【課題】剛性が高く、軽量で、低コストで平滑な面を持つ、大型化のセラミック構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板等の被処理物を乗せた状態で加工処理を行うための架台として用いられるセラミック構造体であって、該架台は、剛節架構構造を有する複数のユニットが結合・一体化された構造を有している、上記架台の表面は、緻密な膜で被覆されている、上記架台を構成する固体部分は、反応焼結窒化ケイ素又は反応焼結炭化ケイ素を主成分とする材料で構成されている、上記架台の部分の応力の大きさに応じて異なる気孔率を有するユニットが配設されている、ことを特徴とするセラミック構造体。
【効果】半導体や液晶の露光装置に必要なステージやテーブル等について、剛性が高く、軽量で、平滑な面を持ち、大型化に対応できる製品を低コストで製造し、提供することができる。 （もっと読む）

【課題】板等の固体の成膜面に蒸着により薄膜を形成する場合に蒸着用材料の加熱に使用され、加熱により溶融、蒸発させる蒸着用材料の溶融物の耐濡れ性に優れた分子線源用坩堝を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム焼結体により構成され、且つ、少なくとも内壁面を構成する窒化アルミニウム焼結体が、アルミニウム以外の金属元素の総濃度が５００質量ｐｐｍ以下であり、且つ、酸素濃度が１．０質量％以下である、薄膜堆積用分子線源用坩堝１０。坩堝１０は、窒化アルミニウム焼結体のバルクを製造した後、この窒化アルミニウム焼結体のバルクを非酸化性雰囲気下で、冷却しながら切削加工して坩堝１０の形状とする。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制しつつ炭化金属の生成率を向上させることができる炭化金属焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】金属（珪素Ｓｉ）又は金属元素を含む化合物と炭素を含む繊維状の化合物とを混合して混合物を得る混合工程Ｓ１と、該混合工程Ｓ１で得られた混合物を湿式抄紙法にてシート状に成形するシート状成形工程Ｓ２と、該シート状成形工程Ｓ２にて得られたシート状のものを焼成する焼成工程Ｓ３と、当該混合物をマイクロ波加熱により焼結して炭化金属焼結体を得る焼結工程Ｓ４とを有する炭化金属焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】加熱バーナー周囲の炉壁等の亀裂や剥落を防止でき、かつ、熱処理炉の立ち上げ、休止の時間を短縮できる鋼材の加熱式熱処理炉の提供。
【解決手段】熱処理炉は、少なくとも炉壁内側にセラミックファイバー３が配設された炉壁構造を具備し、炉壁に設けられた挿入孔にバーナー２が設置され、該バーナー２の炉内側に、Ｙ_２Ｓｉ_２Ｏ_７相とＥｒ_２Ｓｉ_２Ｏ_７相とＹｂ_２Ｓｉ_２Ｏ_７相の少なくとも１相を２．５〜４．８質量％、Ｓｉ_２Ｎ_２Ｏ相を２〜６．５質量％、平均粒径０．１μｍ以上０．７μｍ以下のＳｉＣ質粒子を２〜５質量％、及び、β-Ｓｉ_３Ｎ_４及び不可避的不純物を残部とする組成である窒化珪素質セラミックス焼結体で構成されたバーナーポート４が隣接して配置され、かつ、該バーナーポートの先端が炉内壁面より炉内側に突出して配置されている。 （もっと読む）

【課題】装飾部品用セラミックスの使用に供し、長期間の使用において酸化等が進み、強度、装飾性が低下しやすい。特に、釣糸用の案内部材では、耐泥水性が低いため、長期間の使用に供することができないという問題があった。
【解決手段】窒化チタンを主成分とし、ジルコニア、ニッケルを含むセラミックスであって、前記ジルコニアから成るジルコニア結晶の少なくとも一部が前記窒化チタンから成る窒化チタン結晶内に分散されてなる硬質相と、前記ニッケルを主成分とし、前記硬質相を結合する結合相と、からなる装飾部品用セラミックスである。
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【解決課題】耐食性が高く且つ強度及び耐久性が高い無機繊維質断熱材及び該無機繊維質断熱材を製造することができる無機繊維質断熱材組成物を提供すること。
【解決手段】溶融アルミニウム又はアルミニウム合金の溶湯との接触用途を目的とする断熱材を形成させるために用いられる無機繊維質断熱材組成物であって、無機繊維、窒化珪素粉末、シラノール基を有する無機バインダー及び水を含有することを特徴とする無機繊維質断熱材組成物。該無機繊維質断熱材組成物を乾燥又は焼成して得られることを特徴とする無機繊維質断熱材。 （もっと読む）

【課題】マグネシウムやマグネシウムを含む合金のように浸食性の強い溶湯に対して優れた耐久性を示す低融点金属鋳造装置用部材、並びに前記部材を形成するのに使用される耐熱性コーティング材を提供する。
【解決手段】低融点金属を鋳造する鋳造装置において低融点金属の溶湯と接触する部材を被覆するコーティング材であって、窒化ホウ素粉末及び炭素粉末の少なくとも一方と、ジルコニアゾルとを含有することを特徴とする耐熱性コーティング材。 （もっと読む）

【課題】加熱時のガス放出量を低減させたセラミックスとその製造方法、及びこのセラミックスで構成された長寿命のボートを提供する。
【解決手段】０．２〜７．５質量％の酸化ストロンチウムと０．８質量％以下（０は含まない）の酸化硼素とを含み、二硼化チタン及び窒化硼素を主成分とする相対密度が９０％以上のセラミックス。二硼化チタンを４０〜６０質量％、窒化硼素を３０〜６０質量％、平均粒径が１０μｍ以下の酸化ストロンチウムを０．５〜８．５質量％を含む混合原料粉末を成形した後、非酸化性雰囲気下、温度１７００〜２２００℃、圧力１０ＭＰａ以上で焼結することを特徴とするセラミックスの製造方法。上記セラミックスで構成されてなる金属蒸発用容器。 （もっと読む）

【課題】耐食性と耐熱衝撃性が更に向上したセラミックス焼結体と、このセラミックス焼結体の容易な製造方法と、このセラミックス焼結体で構成された長寿命のボートを提供する。
【解決手段】
二硼化チタン、窒化硼素及びストロンチウム化合物を含有してなり、窒化硼素のＣ軸格子定数が６．６６６Å以下であり、３点曲げ強さが６０〜１３０ＭＰａ、弾性率が４０〜６０ＧＰａであることを特徴とするセラミックス焼結体。このセラミックス焼結体で構成された金属蒸発用発熱体。特定二種の窒化硼素粉末と二硼化チタン粉末とストロンチウム化合物粉末とを含有してなる原料粉末を焼結することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】瓦焼成中における熱変形を防止して全長を長くすることができ、また釉薬の付着が生じた場合にも平板瓦焼成用棚台全体を交換する必要がない平板瓦焼成用窯道具を提供する。
【解決手段】Ｓｉ含浸ＳｉＣまたは再結晶ＳｉＣなどの高温強度の高い耐火物からなる断面Ｕ字状の支持ビーム４の内部に、複数個に分割された平板瓦焼成用棚台１を配置した。平板瓦焼成用棚台１は、平板瓦支持板５の傾斜支持部３と、平板瓦支持板５の下端が挿入される保持溝２とを備えたものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】排気ガス浄化用フィルター及びその製造方法を提供する。
【解決手段】排気ガス浄化用フィルターにおいて、フィルター基材が、遷移金属元素（Ｔｉ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｖ、Ｍｏ）の中の一つ、３族又は４族元素（Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ）の中の一つ、及び炭素又は窒素の３元素からなる３元系化合物で構成されていることを特徴とする排気ガス浄化用フィルター、及びその製造方法。
【効果】ディーゼル及びガソリンエンジン排気ガス浄化用フィルターに求められる高融点、高温で分解しない安定性、高温強度、高温耐酸化性、耐熱衝撃性、高比表面積、低圧損、狭い細孔径分布、高熱伝導性、良好な触媒濡れ性、制振性などを兼ね備えた新しい材料系の排気ガス浄化用フィルターを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】炭化ケイ素焼結体の純度の向上と、炭化ケイ素焼結体の炭素濃度の低減を図る。
【解決手段】半導体製造に用いられる炭化ケイ素焼結体治具の製造方法であって、
（ａ）炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤との混合物及び上記粉体混合物から調製された成形体のいずれか一方をホットプレス法により焼結して焼結体１を得る工程と、
（ｂ）上記焼結体１を加工処理して焼結体２を得る工程と、
（ｃ）上記焼結体２をアルゴン雰囲気下２０００〜２４００℃で熱処理して、上記焼結体２中の不純物を外部拡散させて不純物を取り除き焼結体３を得る工程と、
（ｄ）上記焼結体３と、二酸化ケイ素及び炭素を含む混合物とを同一環境内に配置し、アルゴン雰囲気下１６００〜１７００℃で加熱し、上記混合物から生じたガスを上記焼結体３の表面に供給して焼結体４を得る工程と、
を含む炭化ケイ素焼結体治具の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高温強度と耐食性がいずれも高くしかもこれらがバランスしている窒化珪素焼結体、それを用いた非鉄金属溶湯用部材、及びそれを製造するための窒化珪素粉末を提供する。
【解決手段】ｄ５０が０．９〜１．５μｍ、ｄ７５／ｄ２５が３〜８であり、エタノール吸液量が粉末５ｇ当たり２．０〜２．３ｍｌである窒化珪素粉末。ここで、ｄ５０とはレーザー回折散乱法で測定された粒度分布における累積５０体積％径、ｄ７５とは累積７５体積％径、ｄ２５とは累積２５体積％径のことである。また、本発明の窒化珪素粉末の焼結体からなる窒化珪素焼結体。さらに、本発明の窒化珪素焼結体で構成された非鉄金属の溶湯用部材。 （もっと読む）

本発明は、内容積を規定する底面および側壁を有する基体を含んでなる、溶融シリコンを処理するための坩堝に関する。本発明によると、基体は、少なくとも６５重量％の炭化ケイ素、酸化ケイ素または窒化ケイ素から選択される１２から３０重量％の成分を含んでなる。さらに、基体は、従来技術の坩堝とは反対に、少なくとも１つの酸化ケイ素および／または窒化ケイ素被膜を、少なくとも坩堝の内容積を規定する表面上に含み、そのような坩堝は、その物理的完全性の明らかな劣化なしに数回使用することができる。 （もっと読む）

【課題】クラッチ廃材等のSiC生成に必要な珪素と炭素成分を含む複合体シートから、適当な強度を有するSiC含有シートを製造する方法を提供すること。
【解決手段】複合体シートを予備加熱し、1400〜1600℃で熱処理することを含むSiC含有シートの製造方法であって、前記複合体シートは、セルロースおよび合成繊維の少なくとも一方、炭素粉体および炭素繊維の少なくとも一方、珪藻土並びにフェノール樹脂を含有し、かつ少なくとも前記予備加熱は、複合体シートからの揮発成分雰囲気下で行う前記方法。 （もっと読む）

【課題】肉厚のパイプ等であっても、内部までケイ化反応した多孔質ＳｉＣ焼結体を提供すること。
【解決手段】本発明は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）と炭素（Ｃ）とを含み、かつ、気孔率が40〜85％の成形体中に、ＳｉＯガスを透過させることを含む多孔質ＳｉＣ焼結体の製造方法であって、ＳｉＯガスを発生させる原料を、成形体中の炭素（Ｃ）と原料中のＳｉとのモル比（Ｃ：Ｓｉ）が１：３〜１：７となるような量で用い、かつ、成形体中にＳｉＯガスを透過させる際の成形体の温度が1800〜2000℃である、多孔質ＳｉＣ焼結体の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】酸素濃度が１０００ｐｐｍ以下の非酸化性雰囲気であっても強度の著しい劣化や破損を防止することができるとともに、実使用できる寿命を大幅に向上させることができる非酸化性雰囲気用窯道具を提供する。
【解決手段】主成分としてＳｉＣとＳｉ₃Ｎ₄及び／又はＳｉ₂Ｎ₂Ｏを含んで構成され、酸窒化珪素と酸化珪素以外の無機酸化物を０．１２〜３．０質量％含有する非酸化性雰囲気用窯道具である。 （もっと読む）

【課題】従来の六方晶窒化ホウ素焼成体の製造方法の問題点を解決し、ホットプレス等の
加圧装置を用いず、かつ非酸化性雰囲気とすることなく、大気中で常圧でｈＢＮを焼成す
る方法とその焼成体を提供すること。
【解決手段】本発明は、六方晶窒化ホウ素と、焼成温度において液相を形成し六方晶窒化
ホウ素と濡れる性質を有する焼成用助剤とを混合し、大気中、無加圧で焼成することを特
徴とする窒化ホウ素焼成体の製造方法と、このようにして得られた六方晶窒化ホウ素とガ
ラス質物質からなる窒化ホウ素焼成体である。焼成用助剤としては、曹長石、ＮａＡｌＳ
ｉ₃Ｏ₈、カリ長石、ＫＡｌＳｉ₃Ｏ₈などのアルミノケイ酸塩が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 汚染物質を含む排気ガス等を効率よく浄化する多孔質構造体フィルタとその製造方法の提供。
【解決手段】
汚染物質除去のための浄化に使用されるもので、ＳｉとＳｉＣからなるスポンジ状多孔質構造体の３次元微細セル構造体で構成されるフィルタである。３次元微細セル構造フィルタは、密度の異なる複数のスポンジ状多孔質構造体を重ね合わせ複数の層をなすフィルタとし、取り扱いの容易な炭化ケイ素系スポンジ状軽量多孔質構造体のフィルタである。このフィルタは外側を密度の高いフィルタ１とし、内側を密度の低いフィルタ２としている。汚染物質を含む排気ガスは密度の低い側のフィルタを通過した後、密度の高い側のフィルタを通過し浄化される。 （もっと読む）

【課題】 架橋剤の添加や微粒子の分散を必要とせずに、簡単な工程で安価に微細孔を有する炭化珪素系多孔質成形体を製造する方法を提供する。
【解決手段】 架橋剤を使用せずに、ポリカルボシラン等の炭化珪素前駆体高分子を不活性気体中において４００℃以下で加熱して熱的に架橋した炭化珪素前駆体を形成し、該架橋前駆体を熱処理することにより炭化珪素系多孔質成形体を製造する。
炭化珪素前駆体高分子は、不活性気体中において２００〜４００℃で、１時間以上加熱して熱的に架橋することが好ましく、架橋した炭化珪素前駆体は５００〜１３００℃で、１時間以上熱処理することが好ましい。 （もっと読む）