【課題】任意形状で且つ滑らかな曲面を容易に形成することが可能な曲面の形成方法を提供する。
【解決手段】ｐ形のシリコン基板からなる半導体基板１０（図１（ａ））の一部を除去して半導体レンズ１（図１（ｅ））の曲面２を形成する曲面２の形成方法であって、所望の曲面形状（曲面２の形状）に応じて半導体基板１０との接触パターンを設計した陽極１２（図１（ｃ））を半導体基板１０の一表面側にオーミック接触をなすように形成する陽極形成工程と、半導体基板１０の構成元素の酸化物を溶かす電解液中で半導体基板１０の他表面側に対向配置した陰極と陽極１２との間に通電して半導体基板１０の他表面側に除去部位となる多孔質シリコンからなる多孔質部１４（図１（ｄ））を形成する陽極酸化工程と、多孔質部１４を除去する多孔質部除去工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】煩雑な後加工を要することなく、良好な通気性を有し、型内での加熱・冷却等を均一に行なうことができる型の製造方法を実現する。
【解決手段】ノボラック型フェノール樹脂等の粘結剤を含有した溶剤（例えば、アルコール類）をセラミック繊維、カーボン繊維、及び金属繊維等の繊維質材料に含浸させて塗工材を作製し、原型１の表面に離型材を塗布した後、前記塗工材を塗付して所定厚みのコーティング層３を形成し、コーティング層３から原型１を離型した後、熱処理してコーティング層３を硬化させ、反転型を作製する。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の記録面に形成されるレジストにインプリント法によりパターン転写する際に使用されるワーク用スタンパを繰り返し使用してもパターン欠陥の増加を抑制し、磁気記録媒体の製造コストを低減すること。
【解決手段】凸型の親ニッケルスタンパからの反転パターンで作製される複製元の凹型のニッケルスタンパ１の表面に酸化膜２を形成する工程と、該酸化膜上にカーボン膜３を堆積する工程と、該カーボン膜上にニッケル薄膜４を成膜する工程と、該ニッケル薄膜４上にニッケル電鋳層を形成して凸型の複製ニッケルスタンパ５を形成する電鋳工程と、該電鋳工程後に、前記酸化膜２と前記カーボン膜３の間を分離して前記複製元の凹型のニッケルスタンパ１から、前記カーボン膜と前記ニッケル薄膜とが被着された前記凸型の複製ニッケルスタンパ５を剥離する工程とを含む磁気記録媒体用ニッケルスタンパの製造方法とする （もっと読む）

【課題】基板との密着性が良好であり、金属製モールドからの除去が容易な樹脂モールドを用いて、金属製モールドを製造する。
【解決手段】金属製モールドの製造方法は（Ｉ）（ａ）グリシジル基を含有するビニルモノマーから導かれる構成単位と（ｂ）含有しない構成単位とを含有すると共に、架橋剤から導かれる構成単位を０〜１０重量部含有する樹脂（Ａ）を基板上に塗布し、樹脂層を形成する工程と、（ＩＩ）前記樹脂層表面にマスターモールドを熱転写して樹脂モールドを製造する工程であって、樹脂層が前記樹脂（Ａ）のエポキシ価からの変化量５％以下のエポキシ価である樹脂モールドを製造する工程と、（ＩＩＩ）前記樹脂モールド上に金属層を形成する工程と、（ＩＶ）前記金属層の形成された樹脂モールドを、ガラス転移温度以上の温度に加熱するか、または溶剤に浸漬するで、分離して金属製モールドを得る工程とを、含む。 （もっと読む）

【課題】微細パターンを硬化樹脂の表面に有する子モールドまたは物品の製造方法であって、硬化樹脂の表面の離型性や防汚性を向上できる製造方法を提供する。
【解決手段】波長２４５〜２６５ｎｍの光のモル吸光係数（ε）が３０以上である光硬化性組成物２０を親モールド１０の表面に接触させる工程と、親モールド１０の表面に光硬化性組成物２０を接触させた状態で光硬化性組成物２０に光を照射し、光硬化性組成物２０を硬化させて硬化樹脂とする工程と、硬化樹脂から親モールドを分離して子モールド（物品）を得る工程と、子モールド（物品）の表面に、波長２５０〜４００ｎｍの光の照度が６５０ｍＷ／ｃｍ^２以上であり、かつ波長２５０ｎｍ以下の光の照度が３５０ｍＷ／ｃｍ^２以下である光源から、波長３６５ｎｍの光の光量が４５０ｍJ／ｃｍ^２〜５００００ｍJ／ｃｍ^２となるように光を照射する工程とを有する子モールド（物品）の製造方法。 （もっと読む）

【課題】複数のテンプレートに対して離型剤を連続的に成膜する。
【解決手段】テンプレート処理装置１は、テンプレート搬入出ステーション２と処理ステーション３とを一体に接続した構成を有している。テンプレート搬入出ステーション２は、複数のテンプレートＴを保有可能で、且つ処理ステーション３に対してテンプレートＴを搬入出する。処理ステーション３は、搬送ラインＡに沿ってテンプレートＴを搬送する複数の搬送ローラを備えている。搬送ラインＡには、搬送中のテンプレートＴに対して所定の処理を行う、洗浄ユニット２１、塗布ユニット２２、加熱ユニット２３、温度調節ユニット２４、リンスユニット２５がテンプレートＴの搬送方向に順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の主な課題は、側壁に勾配を形成するのが困難なマイクロ・ナノパターンに対して、レジストパターンの側壁に任意の角度で傾斜面を付与できる紫外線露光方法、紫外線露光装置を提供することである。
【解決手段】紫外線の集点と基板上に形成された紫外線感光性材料の相対位置を変化させて紫外線感光性材料をフォトマスクのパターンに露光するステップと紫外線感光性材料を現像するステップとを含み、側壁に上記相対位置に応じた傾斜面を有する紫外線感光性材料のパターンを形成することを特徴とする紫外線露光方法及び紫外線露光装置。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低廉化が図られた微細構造物の製造方法を提供する。
【解決手段】 微細構造物の製造方法は、薄膜を形成する工程と、薄膜をパターニングして第１薄膜パターンを形成する工程と、第１薄膜パターンを覆うように第２薄膜を形成する工程と、第１薄膜パターンの分布領域よりも広い領域に亘って形成され、複数の凸部を含む転写パターンが形成された型を準備する工程と、型を第２薄膜に押し当て、第２薄膜パターンを形成する工程と、第２薄膜パターンをマスクとして、第１薄膜パターンをパターニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】優れた防眩性能を示しながら、白ちゃけによる視認性の低下を防止でき、高精細の画像表示装置に適用した場合においても、ギラツキを発生せずに高いコントラストを発現することができる防眩フィルムの製造方法、ならびに、当該製造方法において好適に用いられる金属金型の製造方法を提供する。
【解決手段】２種以上のセグメントからなるブロック共重合体をモデルとして、計算機シミュレーションによりブロック共重合体のミクロ相分離構造を計算する工程と、該ミクロ相分離構造に基づいて、エネルギースペクトルが空間周波数０．０２５〜０．１２５μｍ^-1の範囲内において極大値を示すミクロ相分離パターンを作成する工程と、該ミクロ相分離パターンを用いて、透明基材上に凹凸表面を形成する工程とを含む防眩フィルムの製造方法、および当該製造方法において好適に用いられる金属金型の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】化学的、熱的および機械的なストレスに対して高い耐久性を有し、熱ＮＩＬおよび光ＮＩＬを含む種々のナノリソグラフィー技術に好適に用いることができるレプリカモールドおよび、簡便かつ安価にレプリカモールドを作製する方法を提供する。
【解決手段】一般式（Ｉ）：


（式中、Ｘは−Ｙ−Ａで示され、複数のＸが存在する場合、Ｘは同一または異なっていてもよく、Ａはラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を有する基またはエポキシ基であり、Ｙは、主鎖が炭素、酸素およびケイ素よりなる群から選択される３〜１０個の元素からなる連結基である）で示されるＴ単位が複数個組み合わさって構成された重合性シルセスキオキサンを含む樹脂組成物を用いて、レプリカモールドを作製する。 （もっと読む）

【課題】溶融樹脂がキャビティ部に流入する前にランナーの折れ曲がり部からガスを効率良く排気することでガス焼け・ガス巻き込みによる外観不良の少ない製品を提供することを目的とする。
【解決手段】固定側型板１と可動側型板２によりキャビティ部７を形成し、固定側型板１とランナー払い板１０とでキャビティ部７に溶融樹脂を供給するランナー部４を形成した樹脂成形金型であって、ランナー部４のキャビティ部７に繋がる直前の溶融樹脂の流動方向が変更される折れ曲がり部にランナー部４側から樹脂成形金型の外側に向かって隙間が徐々に小さくなる多段構造のガス抜き部８を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】より簡易なプロセスで製造できるマクロレンズアレイ構造を持つ光学部材とこれを用いたデバイスを提供する。
【解決手段】転写面に複数の気泡を配列させたモールドを使用した転写プロセスを用いて形成したマイクロレンズアレイを主表面に有する光学部材を提供する。また、この光学部材を用いた各種デバイスを提供する。 （もっと読む）

【課題】スタンパの凹凸パターンを欠損なく転写し得、かつ耐久性の良いスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】原盤の凹凸パターンの表面に導電層１９を形成し、その上に、電鋳層２２を形成してから導電層を剥離して原盤の凹凸を転写して、第１のスタンパを形成する。これを繰り返して、第２のスタンパ、及び第３のスタンパを形成する際、第２のスタンパと第２の離型層との間に、凹部底面に比べて凸部上面の方が厚い膜厚を有する高さ調整層を形成する。 （もっと読む）

【課題】１次元又は２次元に配列される複数のレンズ部と、これらのレンズ部を相互に連結する基板部と、が樹脂材料により一体に形成されるウェハレベルレンズアレイにおいて、基板部の反りを防止する。
【解決手段】ウェハレベルレンズアレイ１００は、２次元に配列される複数のレンズ部１０１と、該レンズ部１０１を相互に連結する基板部１０２と、該基板部１０２に設けられ該基板部１０２の表面に沿って延びるリブ１０４と、を備え、該レンズ部１０１及び該基板部１０２並びに該リブ１０４が樹脂材料で一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、かかる事情に鑑み、不連続面部分や円弧面部分においても、凹凸模様を成形することができる鋳造用原型及びこれを用いた砂型の製造方法、並びに、この砂型から成形された成形用金型によって成形される樹脂成形体を提供することを課題とする。
【解決手段】 表面側に凸部１３を複数備え、弾力性及び柔軟性を有する素材で構成される凹凸模様成形部材１２を、弓なり形状であったり、山谷状であったりする木型１ａの表面に取り付けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 柔軟性を有し、離型性に優れ、ディスプレイ画面のような大面積転写にも対応可能で、かつ経済的にも有利なインプリント用モールドであって、さらに、光学部材の材料として有用な環状オレフィン共重合体への熱インプリントにも用いることができるインプリント用モールドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 繊維状構造体と硬化した樹脂から成り、少なくとも、転写パターンの存在する領域で、前記繊維状構造体の空隙が、前記硬化した樹脂によって満たされており、前記繊維状構造体の表面に、前記硬化した樹脂からなる三次元形状の転写パターンが形成されていることを特徴とするインプリント用モールドにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスなどの微細パターンの形成方法として用いられるリソグラフィ技術に注目し、解像度の高い金型を用いて、安価で大量にテスト用コンタクトピンを提供するものであり、且つ、容易に製造できるテスト用コンタクトピン原版及びその製造方法並びにテスト用コンタクトピンの製造方法を提供するものである。
【解決手段】基板の片面に、断面積が上層になるに従い小さく曲面を有する複数のパターン層からなる突起部を備えているテスト用コンタクトピン原版を用いて、該原版の突起部の形状を反転させた形状の凹部を有する金型を作製する工程と、前記金型の凹部に樹脂を流し込む工程と、前記流し込んだ樹脂を硬化させ、樹脂成形体を形成する工程と、前記樹脂成形体を取り出し、表面に導電層を設ける工程とを有することを特徴とするテスト用コンタクトピンの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】蒸着用の釜を用いることなく安価に作製することができる成形型の製造方法を提供する。
【解決手段】先ず、モデル型２５の上に型枠１１を取り付け、型枠１１内にコンクリート１２を流し込んで固化させる。次に、モデル型２５から脱型した後、型枠１１内のコンクリート表面に配管１３を配置する。その後、型枠１１内のコンクリート表面に金属層１４をコールドスプレー法により形成して配管１３を埋設する。 （もっと読む）

【課題】大面積で均一なパターン印刷を行うことが可能なμＣＰ用スタンプを、簡易な方法で製造することが可能なμＣＰ用スタンプ作製用マスター版の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】基板を用い、上記基板上にパターン状の遮光部を形成する遮光部形成工程と、上記遮光部を覆うように上記基板上に感光性樹脂からなる感光性樹脂膜を形成する感光性樹脂膜形成工程と、上記基板側から光を照射することにより、上記感光性樹脂膜にパターン露光する露光工程と、上記パターン露光された感光性樹脂膜を現像することにより、上記感光性樹脂膜をパターニングする現像工程とを有することを特徴とする、マイクロコンタクトプリンティング用スタンプ作製用マスター版の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】三次元のパターンを持つことができる密集する構造を形成する。
【解決手段】本発明は、三次元のナノインプリント装置であって、少なくとも、ａ）表面（Ｘ，Ｙ）を持つ基板（２）と、ｂ）この基板上に、２個ずつの平行な複数のナノトレンチ（６）であって、それぞれのナノトレンチが側壁によって規定され、そして基板に垂直な方向に、側壁の最上部に対して測られたそれぞれ深さｈ１とｈ２＞ｈ１の、少なくとも１つの第１および１つの第２のレベルを有する複数のナノトレンチと、を有し、ｃ）ナノトレンチの最後の深さレベル（ｈ１）における底は第１のタイプの材料に存在し、側壁は第２のタイプの材料に存在し、第１のタイプの材料は、ナノトレンチの壁を形成する第２のタイプの材料に対して選択的にエッチングされることが可能であることを特徴とする装置に関する。 （もっと読む）