【課題】管状火炎を用いてガラス表面を汚染等することなく、極めて短時間で火炎研磨処理等が可能な管状火炎バーナ及び、それを用いたガラスの加工方法を提供する。
【解決手段】ブロック体と、円筒状の燃焼室と、燃料用整流路と、燃焼室の別の接線方向に沿って形成された酸素含有ガス用整流路と、燃料用整流路の法線方向に沿って形成された燃料用供給路と、酸素含有ガス用整流路の法線方向に沿って形成された酸素含有ガス用供給路と、を備えた管状火炎バーナ及び、それを用いたガラスの加工方法であって、円筒状の燃焼室において、燃料用供給路および燃料用整流路を介して導入された燃料と、酸素含有ガス用供給路および酸素含有ガス用整流路を介して導入された酸素含有ガスと、を混合燃焼させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可視域の透過率の低い着色不透明部と有する強化ガラスの圧縮応力量を非破壊で算出することができる、強化ガラス及びその製造方法、該強化ガラスの表面応力測定方法を提供する。
【解決手段】着色不透明ガラス１０と透明ガラス２０とを積層して一体化し、一体化したガラスの表面に圧縮応力層を形成した強化ガラス１である。加熱し溶融した前記着色不透明ガラス１０を固化状態の前記透明ガラス２０に接触させた状態で冷却し、前記着色不透明ガラス１０を固化することにより積層して一体化し、その際に熱強化処理とする。透明ガラス１０の圧縮応力層の圧縮応力量の測定値は、着色不透明ガラス１０又は強化ガラス１の圧縮応力量の算出に用いられる。 （もっと読む）

【課題】異なる組成又は色調のガラスを一体成形するガラスの成形方法及び一体化ガラスを提供する。
【解決手段】組成又は色調の少なくとも一方が異なる第１ガラスＧ１，第２ガラスＧ２を一体化するガラスの成形方法であって、第１のガラスＧ１を加熱して溶融させる第１の工程と、溶融状態の第１のガラスＧ１と、固化状態の第２のガラスＧ２とを接触させる第２の工程と、溶融状態の第１のガラスＧ１と固化状態の第２のガラスＧ２とを接触させた状態で冷却し、第１のガラスＧ１を固化させる第３の工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】可視光に対して優れた反射防止性能を示す多孔質ガラスを提供する。
【解決手段】シリカを主成分とし、スピノーダル型の相分離由来の孔およびバイノーダル型の相分離由来の孔が形成された多孔質層２を有する反射防止など様々な光学機能を有する光学材料として工業的利用される多孔質ガラス１。母体ガラスを加熱処理することにより、母体ガラスを相分離し、相分離ガラスを酸溶液と接触させることにより酸可溶成分であるアルカリ金属酸化物−酸化ホウ素リッチ相を溶出除去させることにより多孔質ガラス１とする。 （もっと読む）

【課題】 合成石英からなるフォトマス用のガラス基板や該ガラス基板を用いたフォトマスクにおいて、ガラス基板の周辺部にひび、欠けの欠陥部が生じた場合に、該欠陥部を修正でき、且つ、フォトマスクの仕様であるフラットネスを確保できる方法を提供する。
【解決手段】 順に、（ａ）ガラス基板の前記欠陥部にガラス基板とは別の合成石英を溶融して欠陥部を埋める溶接をし、且つ、溶接部が盛り上がるようにする処理を行う、補修処理と、（ｂ）ガラス基板の前記補修処理における処理領域を、部分的に加熱によりアニールして、該処理領域の残存応力をとるアニール処理と、（ｃ）前記補修処理において盛り上がった溶接部を削って外形を整える整形研磨処理と、（ｄ）端面、表裏の各面に対して、それぞれ、各面の未修正部に合わせて研磨を行う、研磨処理とを、有する。 （もっと読む）

【課題】成膜装置やプラズマ処理装置内でのパーティクルの発生を防止し、ハロゲン系ガスを用いたドライ洗浄におけるアルミニウムによる汚染を抑えることのできるガラス部材を提供する。
【解決手段】基材１０上に石英ガラス溶射による、幅５〜３００μｍ、高さ２〜２００μｍの、球状及び／又は釣鐘状の島状突起１２を設け、該突起１２に含まれるＡｌの濃度が２０〜１０００ｐｐｍ、Ｆｅの濃度が２ｐｐｍ以下であるガラス部材を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体等の製造におけるプラズマ処理装置（プラズマクリーニング装置、アッシング装置、スパッタ装置）等プラズマを用いる装置に使用する部材はプラズマによるエッチングによる消耗や、パーティクル発生による製品の汚染、歩留まり生産性低下等の問題があった。
【解決手段】少なくともＳｉ、Ｏ及び、３ａ族元素又は２ａ族とＺｒとから構成された耐蝕性溶射膜が表面にコーティングされた真空装置用部材は、プラズマに対する耐蝕性が高く、パーティクルの発生が少なく、このような耐蝕性部材は、例えば、窒化ケイ素、シリカ及び３ａ族酸化物粉末と、ジルコニア粉末との混合粉末を基材に対して溶射することによって製造することができる。 （もっと読む）

【課題】
安価でプラズマ耐食性、特にＦ系プラズマガスに対する耐食性に優れた半導体製造用治具として用いられる石英ガラス部材を提供する。
【解決手段】
半導体製造用治具として用いられる石英ガラス部材であって、ノンドープ石英ガラス部材と、当該石英ガラス部材の所定部位にドープ石英ガラス材料を用いて形成されたドープ石英ガラス部分と、から構成されるようにした。前記ドープ石英ガラス部分が、ドライエッチング工程のプラズマガスに被曝する部分に構成されることが好ましい。 （もっと読む）

積層板は、フュージョン成形された光学表面を持つ表面層および表面層に機械的支持を与えるコア層を有してなる。コア層は、表面層よりも高い弾性率を有する。積層板を形成する方法は、第１の粘性流動性材料を第１のオーバーフロー流路に供給し、ファイヤー・ポリッシュの品質の少なくとも１つの未接触表面を有する第１の板状流れを形成するように制御された様式で第１の粘性流動性材料をオーバーフローさせ、第１の板状流れを第２の材料と合体させることによりファイヤー・ポリッシュの品質の少なくとも１つの未接触表面を有する積層流れを形成し、積層流れを積層板に引き出す各工程を有してなる。
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【課題】 植物の成長を促進または抑制する効果が得られる光条件の環境を形成することができると共に、優れた耐候性、耐紫外線性および機械的強度を有する植物成長制御用光透過材料、並びに、植物成長制御用透光性材料およびその製造方法の提供。
【解決手段】 植物成長制御用光透過材料（植物成長促進用光透過材料または植物成長抑制用光透過材料）は、植物育成空間の光条件を調整するための光透過材料であって、低融点ガラスよりなる基材中に遷移金属イオンよりなる光吸収材がドープされてなり、光合成有効光量子束透過率が５０％以上であり、かつ波長領域７００〜８００ｎｍの近赤外光の光量子束に対する波長領域６００〜７００ｎｍの赤色光の光量子束の比が、成長促進用では０．９以下とされ、成長抑制用では１．３以上とされる。 （もっと読む）

高熱負荷にさらし得るガラスセラミック又はガラス素子を、溶融珪酸塩をベースとし、極めて顕著な金属効果を生ずる効果顔料を含有する金属着色剤で装飾する。
高熱負荷にさらし得、且つ効果顔料が添加された溶融珪酸塩をベースとした金属着色剤で装飾されるガラスセラミック又はガラス素子であって、この金属着色剤が、金属酸化物を被覆した合成酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）の小板である効果顔料が特定割合で添加された珪酸塩溶融物から成ることを特徴とするガラスセラミック又はガラス素子。 （もっと読む）

乾燥又は焼成し、マトリクス中で相互に結合した、気体を充填した中空のガラス製又はセラミック製のマイクロスフェアから作られた半導体用基板を提供する。マイクロスフェアをガラスコーティングが施されたマイクロスフェアとし、外側のガラス層を相互に焼結することによって、結合させたものとすることも出来る。半導体表面は、グレージングにより滑らかに加工することが出来る。 （もっと読む）