本発明の開示内容は、ＬＥＤその他のディスプレイ装置の一部を形成する基板の上に薄膜を積層する方法に関する。また、１つの実施の形態では、本発明の開示内容は基板上にインクを積層する装置に関する。当該装置は、本装置は、インクを受け取るためのチャンバと、入口ポートと出口ポートとを有し、入口ポートにおいてインクをチャンバから受け取り、出口ポートからインクを吐出する放出ノズルと、チャンバから放出ノズルの入口ポートに送られるインクを量り取る吐出装置と、を備え、前記チャンバは、複数の懸濁した粒子を有する液体状態のインクを受け取り、当該インクは脈動的に量り取られてチャンバから放出ノズルに送られ、放出ノズルはキャリア液を蒸発させて、実質的に固体の粒子を基板上に積層させる。 （もっと読む）

【課題】塗装用冶具等の被処理体に付着している塗料を、効率的かつ安全に除去できるようにする。
【解決手段】被処理体２の処理が行われる処理室Ｓと、処理室Ｓ内の被処理体２に対して洗浄液を供給する洗浄液供給機構１８とを備えた。洗浄液は、植物性洗剤、又は、植物性洗剤を希釈させた溶液とした。洗浄液供給機構１８には、洗浄液を貯留するタンク５１と、タンク５１内の洗浄液を加熱するヒータ５５と、洗浄液を処理室Ｓにおいてシャワー状に吐出するノズル５３と、タンク５１内の洗浄液をノズル５３に送液するポンプ６２とを備えた。また、処理室Ｓ内の洗浄液を排液する排液口２３を設け、排液口２３を通じて排液された洗浄液をタンク５１に戻して貯留する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ノズルに生じた目つまりを確実に除去すること。
【解決手段】塗布ヘッド１２に設けた圧電素子の駆動により、塗布ヘッド１２内の溶液をノズルから吐出して塗布する塗布方法において、塗布ヘッド１２のノズル出口が開口しているノズル面１２Ａを溶剤槽５１内の溶剤に浸漬させる状態で、圧電素子を塗布段階よりも高周波で駆動し、ノズル内の異物を除去する。制御装置は、塗布ヘッド１２のノズル面１２Ａを溶剤槽５１内の溶剤に浸漬させる状態で圧電素子を塗布段階の周波数より高い周波数で駆動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ノズルからの溶液の吐出動作を安定化すること。
【解決手段】 塗布ヘッド１２内の溶液をノズル２４から吐出して基板Ｗに塗布するとともに、塗布ヘッド１２のノズル２４出口が開口しているノズル面１２Ａに付着した溶液を拭き取り手段５０により拭き取る塗布装置において、前記拭き取り手段５０が、塗布ヘッド１２のノズル面１２Ａの外縁寄りに接するガイド部材５２と、ガイド部材５２が上記ノズル面１２Ａの外縁寄りに接するときに、該ノズル面１２Ａとの間に隙間を介して該ノズル面１２Ａに相対し、該ノズル面１２Ａに付着した溶液を拭き取る拭き取り部材５１とを有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】増粘抑制動作を最適化する。
【解決手段】液体吐出装置は、（Ａ）複数のグループに分けられた複数のノズルと、（Ｂ）複数のノズルに対応して設けられ、ノズルから液体を吐出させるための動作をする素子と、（Ｃ）液体を吐出させる際に素子に印加される吐出パルスを含んだ第１駆動信号と、液体の増粘を抑制する際に素子に印加される増粘抑制パルスＰＳ５〜ＰＳ７を、複数含んだ第２駆動信号とを生成する駆動信号生成部と、（Ｄ）液体を吐出させる指令に基づいて、吐出パルスを素子に印加し、液体を吐出させない指令に基づいて、複数の増粘抑制パルスの中からグループに応じて選択された特定の増粘抑制パルスを素子に印加する、印加制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガントリが走行するレールを分割構造にした場合であっても、レールの分割部がガントリの定速走行性に与える影響を抑えるとともに、分割されたレールの組付け作業を容易にすることにより、組付け精度の向上を図ることができるとともに作業時間の短縮化を図ることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、前記ステージに沿って特定方向に延びるとともに複数に分割されたレールと、基板上に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備えており、前記レールは、前記塗布ユニットが塗布液の吐出開始から吐出終了まで走行する塗布走行部と、この塗布走行部から特定方向に延長された延長部とを有しており、この延長部に、前記レールを分割する分割部を形成する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドのノズルへの充填動作やノズル内の高粘度化した部分の吸引除去動作を行うに際して排出する液体の量を減少する。
【解決手段】本発明の吸引装置は、配列された複数のノズル孔を備えた液滴吐出ヘッドの当該ノズル孔を外部から吸引する吸引装置において、上記液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔が形成された面に密着すべき一面側に上記複数のノズル孔にそれぞれ対応して配置された複数の凹部からなる微小キャップ群を有する第１のキャップと、上記第１のキャップの他面側に閉空間を形成する第２のキャップと、上記閉空間を減圧する減圧手段と、を備え、上記微小キャップ群が気体透過性又は弾力性を有する材質で構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インキ吐出印刷装置、ダイコーター、スピンコータ、印刷装置等の液吐出部を有する塗工装置およびその洗浄方法に関する。
【解決手段】
塗工液貯蔵タンクと、この塗工液貯蔵タンクに塗工液配管を介して接続されている液吐出部と、前記塗工液配管内に洗浄手段を設け、その洗浄手段が、少なくとも、乾燥用ガスを供給する乾燥用ガス供給手段と、複数の溶剤を供給する溶剤供給手段と、前記乾燥用ガスの流量を制御するガス制御手段と、前記複数の溶剤の流量を各々制御する溶剤制御手段と、を備え、前記液吐出部がインキ吐出部である塗工装置であって、前記塗工液配管に洗浄用溶剤を導入する直前に、気体と溶剤を混合させて、大きい気泡を含んだ気液混合液を形成し、さらに、より細かい気泡を含む気泡混合液を形成する気液混合液発生ノズルと、塗工液切り替えバルブと、を洗浄手段に具備していることを特徴とする塗工装置およびその洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】次の記録動作において最初に噴射される液滴の体積の大きさに応じて、回復動作制御の条件を設定することで、経済性を高める。
【解決手段】ノズルからインク液滴を噴射することがない程度にノズル近傍のインクのメニスカスに振動のみを加える非噴射の駆動パルス信号を複数個含むパルス群をアクチュエータに印加する回復動作と、フラッシング受部材に対し記録ヘッドのすべてのノズルからインクを強制的に噴射させるフラッシングを行う回復動作とを行う。各回復動作に続く記録制御において、記録データ信号に基づき最初に噴射されるインク液滴の体積が大きいほど、その体積の大きさに応じて非噴射の駆動パルス信号のパルス数を少なくしたり若しくはパルス群の数を少なく、あるいは非噴射の駆動パルス信号のパルス幅を小さく、フラッシングの回数を少なく設定する。 （もっと読む）

【課題】可視光線や不可視光線の何れかを使用しても、硬化可能な液体塗料、又は熱硬化型の液体塗料によって、モールドの内部において、射出成形などの方法で作製された仕掛品の表面にコーティング薄膜を形成可能である塗装方法とその装置を提供する。
【解決手段】固定側プレートと、可動側プレートと、固定側コアと、可動側コアと、コア固定板と、固定側固定板と、可動側固定板と、仕切板と、上押出プレートと、下押出プレートなどから構成されるモールドの内部から塗装を施す塗装装置において、透光性材料で作製され、表面に反射層がコーティングされた固定側コアと、前記固定側コア内に嵌め込まれている一つ以上の光線発生器と、前記固定側コア内に嵌め込まれている一つ以上のカメラと、前記固定側コア内に嵌め込まれている一つ以上の光センサーと、前記固定側コアの底部に固定されているパッドを含む。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下を抑制しつつノズル面のメンテナンスを実施する。
【解決手段】ノズル面に形成されたノズルを有し、ノズルから機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを有する。吐出ヘッドは、基板Ｐに対して液滴を吐出する吐出エリアＩＡと、吐出エリアＩＡから外れた非吐出エリアＭＡとの間を移動自在とされ、非吐出エリアＭＡには、非吐出エリアＭＡに位置する吐出ヘッドのノズル面に対して機能液の除去処理を行う除去装置７２と、ノズル面を吸引する吸引装置７３とが設けられる。吐出エリアＩＡには、吐出エリアＩＡに位置する吐出ヘッドのノズル面に対して機能液の除去処理を行う第２除去装置６が設けられる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのノズル穴がインク固着により、ミスディレクションや、不吐出を生じたインクジェットヘッドを、新たなインクジェットヘッドに交換することなく、不良吐出を生じたインクジェットヘッドを再生することが可能な、リペア方法、及びリペア装置を提供することを課題とする。
【解決手段】インクジェットヘッドの吐出不良のノズル穴にレーザーを照射して、前記ノズル穴に固着したインクを気化させる工程を特徴とするインクジェットヘッドのリペア方法。 （もっと読む）

【課題】密集して複数個配列されたヘッド吐出口のインキ乾きを起こさないで、吐出ミスのない安定した吐出をサポートするためのインクジェットヘッド管理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ヘッド通液やエアパージまたは定期的な液排出のためのドレン機能と、予備吐出の際のヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニット１０と、洗浄部材にてインクジェットヘッド吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット２０と、塗工前のインクジェットヘッドの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニット３０と、インクジェット塗工装置からインクジェットヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニット４０と、前記インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置５０とで構成されているインクジェットヘッド管理装置である。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出される汚染された液滴を、ノズルプレートに付着させることなく
、しかも、リサイクルが容易な回復装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド回復装置４５は、基台３１に固設されたベース４５ａとキャ
ップケース４５ｂを備えている。キャップケース４５ｂは、収容凹部４６が凹設され、そ
の収容凹部４６には、イオン吸着部材４８は配設されている。イオン吸着部材４８は、ア
ルミナ多孔質体で形成され、収容凹部４６に収容される液晶材料を含浸する。イオン吸着
部材４８は、収容凹部４６に吐出される液滴吐出ヘッドからの液滴（液晶材料）イオン性
不純物が含まれているとき、そのイオン性不純物を吸着する。 （もっと読む）

【課題】ワイパクリーナの性能を低下させることなく、ワイパ部材によって払拭された流体による汚染を抑制することのできるワイピング装置、及び同ワイピング装置を備えたメンテナンスユニット及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口からインクを噴射する記録ヘッドを有するプリンタに備えられるワイピング装置は、ノズル形成面に沿う払拭方向へ移動する途中で該ノズル形成面に摺接するワイパ部材５４，５６と、ワイパ部材５４，５６の移動途中でワイパ部材５４，５６と摺接することによりワイパ部材５４，５６を払拭清掃可能なワイパクリーナ４７と、ワイパクリーナ４７をワイパ部材５４，５６に摺接する摺接位置と該摺接位置から離間した非摺接位置との間で移動させるカム部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】処理液供給系から送出される処理液の圧力に生じるリップルの影響を低減し、塗布むらの発生を抑制して均一な処理液膜を形成する。
【解決手段】基板Ｇ上を平行移動しながらスリット状の吐出口から処理液を吐出し、基板Ｇ表面に処理液Ｒを塗布するノズル１０２と、処理液Ｒをノズル１０２へ送出するポンプ手段２と、ポンプ手段２により送出される処理液Ｒの圧力を検出する圧力検出手段５と、圧力検出手段５が検出した圧力の変化から所定の振幅値以上のリップル周波数の逆位相波を生成し、該逆位相波を所定のタイミングで出力する演算手段７と、演算手段７が出力した前記逆位相波に基づく圧力をポンプ手段２により送出された処理液Ｒに印加する加圧手段９とを備える。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドのノズルから流体を吸引するクリーニング時の減圧で流体中に発生した気泡等のガス状異物を、速やかに消失できる流体噴射装置におけるクリーニング装置、流体噴射装置及びクリーニング方法を提供する。
【解決手段】記録ヘッド２０をキャップ３２で塞いだ状態で吸引ポンプ５５を駆動してノズル２０ｂに吸引力を及ぼすことでチョーク弁４５を閉弁させ、この閉弁状態で吸引を継続してチョーク弁４５の下流側を減圧状態とする。この減圧状態の下で、加圧ポンプ４２を駆動し、インクパック２３ｂから加圧インクを供給してチョーク弁４５を開弁させることで、ノズル２０ｂから一気にインクを吸引排出させるチョーククリーニングが行われる。このチョーククリーニング終了後、加圧ポンプ４２を駆動するとともに電磁開閉弁３５を開弁することで、インク供給流路２４，４７，７８内のインクは、上流側と下流側の両方向から加圧される。 （もっと読む）

【課題】粒子が凝固することや半導体リソグラフィーにおいて用いられるノズルの先端で蓄積することを実質的に緩和し、あるいはこれらを防止しさえする方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上にリソグラフィー・レジストを吐出するレジスト吐出方法は、以下を具備する。第１ノズルから第１ダミー吐出容器へとレジストが吐出される。前記第１ノズルから前記第１ダミー吐出容器へのレジストの吐出が停止される。前記第１ノズルから半導体ウェハ上にレジストが吐出される。前記第１ダミー吐出容器から第１流体輸送経路に沿ってレジストが前記第１ノズルへと戻される。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出性能を回復させノズル抜けが発生しない良好な塗布ができるインクジェットヘッドのクリーニング方法および機構並びに装置の提供。
【解決手段】インクジェットヘッド１の洗浄領域を洗浄槽２４で覆い、洗浄槽内の洗浄液噴射ノズル２１から洗浄領域に洗浄液を噴射し、洗浄槽内のエアー噴射ノズル２２から洗浄領域にエアーを噴射することを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング方法。およびインクジェットヘッドの洗浄領域を覆う洗浄槽と、洗浄槽とインクジェットヘッドを当接ないし非当接させる洗浄部開閉手段３と、洗浄領域に洗浄液を噴射する洗浄液噴射ノズルと、洗浄領域にエアーを噴射するエアー噴射ノズルと、洗浄液噴射ノズルに洗浄液を送給するための洗浄液送給手段と、エアー噴射ノズルにエアーを送給するためのエアー送給手段とを備えるインクジェットヘッドのクリーニング機構。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でコータの吐出口周辺部を拭き取り清掃できる、且つクリーン度の高い塗布作業環境下でも使用できる清掃装置を提供する。
【解決手段】コータの吐出口周辺部を拭き取る清掃部材と、前記清掃部材を複数収納し供給する供給手段と、前記清掃部材を保持し前記コータの吐出口周辺部に圧接し、前記清掃部材を前記コータの長手方向に移動させ摺擦して拭き取る拭き取り手段と、を備えた清掃装置。 （もっと読む）