【課題】相変化記録媒体の界面層膜の成膜等に用いられるスパッタリングターゲットの製造方法において、均質で歩留まりの良いターゲットを得るための製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｔｉ，ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも１種のＭ元素の酸化物粉末とＭ元素の窒化物粉末を混合、成形した後、焼結する工程を具備することにより、スパッタリングターゲットは、Ｍ（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0＜ｘ≦0.7、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））、または（Ｍ_1-aＣｒ_a）（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0.1≦ａ≦0.5、0＜ｘ≦0.7、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））で表される組成を有する。 （もっと読む）

【課題】使用効率が高く、長寿命で、スパッタリング条件の経時変化の小さいＩＴＯスパッタリングターゲット材およびＩＴＯスパッタリングターゲット、ならびにこれらに用いるのに好適なＩＴＯ焼結体を提供する。
【解決手段】式 −30 ≦ 100×（Av1−Av2）／Av1 ≦ 30の関係を満たすＩＴＯ焼結体；式中、Av1は該焼結体中央部に存在するＩｎ₂Ｏ₃母相粒内の微細粒子の最大径の平均値(nm)を、Av2は該焼結体端部に存在するＩｎ₂Ｏ₃母相粒内の微細粒子の最大径の平均値(nm)を表す。 （もっと読む）

【課題】機能性セラミックリアクター、その製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】マイクロノズル造形手段を利用して機能性セラミックリアクター部材を製造する方法であって、セラミックリアクター前駆体材料をマイクロノズルから吐出、積層して造形する、得られた吐出体の表面及び／又は内側に前駆体材料をコートし、焼成して、機能性セラミックリアクター部材を作製する、ことを特徴とするセラミックリアクター部材の製造方法、その装置、及びセラミックリアクター部材が、該部材の前駆体材料をマイクロノズルから吐出、積層することにより造形されている、吐出体の表面及び／又は内側に前駆体材料がコート、焼成された多層構造を有している、ことを特徴とするセラミックリアクター部材。
【効果】小型で高効率のセラミックリアクターモジュールの新規製造技術を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】低抵抗率で、かつ、耐熱・耐湿性に優れ、耐薬品性が良好な酸化亜鉛を母材とする透明導電膜を提供する。
【解決手段】アルミニウム添加酸化亜鉛（ＺＡＯ）にインジウムを添加した透明導電膜で、アルミニウムの含有量をＡｌ／（Ｚｎ＋Ａｌ＋Ｉｎ）の原子比で２％を超え６％未満、かつインジウムの含有量をＩｎ／（Ｚｎ＋Ａｌ＋Ｉｎ）の原子比で０．１％を超え１％未満とすることにより、低抵抗率で、かつ、耐熱・耐湿性に優れ、耐薬品性が良好な透明導電膜を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】平板状固体電解質型燃料電池用の電解質膜の如く、周縁部を拘束した状態で大きな積層荷重や熱ストレスを受ける様なセラミックシートを対象として、大きな積層荷重や熱ストレスを受けたときでも、クラックや割れを生じ難いセラミックシートを提供すること。
【解決手段】厚さが１０から３００μｍ、かつ、レーザー光学式三次元形状測定装置を使用し、シート面にレーザー光を照射してその反射光を三次元形状解析することにより求められるシート周縁部のバリ高さが±１００μｍ以下である、積層加重と熱ストレスに対する耐クラック性と耐割れ性に優れたセラミックシートを開示する。 （もっと読む）

【課題】緻密な構造で熱膨張制御が可能であり、かつ簡便な手段で製造できるタングステン酸ジルコニウム−タングステン酸マグネシウム複合体、当該複合体の製造方法、及び当該複合体を備えた成形体を提供すること。
【解決手段】タングステン酸ジルコニウム粉体とタングステン酸マグネシウム粉体の結晶粉体からなる本発明の複合体は、ゾル・ゲル法により得られたタングステン酸ジルコニウムのアモルファス粉体とタングステン酸マグネシウム粉体を混合し、放電プラズマ焼結により結晶化させることにより製造される。かかる複合体は、熱膨張の制御を必要とする、光学分野、熱エネルギー分野、電子材料分野等における機能性セラミックス材料として有用である。 （もっと読む）

【課題】熱電変換材料として有用な配向酸化亜鉛質焼結体、熱電素子及び熱電変換デバイス等を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とする熱電酸化亜鉛質焼結体であって、該焼結体の特定面でのＸ線回折ピークにおいて、Ｌｏｔｇｅｒｉｎｇ法によるｃ軸配向度が０．９０以上であること、相対密度が９５％以上であること、を特徴とする熱電酸化亜鉛質焼結体、及び酸化亜鉛質熱電材料粉末を含むスラリーに対して、磁場を印加し、該スラリーを回転させながら該材料粉末を配向させるとともに、該スラリーを固化して成型体を作製した後、該成型体を焼結することを特徴とする熱電酸化亜鉛質焼結体の製造方法、及び該焼結体を利用した熱電素子等の製品。
【効果】高い電気伝導度を有する優れた配向熱電変換材料及び熱電素子等を提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】物性の優れたＩＴＯ膜をより一層向上した歩留りで成膜できるＩＴＯスパッタリングターゲット材およびＩＴＯスパッタリングターゲット、ならびにこれらに好適なＩＴＯ焼結体を提供する。
【解決手段】主結晶粒であるＩｎ₂Ｏ₃母相内に存在する微細粒子の最大径の平均値が０．２μｍ未満であるＩＴＯ焼結体、あるいは、主結晶粒であるＩｎ₂Ｏ₃母相の粒界からの微細粒子フリーゾーンの幅の平均値が０．３μｍ未満であるＩＴＯ焼結体、あるいは、主結晶粒であるＩｎ₂Ｏ₃母相内に存在する微細粒子の最大径の平均値が０．２μｍ未満であり、かつ、該Ｉｎ₂Ｏ₃母相の粒界からの微細粒子フリーゾーンの幅の平均値が０．３μｍ未満であるＩＴＯ焼結体。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、プラズマにさらされた後も平滑な面が維持できその結果、シリコンウェハ等の被吸着物に対するパーティクル汚染を抑制でき、かつ被吸着体の吸着、離脱特性の優れ、低温焼成で作製することが容易な静電チャックを提供することである。
【解決手段】 本発明では、アルミナが９９．４ｗｔ％以上、酸化チタンが０．２ｗｔ％より大きく０．６wｔ％以下、体積抵抗率が室温において１０^８〜１０^１１Ωｃｍかつアルミナ粒子の粒界に酸化チタンが偏析した構造の静電チャック用誘電体を備えた静電チャックとした。 （もっと読む）

【課題】近紫外域において高い光透過率を有する酸化物膜、また該酸化物膜を得るために必要なスパッタリングターゲットに用いることが可能な酸化物焼結体、さらには、得られた酸化物膜を含む透明基材を提供すること。
【解決手段】酸化物焼結体は、主としてガリウム、インジウム、および酸素からなり、前記ガリウムを全金属元素に対して６５原子％を超えて１００原子％未満含有し、その密度は５．０ｇ／ｃｍ³以上である。酸化物膜は、光透過率が５０％を示す最短波長が３２０ｎｍ以下である。透明基材は、ガラス板、石英板、片面若しくは両面がガスバリア膜で覆われている樹脂板若しくは樹脂フィルム、又は、内部にガスバリア膜が挿入されている樹脂板若しくは樹脂フィルムから選ばれた透明基板の片面若しくは両面に、前記酸化物膜を形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックにおいて、被吸着物であるＳｉウエハの均一加熱性を高めることができる静電チャックを提供する。
【解決手段】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックであって、前記静電チャックが、セラミックスからなる盤状の基板と、この基板上に設けられた前記基板と同種のセラミックスからなる絶縁性誘電層１と、前記基板と前記絶縁性誘電層１との間に埋設されている電極とを備えており、かつ、前記絶縁性誘電層１の表面には複数の凹凸部が形成されており、前記凹部３の底部平面の表面粗さＲａが０．５μｍ以上であることを特徴とする静電チャック。 （もっと読む）

【課題】スパッタリングターゲットとして使用した場合、使用初期から末期まで安定したスパッタ放電が得られ、また、有機ＥＬや高精細ＬＣＤ等に用いられるＲａやＲｙの小さい透明導電膜を実現し得る酸化物焼結体及びその製造方法並びにスパッタリングターゲット及び透明導電膜を提供する。
【解決手段】酸化インジウムと必要に応じて酸化錫を含有すると共に酸化シリコンを含有する酸化物焼結体であり、相対密度が１０２％以上である。 （もっと読む）

【課題】 軟磁性薄膜を形成するためのＦｅＣｏＢ系スパッタリングターゲット材の製造方法を提供する。
【解決手段】 ＦｅＣｏＢ系スパッタリングターゲット材において、原料粉末として、質量％で、Ｆｅ−２２〜２６％Ｃｏ、Ｆｅ−１５〜１００％Ｂ、Ｃｏ−０〜１０％Ｆｅ（０を含む）からなる３種類の粉末を用い、ａｔ％で、ＦｅとＣｏ合計量：８５〜９２％、Ｂ：８〜１５％、かつＦｅとＣｏのａｔ比がＦｅ：Ｃｏ＝７：３〜２：８になるように前記粉末を所定量混合し、これを熱間にて成形することを特徴とするＦｅＣｏＢ系スパッタリングターゲット材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、Ｃｏ系磁性相および酸化物非磁性相からなる磁性膜を有する磁気記録媒体における磁性膜を生成するための高密度スパッタリングターゲット材を提供する。【解決手段】 Ｃｏ系金属磁性相と酸化物非磁性相よりなり、相対密度９７％以上のスパッタリングターゲット材において、成形温度１０００℃以上、成形圧力５００ＭＰａ以上で成形し、抗折強度が３００ＭＰａ以上であることを特徴とする酸化物を含有したＣｏ基スパッタリングターゲット材。また、上記成形温度を１０００〜１３５０℃とする酸化物を含有したＣｏ基スパッタリングターゲット材。さらに、上記成形圧力を５００〜１０００ＭＰａとする酸化物を含有したＣｏ基スパッタリングターゲット材。 （もっと読む）

【課題】高温で化学的に安定であり、ＺＴ＝１に近い無次元性能指数をもつ、ｐ型及びｎ
型酸化物熱電材料を開発すること。
【解決手段】一般式ＣｕＣｒ_１−ｘＭｇ_ｘＯ_２（０．０３≦ｘ≦０．０５）で示されるデ
ラフォサイト構造を持つ層状酸化物からなるｐ型熱電変換材料。CuCrO₂のCr³⁺をイオン半
径の近いMg²⁺で置換してキャリアを導入し電気伝導率σの改善による性能指数Z=S²σ/κ
の向上を図ることができた。６００〜１１００Kの高温で良い電気伝導性を持ち、ゼーベ
ック係数は２００〜３５０μV/Kに達し、無次元性能指数は、１１００KではＺＴ＝０．２
を超えており、高温型熱電発電材料として有用である。 （もっと読む）

【課題】 ＰＤＰ用ＭｇＯ保護膜を成膜するためのターゲット材として、膜の密度及び耐スパッタ性を低下させることなく、優れた膜特性を付与することが可能なＭｇＯ焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化マグネシウム粉末粒子を成形焼成した酸化マグネシウム焼結体であって、前記焼結体が、Ｃａ、Ａｌ、Ｓｉ及びＦｅを各々５〜１０００ppmの範囲で含み、純度が９９．５０質量％以上９９．９９質量％未満の範囲であり、かつ、相対密度が９７．５〜９９．５％の範囲である蒸着材用酸化マグネシウム焼結体である。 （もっと読む）

【課題】従来のセラミックスに比べて効果が高いセラミックスを提供する。
【解決手段】ヒドロキシアパタイト若しくはフッ素アパタイトと、ピロリン酸カルシウムと、クリストバライトと、アルミナとを、加水して混練した後、オルトリン酸を加え反応熱が生じている間に、塩化カリウムと、Ｎａテトラシリシックマイカと、Ｌ-アスコルビン酸を混練し、さらに、磁性材としてマグネタイトと、酸化マンガンと、ルテニウム若しくはロジウムと、炭酸ナトリウムを入れて混練し、反応発泡終了後に酸化マグネシウムを入れ混練し、反応熱が常温となった後に、固形化した混練物を粉砕し、再度加水して混練し、酸化亜鉛と金属チタン若しくは酸化チタンと、結合材としてセルロースを入れ混練し、粘性を出して養生し、次に成形し、成形後乾燥し、焼成し、さらに磁結後磁気処理を行うことにより製造する。 （もっと読む）

【課題】 湿式成形に比べて成形速度が速い乾式成形において、配向性を劣化させることなく高強度の成形体が得られる酸化物磁性体の製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化物磁性体粒子とバインダーとを含む原料混合物を磁場中で乾式成形して成形体を得る乾式成形工程を有する酸化物磁性体の製造方法において、磁場中での成形操作前に、アダマンタン系化合物からなるバインダーを粉体に添加するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 亀裂部が発生することのないセラミックグリーンシートの製造方法、及びこの方法を用いて製造されたセラミックグリーンシートを提供する。
【解決手段】 本発明のセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミック粉末（アルミナ粉末、ジルコニア粉末等）、第１有機溶剤（トルエン、メチルエチルケトン等）を含有する１次スラリーに、前回までのセラミックグリーンシートの成形工程にて発生したセラミックグリーンシートの屑材を予め第２有機溶剤に溶解させてなる屑溶液と、結合剤（ブチラール樹脂等）と、可塑剤（フタル酸ジブチル等）と、第３有機溶剤とを配合し、混合して成形用スラリーを作製する成形用スラリー作製工程と、この成形用スラリー作製工程にて得られた成形用スラリーを用いてシートを形成するシート成形工程とを有することを特徴とする。本発明のセラミックグリーンシートは、本発明の方法により製造される。 （もっと読む）

【課題】結晶配向度が大きく優れた熱電特性を有する熱電材料およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】結晶配向度が大きく優れた熱電特性を有する熱電材料を提供するために、熱電材料微粒子１５で形成された配向熱電材料中に、高磁化率材料の結晶微粒子（金属，酸化物，強磁性あるいはフェリ磁性を有する材料）１４を添加する、あるいは、磁性（常磁性，強磁性，フェリ磁性）を有する熱電材料成分を添加することにより、磁場中にて熱電材料あるいは熱電材料成形体を形成し、必要に応じてさらに磁場中にて熱処理による緻密化を行うようにしたものである。 （もっと読む）