部Ａ１の周囲に沿って移動させてガラスペーストを塗布する塗布工程と、を有することを特徴とするペースト塗布方法とする。また、当該ペースト塗布方法によってガラスペーストを基板８に塗布するペースト塗布装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式によるカラーフィルタの製造過程において、ノズルの不吐出による白抜け欠陥の発生を完全になくすことができる、インクジェット塗工装置を提供すること。
【解決手段】基板を保持するステージ２の上に、複数のノズルを有するインクジェットヘッド１４を一つ以上備えたヘッドユニット３と、基板上の各開口部が正常に塗工されているかを確認し、塗工異常部を特定するカメラ５とを配置する。本塗工に付随して塗工検査を行うことで、即座に白抜け欠陥発生を検知することが可能であり、同時に不吐出ノズルの発生も検知できる。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、画像の品位を向上させることが困難である。
【解決手段】機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３と、ワークＷに塗布された機能液５３から形成されたパターンに向けて赤外光１８を照射する照射装置１７と、照射装置１７から前記パターンに向けて照射された赤外光１８のうち前記パターンを透過した赤外光１８の進路に設けられ、前記パターンを透過した赤外光１８を、相互に波長域が異なる複数の波長域の光９１に分光する分光素子８５と、分光された光９１の進路に設けられ、複数の波長域の光９１のうちの一部の波長域の光９２を透過させる光学フィルター８７と、光学フィルター８７を透過した光９２の進路に設けられ、光９２を受光し、受光した光量に応じた値の信号を出力する受光素子８９と、を有する、ことを特徴とする描画装置。 （もっと読む）

【課題】ドクターブレードとグラビアロールの接触が適正な状態であることを確認して塗布を開始するグラビア塗布装置と塗布方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材１０５の表面に塗膜を形成するグラビア塗布装置であって、塗布されるインキ１１７を溜めるインキパン１１６と、インキパン中のインキを掻き上げ、表面に設けられた凹部に充填するグラビアロール８と、掻き上げられたグラビアロール表面のインキを掻き落とすドクターブレード１０１と、グラビアロールとグラビアブレード間の電気抵抗値を測定する電気抵抗測定器１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】ノズル近傍に付着した塗布不良を起こしうる異物を検知する着弾状態検査モードを有する塗布装置および着弾状態検査方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数の吐出ノズル１１を有し、各吐出ノズル１１が吐出面１４に配置されている吐出ユニット１３と、液滴を着弾させる検査面３１と、を備え、各吐出ノズル１１から検査面３１へ液滴を吐出し、液滴の着弾状態を検査する着弾状態検査モードを有する塗布装置であって、着弾状態検査モードにおいて、吐出ユニット１３は、検査面３１へ液滴を吐出して着弾パターン２１を形成した後、着弾パターン２１の上を吐出面１４が通過するよう移動し、次に、着弾パターン２１の上を吐出面１４が再度通過するよう先の移動方向と反対の方向に移動し、吐出ユニット１３が両方向に移動した後の着弾パターン２１の各液滴の形状から着弾状態検査が行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗料に含有される粒子群の特性と、当該粒子群により奏される物体表面の意匠効果又は質感との関係が勘案された形で、当該物体表面における色彩分布の設計を支援するシステムを提供する。
【解決手段】本発明の色彩分布設計支援システム１によれば、物体表面の塗装層に含有される粒子群の分布態様並びに当該粒子群の構成要素である粒子の形状特性及び光学特性が第２入力装置２１２を通じて指定される。これに応じて、当該指定因子と、第１記憶装置１１１に保存されている物体表面の変角に応じた色彩分布とに基づき、粒子群の存在による質感又は意匠効果が反映された物体表面の変角に応じた色彩分布が計算要素１２により計算される。そして、当該計算結果が第１出力装置２２１に表示される。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ素子の発光波長がばらつく場合にあってもＬＥＤパッケージの発光特性を均一にして、生産歩留まりを向上させることができるＬＥＤパッケージ製造システムにおける樹脂塗布装置および樹脂塗布方法を提供する。
【解決手段】蛍光体を含む樹脂によってＬＥＤ素子を覆って成るＬＥＤパッケージの製造に用いられる樹脂塗布装置であって、発光特性測定用として試し塗布材４３に塗布した樹脂８に向かって励起光を照射し、試し塗布材４３で反射して樹脂８を通過した光の発光特性を発光特性測定部によって測定した測定結果と、予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて実生産用としてＬＥＤ素子に塗布されるべき樹脂の適正樹脂塗布量を導出する。 （もっと読む）