【課題】脆性材料基板に良好なスクライブラインを形成することができるダイヤモンドポイント、および、このダイヤモンドポイントを有するスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ダイヤモンドポイントは、脆性材料基板４に対して移動させられることによって、脆性材料基板４にスクライブラインを形成するツール（工具）である。ダイヤモンドポイントの刃部６１は、四角錐台形状を有しており、主として、先端面６４と、複数（本実施の形態では４つ）の斜面６５（６５ａ〜６５ｄ）と、複数の角丸面６７（６７ａ〜６７ｄ）と、を有している。また、刃部６１の各稜線６６は、２つの隣接する斜面６５の間に形成された直線部６８と、この隣接する斜面６５のそれぞれと接続する角丸面６７上に位置しており、直線部６８および先端面６４を接続する曲線部６９と、を有している。 （もっと読む）

【課題】スクライブライン工程と分断工程とを基板を反転することなく同時に行うことにより、分断システムの合理化を図ることのできる分断装置を提供する。
【解決手段】 テーブル２と、脆性材料基板Ｗをテーブル２上で定位置に保持する保持手段１１と、テーブル２上方に配置されるヘッド１０と、ヘッド１０を脆性材料基板Ｗに対して相対移動させる走査機構とを備え、ヘッド１０には、スクライブラインＳを形成するためのスクライブツール３１と、上向きの吸引作用を生じさせる吸引パッド２１とが直列に並べて配置され、ヘッド１０を脆性材料基板Ｗに対してスクライブツール３１を先導として相対的に移動させることにより、スクライブツール３１で脆性材料基板ＷにスクライブラインＳを形成し、これに追従して後続の吸引パッド２１により、形成されたスクライブラインＳに沿って脆性材料基板Ｗを分断する。 （もっと読む）

【課題】内側輪郭線の内側の中心領域を切り抜く内周加工を行う際に、中心領域を確実に分離でき、しかも分離面に欠けが発生しないようにする内周加工方法を提供する。
【解決手段】（ａ）スクライビングホイールの刃先稜線に、スクライビングホイールの軸心方向に対して傾斜させた溝を周期的に形成した傾斜溝付きスクライビングホイールを用いて、脆性材料基板Ｇの第一面上に内周となる内側輪郭線のスクライブラインＣ１を形成するスクライブ工程と、（ｂ）内側輪郭線Ｃ１よりも内側の中心領域Ｇ０と非接触にするための孔４９を設けたプレート４２で基板Ｇを支持するとともに、中心領域Ｇ０に与圧Ｗを与える与圧工程と、（ｃ）与圧Ｗが与えられた状態で、中心領域Ｇ０を冷却して収縮させて、中心領域Ｇ０を分離する中抜き工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】スクライブ装置において短時間でチップを交換できるようにすること。
【解決手段】チップホルダ１０にチップ１４を回転自在に取付ける。チップホルダ１０を円筒形とし、その先端に取付部１６を設ける。ホルダジョイント２０に開口２３を設け、マグネットによってチップホルダ１０を吸着させ平行ピン２５で位置決めして取付けることによって、着脱を容易にする。又チップホルダ１０の面に、チップのオフセットデータを２次元コード１７として記録する。チップホルダの交換時にオフセットデータを読出してスクライブ装置に入力することにより、オフセットを打ち消す。こうすればチップホルダを着脱する際に補正に関連して必要だった操作を省いて、短時間の装置停止の間にチップを交換することができる。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板に良好なスクライブラインを形成することができるスクライビングホイール、および、このスクライビングホイールを有するスクライブ装置を提供する。
【解決手段】多結晶体ダイヤモンド製のスクライビングホイール５０は、２つの円錐台の下底面（ただし、下底面は上底面より面積が大きい）が互いに対向するように配置されたものであり、略円盤形状（算盤珠形状）を有している。また、スクライビングホイール５０の成形に用いられる多結晶体ダイヤモンドは、微細な結晶粒組織、または非晶質を有するグラファイト型炭素物質を出発物質として、超高圧高温下で直接的にダイヤモンドに変換燒結されたものである。また、多結晶体ダイヤモンドは、実質的にダイヤモンドのみからなるものであり、多結晶体ダイヤモンドには、意図的に他の物質が添加されていない。 （もっと読む）

【課題】ガラス板に破損を生じさせることなく、ガラス板に対して端面から所定の距離を置いた位置に簡単かつ確実にスクライブ線の開始点を設定するスクライブ方法およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ガラス板１の端面１ａに案内板４の端面４ａを当接させる。案内板４の端面４ａの一部をガラス板１の表面から上方に突出させ、ガラス板１と案内板４との境界部に段差６を形成する。この状態で、ホイールカッター３を案内板４の表面からガラス板１の表面に向かって走行させる。そして、段差６によって、境界部に到達したホイールカッター３を、ガラス板１の端面１ａから所定の距離を置いた位置でガラス板１の表面に乗り移らせ、スクライブ線２の開始点をガラス板１の端面から離間させる。 （もっと読む）

【課題】 樹脂層が形成されたガラス基板等の脆性材料基板に対してスクライブラインを効率よく確実に形成することのできるスクライブ方法を提供する。
【解決手段】 円形の外周縁に沿って第一稜線角θ_１をなす稜線が形成された左右一対の第一刃面１２と、第一刃面の根元側に続く左右一対の第二刃面１３とからなる二段の刃面を有し、第一刃面１２を、脆性材料基板を加工するに適した角度で形成し、第二刃面１３を、樹脂層を切断するに適した角度で形成した二段の刃面を持つ溝付きカッターホイール１０を使用し、このカッターホイール１０を、樹脂層３の上面に圧接させながら転動させることにより、第二刃面１３で樹脂層３を切断するとともに、第一刃面１２の刃先稜線を基板に食い込ませてスクライブラインを形成する。 （もっと読む）

【課題】 工程短縮を図るとともに、分断面に十分な端面強度を与えることができる分断方法を提供する。
【解決手段】 溝なし第一カッターホイールと、溝の周方向長さが突起の周方向長さよりも長い溝付き第二カッターホイールとを用いて、第一基板の第一方向に第一カッターホイールでスクライブを行い、第二基板の第一方向に第二カッターホイールでフルカットとなるスクライブを行い、次いで、ブレイク処理を行って冊状基板を形成する。
次に、短冊状基板の第二基板の第二方向に第一カッターホイールでスクライブを行うとともに、第一基板の第二方向に第二カッターホイールによりフルカットとなるスクライブを行い、次いで、ブレイク処理を行って貼り合せ基板を単位基板に分割する。 （もっと読む）

【課題】 工程短縮を図るとともに、分断面に十分な端面強度を与えることができる貼り合せ基板の分断方法を提供する。
【解決手段】 溝なしの第一カッターホイールと、所定の溝付きの第二カッターホイールとを用いて、（ａ）第二基板の第一方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第一基板の第一方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｂ）ブレイク処理を行って複数の短冊状基板を形成し、（ｃ）各短冊状基板の第一基板の第二方向に沿って第二カッターホイールでフルカットスクライブを行うと同時に、第二基板の第二方向に沿って第一カッターホイールによりスクライブを行い、（ｄ）ブレイク処理を行って単位基板ごとに分割する。 （もっと読む）

【課題】スクライブ時に生じるカレットなどのパーティクルの固着による悪影響を避けるスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】スクライビングホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先を形成する。刃先の円周部分に微小なＵ字形の溝１４を形成する。この溝１４の底面にはパーティクルの退避部として排出溝１５を形成する。こうすればスクライブ時に溝の内部に付着したパーティクルを排出溝１５より外部に排出させることができるので、スクライブへの悪影響を避けることができる。 （もっと読む）

【課題】良好なスクライブラインを形成することができるスクライブヘッド、およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３１は、第１回転軸３２ａを中心に、スクライビングホイール６０を回転可能に支持する。ホルダジョイント３５は、第２回転軸３８ａを中心に回転させられることによって、ホルダ取付ブロック４０に対して揺動可能に支持される。ここで、第１回転軸３２ａは、第２回転軸３８ａの直下からスクライビングホイール６０の進行方向に沿ってズレて配置されている。昇降部５０は、ホルダ取付ブロック４０を上下方向に移動させることによって、ホルダ３１に支持されたスクライビングホイール６０から保持ユニット１０に保持された脆性材料基板４に押圧力を付与する。固定部５５は、第２回転軸と略平行な固定力を付与することによって、ホルダジョイント３５をホルダ取付ブロック４０に対して固定する。 （もっと読む）

【課題】良好なスクライブラインを形成することができるスクライブヘッド、およびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３１は、第１回転軸３２ａを中心に、スクライビングホイール６０を回転可能に支持する。ホルダジョイント３５は、第２回転軸３８ａを中心に回転させられることによって、ホルダ取付ブロック４０に対して揺動可能に支持される。ここで、第１回転軸３２ａは、第２回転軸３８ａの直下からスクライビングホイール６０の進行方向に沿ってズレて配置されている。そして、押込みボルト４８によって、第２回転軸３８ａと略平行な押込み力が付与されることによって、ホルダジョイント３５は、ホルダ取付ブロック４０に対して固定される。 （もっと読む）

【課題】切削ホイールが設置された切削部を別途構成し、胴体部に結合及び分離可能にすることにより、交替が容易なスクライバーホルダーを提供する。
【解決手段】スクライバー装置に装着されるスクライバーホルダーに関し、より詳しくは、切削ホイールのある部分を容易に交替可能なスクライバーホルダーに関する。
本発明によると、スクライビング装置に装着されるスクライバーホルダーにおいて、切削ホイールが回転可能に設置される切削部と、スクライビング装置に直接装着される装着部を有し、切削部が結合可能に内部に開口部が形成された胴体部と、胴体部の一側に形成された溝部に、弾性部材と一緒に挿入設置される締付部材と、を備え、切削部が開口部を通じて胴体部に結合するとき、切削部が、弾性部材によって支持される締付部材を加圧することにより、結合が維持されることを特徴とするスクライバーホルダーが提供される。 （もっと読む）

【課題】スクライブ装置に用いられるカッタのチップの取付け及び交換作業の煩雑さを解消する工具を提供する。
【解決手段】チップホルダ６０Ａは、一端に回転自在に取付けられたチップ、及び外周面部の全周にわたって円環状に形成された窪み、側面から突出した操作バー６１Ａを備える。チップホルダ６０Ａは、操作バー６１Ａをホルダ取付け部７０Ａのバー導入溝７１Ａに導入しながら、保持孔部７２Ａに挿入される。操作バー６１Ａがバー導入溝７１Ａの最上部にまで引き上げられると、チップホルダ６０Ａの窪み６２が、保持孔部７２Ａの弾性部材と係合し、チップホルダ６０Ａはホルダ取付け部７０Ａに固定される。また、操作バー６１Ａはバー導入溝７１Ａで回転方向の動きが抑止されるので、チップホルダ６０Ａは、ホルダ取付け部７０Ａの保持孔部７２Ａ内で正確に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】チップと一体化したチップホルダを用いることによって、チップ交換に伴う調整作業のわずらわしさを解消する。
【解決手段】複数のスクライブヘッドを有するマルチヘッド搭載スクライブ装置において、ホルダジョイント２０の下面に形成された開口２３には内側にマグネットが埋設され、開口の中心軸と垂直な平行ピン２５が設けられている。チップホルダ１０の一端の少なくとも一部は磁性体で構成されているので、チップホルダ１０の一端がホルダジョイントの開口２３に挿入されれば、チップホルダの傾斜部１６ａが平行ピン２５に接触して位置決めされ、マグネットによって固定される。 （もっと読む）

【課題】 交点飛びの発生を確実に防止することができ、貼り合せ基板として必要な端面強度を得ることができる分断方法を提供する。
【解決手段】 円周稜線に沿って切欠きと突起とが交互に形成されるとともに、切欠きの周方向長さが突起の周方向長さよりも短く、かつ、切欠きのピッチが第一の長さである第一カッターホイールと、切欠きのピッチが前記第一の長さよりも短い第二カッターホイールとの２種類の溝付きカッターホイールを用いて、第一基板の第一方向は第一カッターホイールでスクライブラインを形成し、第一基板の第二方向は第二カッターホイールでスクライブラインを形成し、第二基板の第二方向は第一カッターホイールでスクライブラインを形成し、第二基板の第一方向は第二カッターホイールでスクライブラインを形成するようにして、端面強度と浸透性のバランスをとる。 （もっと読む）

【課題】チップの取付け及び交換作業の煩雑さを解消し、さらに、適正なチップに誤りなく交換できるようにする。
【解決手段】チップホルダ６０Ａは、一端に回転自在に取付けられたチップ１４、及び外周面部の全周にわたって円環状に形成された窪み６２、側面から突出した操作バー６１Ａを備える。チップホルダ６０Ａは、操作バー６１Ａをホルダ取付け部７０Ａのバー導入溝７１Ａに導入しながら、保持孔部７２Ａに挿入される。操作バー６１Ａがバー導入溝７１Ａの最上部にまで引き上げられると、チップホルダ６０Ａの窪み６２が、保持孔部７２Ａの弾性部材７３と係合し、チップホルダ６０Ａはホルダ取付け部７０Ａに固定される。また、操作バー６１Ａはバー導入溝７１Ａで回転方向の動きが抑止されるので、チップホルダ６０Ａは、ホルダ取付け部７０Ａの保持孔部７２Ａ内で正確に位置決めされる。
（もっと読む）

【課題】円板状ホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先を形成したスクライビングホイールにおいて、スクライブし分断した脆性材料基板の端面強度を向上させること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周を粗研磨によってＶ字状に形成して研磨面１３とし、次に先端部分を所望の頂角α２となるよう仕上げ研磨により研磨面１６を形成する。更に研磨面１６を超仕上げ研磨し、研磨面１７を形成する。こうすれば刃先の稜線の凹凸を少なくすることができ、スクライブしたときの脆性材料基板の端面強度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】円周稜線に沿って溝が形成されたスクライビングホイールの寿命を長寿命化できるようにすること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先１３を形成する。刃先１３となる円周部分に一定のピッチで微小なＵ字形の溝１４を形成する。この溝１４の間は突起となる。溝と突起の交点で溝側から最も交点に近い位置に接線を引いたときに、溝の両端の接線が成す接線交差角α１を９０°以上１３５°以下とする。これによってスクライビングホイールを用いてスクライブしたときの刃先の欠けを少なくし、長寿命化することができる。 （もっと読む）

【課題】ベースプレート上を上下に摺動するスライダとホルダジョイントを保持するホルダブラケットとの間を確実に連結できるようにすること。
【解決手段】ベースプレート１１上に設けられるスライダ１８にホルダブラケット２０を取り付ける。ホルダブラケット２０はボトムプレート１３の貫通孔１３ｂに挿入され、ボトムプレート１３の下面でホルダフランジ２１に連結される。更にホルダブラケット２０は２本のサポートスタンド２５，２６によってホルダフランジ２１に連結される。こうすればスライダ１８を上下動することでホルダブラケット２０とホルダフランジ２１を確実に連動させ、ホルダジョイント２４を上下動させることができる。 （もっと読む）