【課題】
レジスト液をスピンコーティングにより塗布する工程において、回転している基板の遠心力により飛散したレジストミストを排気流から効率良く分離し、レジストミストが排気路側へ回り込むことを抑えること。
【解決手段】
基板の回転による遠心力よりレジスト液が飛散する前に、カップ内部表面にカップ内部の表面を濡らすためのミストを吹き付ける。この工程によりカップの内部表面に液膜（親水性）をつくり、この液膜にレジストミストが接触し当該レジストミストは吸着される。
そして、基板の回転による遠心力によりレジストミストが飛散しているときにミスト供給ノズルより捕捉用のミストをカップ内部へ供給し、当該捕捉用のミストがレジストミストを捕捉する。その結果、レジストミストの質量が増加しレジストミストは廃液路へ落ちていくとともにウエハの回転により生じた気流は排気路へ流れていく。この結果、効率的な気液分離が可能となる。 （もっと読む）

【課題】共通流路には純水が通液されるため、ここに存在していた油性主溶媒と通液される純水とが混ざることになる。この２つの洗浄液は親和性に乏しく、油性主溶媒がゲル状に固化してしまいヘッドの洗浄ができなくなってしまう虞がある。
【解決手段】洗浄対象となるヘッド２０の洗浄後、共通流路７７に残留する洗浄液を、ヘッド２０内の液状体流路に最後に通液した洗浄液Ｄから、液状体流路に最初に通液した洗浄液Ａに置換する置換手段を備えた。この構成によれば、洗浄対象となるヘッド２０を洗浄するとき、共通流路７７において、最初に通液する洗浄液Ａと最後に通液する洗浄液Ｄとが混ざることがない。従って、性質の異なる洗浄液の混合による凝集や固化が生じないので、ヘッド２０を安定して洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】固化した溶剤が流入口からヘッド内に流入し、さらにキャップから吸引ポンプに到達したとき、この固化した溶剤が吸引ポンプ内部に残留してしまう場合がある。すると吸引ポンプの吸引性能が落ち、所望する負圧を発生させることが困難になり、洗浄能力が低下してしまう。
【解決手段】バルブＶ４から導入された大気は、配管７７ａ、配管７７を流れ、ヘッドの流入口２５に流入し、ヘッド２０内の液状体流路に侵入する。そして、液状体流路中に存在する異物（固化した油性成分）を追い出し、ノズルから吸い出される。吸い出された大気は、次に吸引ポンプＫＰに侵入する。そして、同じく吸引ポンプＫＰの流路内に存在する異物（固化した油性成分）を追い出し、配管８７、配管８８を通って負圧タンク９９に流入する。こうして、負圧タンク９９の負圧力によって、ヘッド２０と同時に吸引ポンプＫＰを大気を用いて洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】飛散した液状体がキャッピング装置の接触部に付着してノズル面と接触部との間に液状体が介在すると、接触部がノズル面に密着することができなくなる。この結果、内部空間の密閉度が下がり、内部空間に所望する負圧が発生しないために、ノズルが確実にクリーニングされず、ノズルの吐出回復処理ができない。
【解決手段】接触部５１の接触面５１ｓを清掃する清掃手段が設けられている。清掃手段は、布などの繊維材料やスポンジなどの多孔質材料を表面に有する部材で形成されたローラー７５と、このローラー７５を保持しつつ図面左右方向に移動させる移動部材７０、およびこの移動部材７０を移動駆動するモータＭ２とを有している。モータＭ２は、制御部１０の制御によって動作し、移動部材７０を図中白抜き矢印で示したように左右方向に移動する。このとき、ローラー７５は接触面５１ｓ上を所定の係合量Ｄで移動して、接触面５１ｓをクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】バーコーターのワイヤーバーおよびマニホールドを自動的に洗浄することが可能な洗浄ユニットを有する塗布装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも搬送する基材に接するようにワイヤーバーと、ワイヤーバーの下部にマニホールド及びマニホールドに接続される液供給管を備える塗布装置であって、そのワイヤーバー上部に洗浄用流水ノズルと乾燥用エアーノズルを有する洗浄ユニットを備えている塗布装置であって、そのワイヤーバー上部に超音波振動子を有する洗浄流水用ユニットと乾燥用エアーノズルを有する洗浄ユニットを備えていることを特徴とする塗布装置。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドのノズル面とヘッドキャップとの間の絶縁を確保することで、高い検査精度を安定的に確保することができる液体吐出検査方法、液体吐出装置及び記録装置を提供する。
【解決手段】本発明の液体吐出検査方法は、ヘッドキャップ４４とインクノズル面１４ａが接触した状態にあると判定された場合にヘッドキャップ４４とインクノズル面１４ａの隙間を検査隙間Ａよりも広い所定の離間隙間にする離間ステップＳ０３と、離間ステップＳ０３で離間したヘッドキャップ４４とインクノズル面１４ａの隙間を検査隙間Ａにする近接ステップＳ０４と、近接ステップＳ０４でインクノズル面１４ａに対して検査隙間Ａとなったインクジェットヘッド１４のインクノズルから帯電インクを吐出させてヘッドキャップ４４内での電流変化に基づいてインクノズルからのインク滴の吐出状態を検査する検査ステップＳ０５と、を行う。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドの内部及び吐出ノズルの部分に保存液が充填されて、乾燥が発生し難い保存状態を維持できる、吐出ヘッドの保存方法、及び吐出ヘッド保存ユニットを提供する。
【解決手段】吐出ヘッドの保存方法は、液状体が吐出される吐出ノズルと、吐出ノズルに連通する液状体の流路と、流路に連通する液導入孔と、を有する吐出ヘッドの保存方法であって、液溜部を有する液溜器を、液溜部が液導入孔に連通する状態で吐出ヘッドに接続する工程と、吐出ノズルと、流路と、液導入孔と、液溜部とに、保管液を充填する工程と、を有する。吐出ヘッド保存ユニットは、液状体を吐出する吐出ノズルと、吐出ノズルに連通する液状体の流路と、流路に連通する液導入孔とを備える吐出ヘッドと、液導入孔に連通する液溜部を有する液溜器と、吐出ノズルと、流路と、液導入孔と、液溜部とに充填された保管液と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置の蛍光体や色素材の塗布に用いる塗布ノズルの検査方法において、塗布ノズルに形成された多数の微小な塗液量が適切であるかどうかを検査し、吐出量の適切さを評価できる塗布ノズル検査装置を提供する。
【解決手段】吐出口９２から連続的に液体を吐出させ柱状流を形成させておき、その柱状流に光をあてて３５，３６、透過光の輝度を測定する。透過光の状態は柱状流の直径に応じて変化するため、得られた輝度情報を処理することによって吐出量の違いを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】作業者の誤操作等により供給路の洗浄前に電源スイッチが切れてしまうことを防止し、ひいては混合機内で混合液が硬化してしまうことを防止できる多液混合装置を提供する。
【解決手段】本発明の多液混合装置は、閉状態の場合に多液混合装置１００に作動電力を供給する一方、開状態の場合に多液混合装置１００に作動電力を供給しないものとする電源スイッチ３５と、液状態判定手段３０による測定結果に基づいて、供給路１５内の液体が混合液であると判断された場合に、電源スイッチ３５における開状態及び閉状態の間の移行を実行不能とし、供給路１５内の液体が洗浄液であると判断された場合に、電源スイッチ３５における開状態及び閉状態の間の移行を実行可能とする制御装置２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを用いたスリットノズルの初期化手段において、スリットノズルの定期洗浄の周期が長く、かつ乾燥しやすい塗布液を使用しても、塗布開始部にパーティクル欠点やすじ欠点等の塗布欠点を発生させず、さらに予備塗布された回転ロールの洗浄を独立した最適な洗浄条件で行えるようにする手段を具現化することによって、繰り返して安定した高い塗布品質を、高い生産性で実現する塗布装置及び塗布方法を提供する。さらには、それによって低コストで高品質の液晶ディスプレイ用部材を製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器から回転ロールに向かって塗布液を吐出して予備塗布を行い、引き続いて被塗布部材に塗布を行う塗布方法において、少なくとも２回以上予備塗布を行うことを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】 合理的かつ完成度の高い運転形態を採ることで全体として一層優れた塗料供給設備を提供する。
【解決手段】 塗料種別の塗料供給ポンプＰの夫々を吐出流量Ｌの調整が可能な可変速ポンプにするとともに、それら塗料供給ポンプＰにより塗料往路４から塗料還路５にわたって塗料Ｔを循環させる塗料種別の塗料循環運転を塗装ガン装備部２の運転状況に応じて正規運転とセーブ運転とに自動的に切り換える制御手段２４を設け、正規運転では背圧調整調整手段Ｒ，２２，２３による塗料往路圧力調整の目標圧力ｐｓを設定正規圧力値ｐｓａにするとともに塗料供給ポンプＰをその吐出流量Ｌが設定正規流量値Ｌａとなる状態に変速制御し、かつ、セーブ運転では背圧調整手段Ｒ，２２，２３による塗料往路圧力調整の目標圧力ｐｓを設定セーブ圧力値ｐｓｂにするとともに塗料供給ポンプＰをその吐出流量Ｌが設定正規流量値Ｌａよりも小さい設定セーブ流量値Ｌｂとなる状態に変速制御する構成にする。 （もっと読む）

【課題】高精度での粘性流体の塗布量制御を可能にする簡素な構造の粘性流体供給装置及びその固化防止方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】本発明の粘性流体塗布装置は、カートリッジ３３０と、ピストン３３４と、エアー供給源３３２と、切替えバルブ３３１と、供給配管３４０と、供給コック３４１と、供給コック３４１により塗布ヘッド１００への粘性流体の供給が停止され塗布ヘッド１００が基板への塗布動作を終了させた後、エアー供給源３３２に接続され大気圧よりも大きい圧力を粘性流体に継続的に加える供給状態から、切替えバルブ３３１による切替えを所定の時間間隔繰り返す事により、所定の時間間隔で圧力が変化するようパルス状に供給圧力の上昇、下降を繰返し、ピストン３３４の上下動により粘性流体の固化を防止する固化防止状態に切替えるように制御する制御部１６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】サブキャリッジの交換作業開始から各キャリッジを描画位置に配置するまでに要する時間を短縮するとともに、チャンバ内を効率よく温度調節できるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置１の部屋２を第１室Ｚ１と第２室Ｚ２とに区画する隔壁３を設けた。隔壁３は、第１室Ｚ１と第２室Ｚ２との間を各キャリッジが往復移動可能に、且つ、重量測定ユニット５４と第１キャッピングユニットＣＵ１とを第２室Ｚ２に配置させる位置に設けた。第１ドアＤ１が解錠状態のとき、第１室に位置しているキャリッジと、第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６と停止状態にした。従って、第２室Ｚ２における機能液の初期充填などの描画準備と第１室Ｚ１における作業者によるサブキャリッジの交換作業とを同時期に行うことができる。また、温度調節を行う空間が第２室Ｚ２だけで済むので温度調節を効率よく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの塗布液の加圧パージ及び吸引パージ後にノズル孔出口面に残留する塗布液を、全て短時間で除去可能とする非接触でかつ空気の流れが生じない残留塗布液除去手段を備えたインクジェットヘッドの塗布液除去装置ならびに除去方法を提供する。さらには本発明のインクジェットヘッドの塗布液除去方法を用いて高品質のカラーフィルターを製造できるカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドの長手方向に区切られた複数の転写面を備える転写プレートと、複数の転写面を前記ノズル孔出口面に略平行に一定隙間で近接させる近接手段と、前記ノズル孔出口面に近接させた転写プレートをインクジェットヘッドの長手方向に移動させて残留する塗布液を転写プレートに転写させる移動手段と、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの塗布液除去装置。 （もっと読む）

【課題】サブキャリッジの交換作業及び液滴吐出ヘッドの吐出重量測定を効率よく行うとともに、チャンバ内を効率よく温度調節できるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】描画エリアＡ１の両側のそれぞれに、各第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６に設けたキャリッジを待機させる待機エリアＡ２をＹ軸方向に沿って設けた。従って、各第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６をそれぞれ移動させて、液滴吐出ヘッドを備えたサブキャリッジの交換作業を、各待機エリアＡ２で同時期に行うことができる。また、熱源となる液滴吐出ヘッドをチャンバ２の略中心位置に配置して描画することができる。さらに、各待機エリアＡ２のそれぞれには、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定する重量測定ユニット５４を設けた。従って、各液滴吐出ヘッドの吐出重量測定を、各待機エリアＡ２で同時期に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】導体パターン形成用インクとの置換性に優れる充填液を提供すること。
【解決手段】本発明の充填液は、インクジェット方式による導体パターンの形成に用いられ、金属粒子が水系分散媒に分散した導体パターン形成用インクを吐出する液滴吐出装置を保管する際に、該液滴吐出装置内を充填する充填液であって、前記水系分散媒と、糖アルコールＡと、界面活性剤Ａとを含むことを特徴とする。充填液は、導体パターン形成用インク中に含まれる糖アルコールＢと同種のものを含むのが好ましい。充填液中に含まれる界面活性剤Ａは、導体パターン形成用インク中に含まれる界面活性剤Ｂを構成する成分の少なくとも一部を含むものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッドのノズル開口におけるインクと、該記録ヘッドを封止するシール部との間に空気の混入を防止する記録装置を提供すること。
【解決手段】 記録装置１００は、被記録媒体（Ｐ）に対して記録を実行する記録ヘッド１０６と、該記録ヘッド１０６に設けられ、インクＫが吐出されるノズル開口２４１、２４１…と、該ノズル開口２４１、２４１…を封止可能なシール部２６０と、を備え、該シール部２６０が前記ノズル開口２４１、２４１…を封止した際、前記ノズル開口２４１、２４１…におけるインクＫが該シール部２６０と接触している構成であることを特徴する。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく、メニスカス異常（吐出曲がり）を回復させる技術を提供する。
【解決手段】ノズル（11）から液状機能性材料を吐出して被吐出媒体上に画像を形成する液体吐出ヘッドの駆動方法であって、描画すべき画像のドット形成に必要な画像形成用の吐出駆動時におけるノズル内のメニスカス(13)縁部とノズル面(10Ａ)との成す角の最大値をθa、ノズルの吐出性能を回復させるための空打ち用の吐出駆動時におけるノズル内のメニスカス(13)縁部とノズル面(10Ａ)との成す角の最大値をθbとするとき、θb＞θaの関係を満たす空打ちの吐出を行う。ノズル穴付近に付着している異物（15）を上記の空打ちによって吐出液内に取り込み、除去することにより、吐出曲がりを解消する。空打ちの動作は、画像形成中の画像間、又は画像内で実施することができる。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される吐出重量を均一にするとともに、生産効率の高い液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法及びパターン形成装置を提供する。
【解決手段】検査台にラバーヒータ７２Ａによって加熱された計測用ガラス基板を設け、液滴を吐出して検査パターンを形成させ、着弾した液滴を乾燥させる。制御装置１００は、その検査パターンを、描画検査装置８０にて撮影し、その画像データを画像処理し、乾燥した液滴の着弾径に基づいて求めた着弾面積から、各液滴吐出ヘッド４０から吐出された液滴の平均吐出重量を算出する。そして、液滴の平均吐出重量を予め定めた基準吐出重量と等しくする駆動電圧値Ｖｈを求め、その駆動電圧値Ｖｈに基づいた駆動波形信号ＣＯＭを駆動波形生成回路１０７に生成させ、ヘッド駆動回路１０８に出力する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からの駆動波形信号ＣＯＭに基づいて各圧電素子ＰＺを駆動させる。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて、基板上の複数箇所に材料を塗布する装置において、ヘッド取付けの際の目標位置からのズレを計測し、効率よくかつ高精度に修正することで、歩留まり良く製品基板を製造する。
【解決手段】装置に複数個設置してあるインクジェットヘッドにおいて、中央のヘッドを基準とし、ノズルカメラを用いて該ヘッド１の両端ノズル（ピッチｄ）の位置を計測することにより、全てのヘッドを予め位置補正する。さらに、調整用基板に材料をパターン塗布し、塗布ドットの位置を観測することで目標位置からのズレ（ピッチＤ）を計測し、その差分から移動量を計算し、各ヘッド間のノズルのＸＹθ方向位置補正を行う。 （もっと読む）