【課題】高純度液体に含まれるバクテリア等の微量な有機物を除去するとともに、簡易に設置することができる液体浄化装置を提供すること。
【解決手段】液体浄化装置１２を構成する流路ブロック２１は、透明に形成されている。流路ブロック２１に形成された液体流路３２の内面には、光触媒層３６が設けられている。流路ブロック２１の管状部３７にはＬＥＤ４１の取付基板４２が設けられ、流路ブロック２１と光照射部２２とが一体的に組みつけられている。ＬＥＤ４１が発した紫外光は透明な管状部３２を透過して光触媒層３６に照射され、光触媒層３６を活性化させる。 （もっと読む）

【課題】供給圧力を幅広い範囲で調節自在とするとともに、その調節の際に、原料ガスと空気との混合比率を所定の範囲内に維持し得るようにする。
【解決手段】中圧調整器２、低圧ガバナ５、上下限圧遮断コントローラ１１、昇圧防止弁１２、開閉弁１３、開閉弁コントローラ１４、空気弁１５の各ダイヤフラム１６のバネ室１７に、ローディング用ガバナ２０を介して、コンプレッサ１８からの加圧空気を導入することによって、このバネ室１７側からの付勢力を高める。これによって、前記中圧調整器２からの原料ガスの出口圧力を高めつつ、前記空気弁１５を介しての空気の取り込み量を増やすことができるため、混合ガスの混合比率を所定範囲内に制御するとともに、混合ガスを一時的に貯蔵するクッションタンク４内のガス圧を高めることができる。このため、需要者の幅広い使用規模及び用途に対応してこのガス供給装置を適用することができる。 （もっと読む）

粉体またはペーストの形態の調剤材料用に使用できる、本発明による調剤分注装置は、調剤材料を保持する目的のためにハウジングの内側に形成される少なくとも１つのレセプタクル区画を有するハウジングを含む。この調剤分注装置は、弾性材料を備え、調剤材料用の出口を有する少なくとも１つの分注ヘッドをさらに含む。応力のない状態では、すなわちその上に働く機械的な力または圧力がないとき、この出口は外側に対してしっかりと閉じている。力または圧力が加えられるときこの出口は、加えられる力に応じて可変である開口部幅で開口する。さらに、レセプタクル区画および／または分注ヘッドの内側に、それを介して出口を開口させることができる少なくとも１つの機械的なアクチュエータ要素が配置される。
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【課題】高純度ガス供給のための、精製能力が高く、長寿命の組み込みガス精製器を有し、かつ、ガスがガス精製器を通して取り出されていない間は、組み込み精製器をガスから隔離できる高純度ガス供給システムの流体流動弁アセンブリ、流体処理容器アセンブリおよび流体供給システムを提供する。
【解決手段】外部口２５と、少なくとも第一の口１９、第二の口２１、及び第三の口２３を有する入口端部とを有する弁本体９、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁１１、及び弁本体内に配置され、第三の口と外部口の間の流体流動を制御するのに適合した第二弁１３を含む流体流動弁アセンブリ。 （もっと読む）

本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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【課題】 流体に腐食性流体を使用しても各部品の腐食を防止でき、半導体製造装置内などへの設置および配管や配線接続が容易であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な、電気駆動による流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、電気式駆動部１１と流量制御部５からなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子１８と超音波振動子１９から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部９に出力する超音波振動子１８、１９を有する流量計センサ部４と、流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部９と、流量計アンプ部９で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部１０とを具備し、少なくとも流量計アンプ部９と制御部１０と電気式駆動部１１とを具備する電装モジュール７が１つのケーシング８内に設置される。 （もっと読む）