【課題】ナノ粒子等の微粒子を、手軽な設備で短時間に目的とする母材にコーティングすることが可能な、微粒子のコーティング方法を提供する。
【解決手段】所定間隔Ｄに配置した電極（１０ａ、１０ｂ）間に、微粒子ＮＲと、当該微粒子よりも径が大きい補助粒子ＢＲ（コーティング対象物）とを配置する。そして、前記コーティング対象物、または前記コーティング対象物と前記微粒子、が前記電極間にて往復運動するように前記電極に直流電圧をかけることで、前記微粒子を分散させるとともに、分散させた前記微粒子を、往復運動する前記コーティング対象物の表面に付着させるとともに前記コーティング対象物にて叩きつけて前記コーティング対象物にコーティングする。 （もっと読む）

【課題】粉体の供給を簡単な構造で実現する。
【解決手段】粉体供給装置１２は、粉体ＹＡ１を収容すると共に、粉体ＹＡ１を供給先である粉体散布装置１１に供給する供給口２８ａを有する耐圧容器２０と、この耐圧容器２０内に間欠的な圧力を加える第１の送気手段２２と、耐圧容器２０内に連続的な圧力を加える第２の送気手段２３と、第１および第２の送気手段２２，２３を制御して耐圧容器２０内に間欠的な圧力および連続的な圧力を同時に加え、粉体ＹＡ１を耐圧容器２０内で浮遊させる制御ユニット２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】貴金属または銅のコロイド溶液を手軽に塗布することができる簡易な手段を提供する。
【解決手段】コロイド溶液は、貴金属または銅の化合物を、溶媒に溶解し、高分子量顔料分散剤を加えた後、貴金属または銅に還元したものからなり、高濃度の、数ｎｍ〜数１０ｎｍの粒径の貴金属または銅のコロイド粒子を含む。ペン型塗布器は、一端開口が閉じた筒状の本体１と、揮発性溶媒で希釈されたコロイド溶液が含浸され、本体内に収容された合成繊維製中綿体２と、本体の他端開口に嵌め込まれ、先細りに突出する筒状の固定部材３と、固定部材の先端に差込まれ、固定部材の先端から突出するペン先４と、固定部材内に差込まれ、一端側がペン先と接合され、他端側が合成繊維製中綿体内に突出し、合成繊維製中綿体からペン先に前記コロイド溶液を供給する中継芯５と、本体の他端に着脱自在に取り付けられ、ペン先を被覆するキャップ６を備える。 （もっと読む）

【課題】柔らかい樹脂基板の表面にＡＤ法を用いてセラミックス、金属、半金属膜を直接形成できる製膜方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板にダメージを与えることなく材料粒子を粉砕する。第一の方法として、２つ以上の多数のノズルから構成され、それぞれのノズルから噴射されるエアロゾルを互いにぶつけ合うことで微粒子を粉砕して基板に膜を形成する。第二の方法として、基板に直接噴射するのではなく、粉砕板にエアロゾルを噴射することで間接的に微粒子を粉砕する。 （もっと読む）

【課題】従来のようなスペーサの体積や重量秤量方式と異なり、新たに帯電量検出フィードバック方式を採用することによって、今後のより一層厳しい要求に応えることが可能な粉体散布装置を提供すること。
【解決手段】秤量ユニットＡと、散布チャンバＢと、スペーサ圧送配管Ａ５等を有する粉体散布装置に於いて、スペーサを圧送するスペーサ圧送配管Ａ５に散布スペーサ帯電量検出センサＡ３を設け、該センサＡ３により配管帯電量、すなわちスペーサ送出量を検出、モニタリングし、送出スペーサ量をフィードバック制御可能としたことを特徴としている。このように、本発明では、散布前にスペーサ散布量を重量や体積などを物理的方式で秤量した後に散布する、あるいは秤量しながら散布する従来方式と異なり、散布スペーサを電気信号としてとらえて制御することとしているため、安定したスペーサの散布が可能である。 （もっと読む）

【課題】均質な粉体膜を基板の表面に効率よく成膜できる粉体膜形成装置および粉体膜形成方法を提供する。
【解決手段】原料ｍを収容保持する処理容器２と処理容器２の内周面に近接配置した押圧部材１とが相対移動することにより、原料ｍに機械的外力を付与して原料ｍを微粒子化する微粒子生成手段Ｂと、微粒子生成手段Ｂにより生成された直後の微粒子Ｃを付着させる基板Ａを保持する基板保持手段４とを備え、基板Ａに付着した微粒子Ｃに圧縮力を付与する圧縮力付与手段Ｄを備えた。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法において一次粒子の割合を増やしたエアロゾルを供給可能な簡易構造のエアロゾル発生装置を提供する。
【解決手段】微粒子８を導入する微粒子導入口２と、搬送用のガスを導入するガス導入口３と、微粒子８をガス中に分散させたエアロゾルを導出するエアロゾル導出口４とを備えてなるエアロゾル発生部５を有するエアロゾル発生装置であって、該エアロゾル発生装置は、微粒子導入口２にフィルター２ａを備えてなり、フィルター２ａに振動を与える手段として振動モータ９を有する。 （もっと読む）

【課題】粉体膜を形成するに際して粉体原料の凝集をより効果的に抑制しながら、極めて微小なサイズの粒子を用いて基板表面に均質な粉体膜を形成できる粉体膜形成装置を提供する。
【解決手段】粉体原料ｍを微粒子化すべく、粉体原料ｍを収容保持する処理容器２と処理容器２の内周面２ａに近接配置した押圧部材１とが相対移動することにより、粉体原料ｍに機械的外力を付与して粉体原料ｍを微粉化する微粒子生成手段Ｂを備え、微粒子生成手段Ｂで生成された微粒子Ｃを付着させる基板Ａを保持する基板保持手段４が、処理容器２の内周面２ａの方向に沿って微粒子生成手段Ｂに隣接した位置に配置してある粉体膜形成装置Ｘ。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法においてセラミックス被膜の形成に供されず飛散するセラミックス微粒子を回収し、セラミックス微粒子の歩留まりを向上させることができる微粒子回収容器およびこの容器を用いる微粒子回収方法を提供する。
【解決手段】微粒子回収容器２は、真空チャンバー５内で基材４上にセラミックス被膜を形成するエアロゾルデポジション法において、セラミックス被膜の形成に供されず飛散する微粒子を真空チャンバー５内で回収する微粒子回収容器２であって、微細な孔を持つフィルターで構成され、少なくとも噴射ノズル８および基材４を覆う形で配設され、回収容器２の内壁に付着した微粒子を除去する機構（振動装置）３を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】ビーズの散布及び除去を効率的に行い、製造コストを軽減し、液晶素子の品質及び歩留まりを向上させることを可能とするスペーサ形成装置等を提供する。
【解決手段】スペーサ形成装置１は、接着剤塗布装置７及びビーズ散布装置９を備える。ビーズ散布装置９は、振動を与えることにより、ビーズタンク２７からビーズガイド２９を経て散布口３３にビーズ３１を供給する。スペーサ形成装置１は、基板３の所定の位置に接着剤３９を塗布し、接着剤３９が塗布された位置に選択的にビーズ３１を散布して、ビーズ３１を接着剤３９に付着させ、基板３にビーズ３１によるスペーサを形成する。 （もっと読む）

【課題】 付着量のバラツキを抑制し、標準粒子を安定して塗布できる標準粒子塗布装置を提供する。
【解決手段】 標準粒子塗布装置１０は、希釈液３１から標準粒子４２のエアロゾルを生成するエアロゾル発生部３と、標準粒子４２のエアロゾルが導入され内部に配置された対象物１に標準粒子４２を付着させる付着槽２１とを備える。対象物１の近傍には、水晶発振子５１が配置され、水晶発振子５１に付着した標準粒子４２の付着量に基づいて、付着槽２１への標準粒子４２の導入量を調整する標準粒子制御バルブ６２の開閉制御、もしくは、希釈液３１が収容された容器３２への希釈水の供給量を調整する希釈水バルブ６４の開閉制御が行われる。 （もっと読む）

【課題】 基板へのスペーサインクの散布状態における適正・不適正を早期に検出して、必要な修復を行うことによって、システムが停止するのを極力抑制する。
【解決手段】 液滴散布ステージ１３において、インクジェット手段２３により基板１にスペーサインクの液滴が散布されるが、この液滴散布ステージ１３の下流側にカメラとフラッシュとを備えた撮像手段から構成される液滴検出手段２８が設けられ、液滴の抜けが検出されると、基板１の散布終了後に、搬送テーブル２０と、移動台２５とを駆動して、基板１における液滴の抜け個所にインクジェットヘッド２６を対面させて、抜け個所に向けてスペーサインクの噴射を行い、次いでノズル３０の詰まりの解消を行う。 （もっと読む）

【課題】 光学応用に適した、微粒子配列物を用いた部品を、簡便なプロセスで、且つ精度よく得ることを可能とする。
【解決手段】 微粒子を分散させた分散液を原料とするスピンコート法を用いて微粒子の配列を行なう微粒子配列装置であって、２枚の支持体によって形成された空隙を持ち、少なくとも一箇所に、空隙内に分散液を導入する開口部（分散液導入窓１０４）を有する密閉性容器１１０と、この密閉性容器全体に対して２枚の支持体（容器部１０１、容器ふた部１０３）の面に平行である回転運動を与える手段（図２：モーター２００）とを有し、障壁で形成するパターン１０２が、少なくとも１以上の６０度の頂角を有する。 （もっと読む）