【課題】立体形状の制約が小さくなり成形密度が高い成形体が得られるセラミック基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック基板の製造方法は、(a) 第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度以上に昇温する工程と、(b) 前記工程(a)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に型を圧入する工程と、(c) 前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に前記型を圧入した状態のまま前記第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度未満に降温する工程と、(d) 前記工程(c)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートと前記型とを分離する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】グリーンシートの印刷・積層プロセスにおけるグリーンシートの配置ミスを防止し、併せて積層精度を向上させる方法を提供する。
【解決手段】印刷に先立ち、グリーンシートに印刷および積層における配置指標として、グリーンシートの印刷範囲外に、第１と第２の基準穴Ｈ１、Ｈ２を第３の基準穴Ｈ３を設け、印刷装置のステージに、グリーンシートが正しく固定された状態で第３の基準穴と連通する検知用吸引孔を設けるとともに、印刷装置に、吸引孔の空気を吸引する吸引手段と、吸引孔における圧力状態を検知するセンサとを設け、センサが負圧を検知したときにステージに被印刷物が正しく配置されていないと判定するようにする。 （もっと読む）

【課題】位置精度のよい貫通孔を形成でき、安価なセラミックパッケージが作製できるセラミックグリーンシートの孔開け装置を提供する。
【解決手段】上ダイセット１１に上金型１２と下ダイセット１３に下金型１４を備えるダイセット型１５で金属枠体１９の開口部に取り付けられたセラミックグリーンシート１６に貫通孔を設ける孔開け装置１０において、下金型１４上で金属枠体１９を把持してセラミックグリーンシート１６を縦、横、及び回転方向への可動を自在とするチャック体２０と、上ダイセット１１及び上金型１２を挿通する挿通孔２１を介してセラミックグリーンシート１６の外周部に設けられた位置決め孔２２を観察して中心位置を認識する認識カメラ２３を有し、これが認識した中心位置にチャック体２０でセラミックグリーンシート１６をセンタリングした後、ダイセット型１５で貫通孔が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光吸収剤の含有量を少なくして脱脂性の低下を抑えつつ効率的に貫通孔を形成することができ、また、寸法のばらつきを抑えて焼結させることが可能なセラミックグリーンシートを得ること。
【解決手段】 セラミックグリーンシート１は、レーザ光７を照射することによって貫通孔４が形成される、レーザ光吸収剤を含むセラミックグリーンシート１において、レーザ光７が照射される主面１ａと反対側の主面１ｂの表層にある第１層２およびその残部の第２層３を有しており、第１層２は、第２層３よりもレーザ光吸収剤の含有量が多く焼結開始温度が低い。 （もっと読む）

【課題】加工速度を向上させることが可能なハニカム成形体へのスリット形成方法を提供する。
【解決手段】一方向に長く先端部分２が最先端部３に向かうに従って漸次細くなり最先端部３が外側に凸の角部となっており最先端部３の角度θが９０〜１７０°であるスリット形成用板状部材１を振動させながら、スリット形成用板状部材１の先端部分２を、流体の流路となる一方の端面１１から他方の端面１２まで延びる複数のセル１３を区画形成する隔壁１４を有するハニカム成形体１５の一方の端面１２に接触させ、スリット形成用板状部材１をハニカム成形体１５の他方の端面１２側に向かって移動させてハニカム成形体１５の隔壁１４を切断し、ハニカム成形体１５にスリットを形成するハニカム成形体へのスリット形成方法。 （もっと読む）

【課題】素子に応じたキャビティを形成し、小型化を図ることができるセラミック部品の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のレーザ加工工程では、焼結後にセラミック基体部となるべき未焼結セラミック成形体４１〜４３と、焼結後に導体部となるべき未焼結導体４９とを接触させて配置した状態で、レーザＬ１の照射により未焼結セラミック成形体４１，４２の一部を除去する。これにより、素子を搭載可能な非貫通凹部であるキャビティ２０を未焼結セラミック成形体４１，４２に形成する。レーザ加工工程の後に行われる焼成工程では、未焼結セラミック成形体４１〜４３及び未焼結導体４９を同時に加熱して焼結させる。その結果、セラミック部品１０を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】セラミックグリーンシートの製造方法を提供すること。
【解決手段】回路パターンに対応する陽刻構造部が形成されたインプリンティング面を有するスタンプを設ける段階と、セラミックグリーンシートに上記陽刻構造部に転写された陰刻パターンが形成されるように上記セラミックグリーンシートに上記スタンプをインプリンティングする段階と、上記スタンプがインプリンティングされた状態で上記セラミックグリーンシートを硬化させる段階と、上記セラミックグリーンシートから上記スタンプを分離する段階と、上記セラミックグリーンシートの陰刻パターンに導電性物質を提供する段階を含むセラミックグリーンシートの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】金属製の軸芯と、該軸芯の外周側に形成されるセラミックスの円筒体層とを備えるセラミックスローラにおいて、円筒体層に局部的な密度のばらつきを生じさせることがなく、熱伝導率が低いセラミックスローラを提供すること。
【解決手段】帯電像を用いる電子写真装置の熱定着装置で使用されるセラミックスローラ１０であって、金属製の軸芯４と、軸芯４の外周側に形成されるセラミックス製の円筒体層１からなり、軸芯１と円筒体層４の間に隙間１２を形成した。 （もっと読む）

【課題】 直径３０μｍ乃至５０μｍの貫通ビアを厚み２５０μｍ以下のセラミックグリーンシートに６０％以上１００％未満のテーパ率で、熱による影響をうけることなく、穿孔加工を精度良く行なうことができるセラミックグリーンシートのレーザー光を用いたビア加工方法を提供すること。
【解決手段】 セラミックグリーンシート１に含まれるセラミック粉末の個数積算粒度分布における９０％粒径（Ｄ９０）を数式３からなる関係式を用いてテーパ率が６０％以上になるような粒径で調合し、図２ａに示すレーザーパルス４を同じ座標位置に連続で照射することにより穿孔加工を行なう。 （もっと読む）

【課題】マスク付目封止ハニカム構造体の端面に貼り付けたマスクを自動で剥すことができるマスク自動剥し装置を提供する。
【解決手段】ハニカム構造体の一方の端面に、この端面の面積よりも大きな面積のマスク２４を貼り付け、孔を開け、目封止用スラリーに浸漬し、乾燥させて得られるマスク付目封止ハニカム構造体２００のマスク２４を剥すものであり、マスク２４に付着した目封止用スラリーが固化したものを除去するブラッシング装置３０と、目封止用スラリーが固化したものを除去した後、一方の端面の反対の端面側から空気を噴射して、一方の端面からはみ出した部分を起こす空気噴射装置３６と、空気噴射装置３６で起こした部分を把持し、マスク２４を剥すマスク剥離装置５０と、ブラッシング装置３０からマスク剥離装置５０までマスク付目封止ハニカム構造体２００を搬送する搬送装置５５と、を備えるマスク自動剥し装置１０。 （もっと読む）

【課題】熱と圧力により個々のセラミックグリーンシートを接合してセラミック積層体を形成する際の積層ズレを防止する。
【解決手段】厚板状の下金型６と、下金型６の上面側に設けられる加熱プレス設備８とを有し、下金型６は、その厚み部分を貫通する貫通孔７と、下金型６の厚み部分に内設されて下金型６を加熱する第１の加熱機構１５とを備え、加熱プレス設備８は、上金型９と、上金型９の下面９ａでかつ貫通孔７と符合する位置に立設される少なくとも２の孔開けピン１０と、上金型９の下面側９ａに配設され、孔開けピン１０をその厚み部分に挿通しながら孔開けピン１０の軸方向にスライド可能に設けられる平板体１２とを備え、上金型９は、その厚み部分に内設されて上金型９を加熱する第２の加熱機構１６を具備し、貫通孔７は、セラミックグリーンシート５の載置部の対辺に少なくとも１対ずつ形成されるセラミックグリーンシートの積層装置１による。 （もっと読む）

【課題】最下層に形成された導体膜と他の層の導体膜との間の位置ずれ量を低減することができるセラミックス積層体の製造方法を提供すること。
【解決手段】プレート３０の基準ピン３２が下部ダミーシート４０の貫通孔４０ａを挿通するように下部ダミーシートをプレートの上に配置・固定する。基準ピンが最下層積層用シート４１の貫通孔２４ａを挿通し且つ最下層積層用シートの導体膜形成面が下部ダミーシートの上面に接するように、最下層積層用シートを配置する。最下層積層用シートを下部ダミーシートに加熱圧着する。最下層積層用シートの成形用フィルム２１を最下層積層用シートのセラミックグリーンシート２２から剥離する。以降、同様に積層用シートを積層し、上部ダミーシートをその積層体に加熱圧着する。積層された積層体をプレートから分離して焼成し、最後に、下部ダミーシート及び上部ダミーシートを除去する。 （もっと読む）

【課題】互いに交差する第１および第２の分割溝を形成した板材を焼成した後、当該分割溝を介して個片化することによりセラミック基板を製造するセラミック基板の製造方法において、分割溝の形成による焼成後の板材の寸法精度ばらつきを低減する。
【解決手段】第１の分割溝１および第２の分割溝２を形成する工程では、第１の方向Ｘに沿って隣り合う領域Ｒａ、Ｒｂ同士の間で、一方の領域Ｒａを区画する第１の分割溝１の延長線上に他方の領域Ｒｂが存在し、当該他方の領域Ｒｂを区画する第１の分割溝１の延長線上に当該一方の領域Ｒａが存在するように、互いの第１の分割溝１をずらした配置とする。 （もっと読む）

【課題】表面および裏面の少なくとも一方と側面との間に所要の形状および寸法の段部を有するセラミックパッケージを確実に製造できるセラミックパッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】一対(複数)の製品部分１ａを有する第１グリーンシートｓ１と、一対の製品部分１ａを有し且つかかる製品部分１ａ間の境界である切断予定面Ｌに跨って表面と裏面との間を貫通する通し孔７ｂ，８ｂを有する第２グリーンシートｓ２，ｓ３と、を積層して、表面２および裏面３に開口する凹部７ａ，８ａを有するグリーンシート積層体Ｓ１を形成する工程と、当該グリーンシート積層体Ｓ１における裏面３側の凹部８ａに、当該凹部８ａの断面とがほぼ同じ断面の挿入物１２を挿入した状態で、一対の製品部分１ａ間の切断予定面Ｌに沿って上記グリーンシート積層体Ｓ１および挿入物１２をかかる積層体Ｓ１の厚み方向に切断する工程と、を含む、セラミックパッケージＰ１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 加工精度を維持しつつ、低コストと短納期とを実現するシート加工装置及びその作製方法を提供する。
【解決手段】平板上に複数の突起を有する第１の型と、突起が挿入される突起挿入孔を有する第２の型とからなり、第１の型と、第２の型との間にセラミックグリーンシートを設置し、突起がセラミックグリーンシートを貫通して、突起挿入孔に挿入されることによりセラミックグリーンシートに複数の孔を形成するシート加工装置であって、金属からなる平板と、平板上に、少なくとも表面が樹脂により形成された突起とを有する。 （もっと読む）

【課題】打ち抜くべきグリーンシートの厚みとキャビティの側面の傾斜角度との組合せに応じて、最適のクリアランスを正確に得て打ち抜き加工を精度良く行える配線基板の製造方法、およびこれに用いるセラミックグリーンシートの打ち抜き装置を提供する。
【解決手段】グリーンシートｇ１に、側面が傾斜した貫通孔を、パンチ４と当該パンチ４を受け入れる孔８を有するダイ７とにより打ち抜くに際し、上記パンチ４と上記ダイ７の孔８とのクリアランスｃを数式１に従って定める、配線基板の製造方法。
（数１） ｃ＝（ｔ／ｔａｎθ）×ｎ
ｃ：クリアランス
ｔ：グリーンシートｇ１の厚み
θ：貫通孔の傾斜角度（上記シートの表面に対する仰角）
ｎ：係数（０．９〜１．１） （もっと読む）

【課題】セラミックグリーンシートの加工時間を短縮し、加工精度を向上できるセラミックグリーンシートの加工方法を提供する。
【解決手段】移動可能に設けられたセラミックグリーンシートＳに複数個の貫通孔を形成するためのセラミックグリーンシートＳの加工方法であって、レーザ光源１２から発振されたレーザビームＬ１をレーザ縮径手段１４に通過させて縮径させるレーザビーム縮径工程と、レーザ縮径手段１４により縮径されたレーザビームＬ１を略９０度の入射角度でレーザ分光手段１８に入射させて複数個のレーザビーム群Ｌ２に分光させるレーザビーム分光工程と、レーザ分光手段１８により分光されたレーザビーム群Ｌ２における０次光を略９０度の入射角度でレーザ集光手段２０に入射させて集光させ、集光させたレーザビームＬ２をセラミックグリーンシートＳ上に照射させるレーザビーム照射工程と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 複数の打ち抜き片を効率的且つ確実に回収することが出来る簡易な構成の穿孔装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る穿孔装置は、グリーンシート２を挟んで対向配備された雄金型11及び雌金型12を具え、雄金型11の雌金型12との対向面には、グリーンシート２の厚さよりも大きな突出高さを有する複数の凸部11aが形成される一方、雌金型12は、前記凸部11aの高さよりも小さな厚さを有する平板状部材からなり、該雌金型12には、前記各凸部11aに対応する位置にそれぞれ貫通孔12aが開設されている。前記雌金型12の背面側には、複数の貫通孔12aを覆って粘着テープ14が配備されると共に、粘着テープ14の背面側には、粘着テープ14を介して雌金型12を雄金型11に向けて加圧する加圧部材13が配備され、該加圧部材13の粘着テープ14との対向面には、弾性部材13aが取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】
グリーンシートに加工時の残渣が残らないように貫通孔を形成する。
【解決手段】
グリーンシート１を準備する工程と、前記グリーンシート１を液体が含有される台材１２に配置する工程と、前記グリーンシート１側からレーザー光１３を照射し、必要に応じて貫通孔を形成するとともに、台材１２に含まれる液体を蒸発させて貫通孔５の内壁面の残渣１５を洗浄・除去する工程と、を含むグリーンシートの加工方法。 （もっと読む）

【課題】吸引・保持ヘッドの吸引孔からの吸引による湾曲変形が残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを剥離、積層して、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造する。
【解決手段】吸引・保持面１４ａに、セラミックグリーンシートを吸引・保持するための複数の吸引孔１３が配設され、かつ、吸引孔１３が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッド１４を用い、セラミックグリーンシート１１を一枚もしくは複数枚積層するごとに、吸引・保持ヘッド１４を回転させて、平面視した場合に、吸引孔１３がセラミックグリーンシート１１の、前回に吸引した領域（吸引部分）１９とは異なる領域を吸引する。 （もっと読む）