Fターム［4G030BA01］の内容
酸化物セラミックスの組成 (35,018) | 機能、用途 (4,196) | 電気、電子的機能、用途 (1,906)
Fターム［4G030BA01］の下位に属するFターム
導電性 (598)
電圧非直線抵抗体 (29)
ＰＴＣ半導体 (9)
ＮＴＣ半導体 (12)
ガスセンサー (17)
湿度センサー (2)
誘電性 (392)
圧電性 (257)
焦電性 (8)
絶縁性 (320)
Fターム［4G030BA01］に分類される特許
261 - 262 / 262
ＩＴＯスパッタリングターゲット
ＩＴＯスパッタリングターゲット中に、王水でエッチングしたとき又はスパッタエッチングしたときに表出する、粒径１００ｎｍ以上の粒子の個数が１個／μｍ２以下であることを特徴とするＩＴＯスパッタリングターゲット及び密度が７．１２ｇ／ｃｍ３以上であることを特徴とするＩＴＯスパッタリングターゲット。スパッタ特性、特にアーキングの発生を抑制し、このアーキングに起因するＩＴＯ膜の欠陥の発生を抑え、ＩＴＯ膜の品質低下を効果的に抑制する。 （もっと読む）
耐食性セラミックス材料
【課題】 価格および形状制約の問題が生じず、ハロゲン系プラズマに対する耐性が高い耐食性セラミック材料を提供すること。
【解決手段】 周期律表３Ａ族に属する元素のうち少なくとも１種の元素と周期律表４Ａ族に属する元素のうち少なくとも１種の元素とを含む酸化物を主体とすることで、耐食性のセラミックス材料が得られる。
（もっと読む）
261 - 262 / 262
[ Back to top ]