【課題】 光触媒は、光源が照射された部分でしか有害物質の分解、除去が行われない欠点と有効部位に接触が必要な欠点、及び反応速度が遅い欠点とがあり、この三つの欠点と、増殖速度が早い雑菌の殺菌性能とを同時に解決する装置の実現は困難であった。
【解決手段】 光触媒の作用は、照射面積に比例して増大し、光の照射強度はある値で充分である事と流体は球状の球面を包み込むように通過する性質に着目し、球状の触媒の直径に最適な形状と寸法の擬似光源、光反射板を設置する事で、光を触媒のほぼ全面に照射させ、触媒が作用する面積を大幅に拡大した。同時に、被浄化対象物が触媒の球面を包み込んで通過する様に配慮する事で、触媒作用の有効な部位に常に接触させた。
従来の照射面積不足と触媒の反応速度が遅い欠点と有効部位に接触しにくい欠点とを解決した。又、浄化対象物に常に光が照射されるので殺菌作用も同時に得られる。 （もっと読む）

【課題】 設備コストの抑制しつつ、照度ムラを低減して均一なシート特性を有する粘着シートの製造が可能な光照射装置及びそれを用いた粘着シートの製造装置を提供する。
【解決手段】 所定の離間距離で、相互に平行となる様に対向配置された一対の線光源と、前記一対の線光源の間に設けられた、少なくとも２以上の短冊状の光反射板であって、各光反射板の長辺方向と線光源の延在方向とが直角となる様に、前記延在方向に配列されたものとを有し、前記光反射板の一方は、前記一方の線光源から出射された光を下側方向に反射させる様に、前記一対の線光源で形成される平面に対し所定の角度で傾斜しており、前記一方の反射板に隣接する他方の光反射板は、前記他方の線光源から出射された光を下側方向に反射させる様に、前記平面に対し所定の角度で傾斜していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ランプ交換作業で作業者にかける負担を少なくでき、また作業スペースも少なくて済むようにした紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被処理体を収容し、上面から紫外線の照射処理を行う照射室の上面に箱形の紫外線照射ユニットを設置した紫外線照射装置１において、紫外線照射ユニット２は、少なくとも出し入れ口となる一側面が開口した外ケース１１と、細長い紫外線ランプ１１１を収容した内ケース１２と、外ケースに対して内ケースを出し入れ口から引出し・押込み可能にスライドさせるスライド手段１３，１５と、スライド手段における出し入れ口近傍に設けられ、内ケースの全長が外ケースから引出された状態で当該内ケースの後端部を回転可能な状態で支持する回転支持手段１４，１６とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】紫外線の照射を行うエリアにおいて酸素濃度を低い状態で安定させ、かつ、窒素ガスの消費量を抑制できる紫外線照射装置を提供すること。
【解決手段】帯状のワークが走行する搬送径路中に配置された搬送ロール６０に対面して配置され前記ワークに紫外線を照射するランプユニットと、このランプユニット４０と前記搬送ロールの間に設置され不活性ガスを含む雰囲気空間を形成する不活性ガスパージ領域形成機構１と、を備える紫外線照射装置５０であって、不活性ガスパージ領域形成機構１は、前記搬送ロールの側面に設けた円弧状の側面シールド部３０と、前記搬送ロールの正面に設けたロール正面シールド部１０と、前記搬送ロールの背面に設けたロール背面シールド部３０とにより前記搬送ロールに沿って搬送される前記ワークを取囲むシールド室２と、このシールド室に前記不活性ガスを供給する供給口１８を形成したガス供給部１５と、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法においてセラミックス等の微粒子表面を洗浄できるとともに、活性化に必要なエネルギーを微粒子に付与でき、大幅な成膜効率の向上が図れる被膜形成装置を提供する
【解決手段】エアロゾル発生装置１１と、真空チャンバー５と、エアロゾル噴射ノズル１２と、捕集装置３とを備え、エアロゾルデポジション法によりエアロゾル噴射ノズル１２から基材７上にエアロゾルを噴射し衝突させて被膜を形成する被膜形成装置１であって、エアロゾル発生装置１１および捕集装置３から選ばれた少なくとも一つの装置に、該装置内においてエアロゾル中の微粒子に高エネルギーの電磁波を照射する手段を設けてなり、上記高エネルギーの電磁波は、レーザー光、赤外線、紫外線またはマイクロ波である。 （もっと読む）

【課題】被処理体に対して一様な照度で紫外線を照射することができる紫外線照射装置。
【解決手段】複数体の紫外線照射ユニット２を並設し、被処理材10の被処理面に対して一様に所定波長領域の紫外線を照射するための紫外線照射装置１であって、紫外線照射ユニット各々は、光源としての紫外線放電ランプ111と、紫外線放電ランプの側方及び上方を覆うように配置され、当該紫外線放電ランプからの紫外線を下方に反射させる反射面を持つ主反射体112と、紫外線放電ランプの下方に配置され、紫外線放電ランプからの紫外線を散乱させるルーバー装置115とを有し、ルーバー装置は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー単体13を複数体、各ルーバー単体間に所定間隔を空けて並置し、かつ、複数体のルーバー単体各々を軸周りに任意の角度だけ回転させた姿勢に保持する回転操作部12を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光触媒に対して低親和性の原料液体であってもマイクロ流路内で光触媒表面における存在割合を効果的に高めることができ、光触媒反応を更に効率的に進行させることを可能にした光触媒系マイクロ反応装置を提供すること。
【解決手段】反応原料が流通されるマイクロ流路を有するマイクロ反応器と、マイクロ流路に反応原料を送り込む原料送り込み手段と、マイクロ流路の内面に設けられた光触媒の層と、を備えた光触媒系マイクロ反応装置において、前記反応原料が、気体原料と、光触媒に対して低親和性の有機液体原料または光触媒に対して低親和性の有機溶媒に反応原料を溶解させた有機溶液原料である場合に対して、前記原料送り込み手段は、前記有機液体原料または前記有機溶液原料が前記マイクロ流路の内面に沿って流れ、気体原料が中央部を流れる状態のパイプフローを形成可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】誘電体バリア放電ランプにおけるランプ軸方向を均等な温度分布に冷却して良好なランプ軸均斉度を実現する。
【解決手段】ペルチェ素子１と、外部電極２と、誘電体バリア放電ランプ３と、誘電体バリア放電ランプ３を構成する石英ガラス管４と内部電極５およびエキシマ生成ガス６と、を備える。ペルチェ素子１を外部電極２に密着して配置し、ペルチェ素子１の吸熱側の面を外部電極２に密着させる。一方、放熱側のペルチェ素子１の面は外部に開放されて大気と触れており、送風手段にて送風された冷却用の風（Ｆ）が放熱分を奪いペルチェ素子１を冷却する。 （もっと読む）

【課題】２２０ｎｍ以下の波長域を含む紫外線が放射される短波長紫外線放電灯において、被処理物の処理効率の低下を防止し、人体に安全で、運転操作の信頼性に優れた短波長紫外線放電灯及びそれを使用した紫外線照射処理装置を提供する。
【解決手段】短波長紫外線放電灯１００の管体３１の外を引き回されるリード線６０が、フッ素樹脂押し出し成形絶縁体で被覆された絶縁導体上に金属製の外装部材を有する。紫外線照射処理装置は、この短波長紫外線放電灯１００を、２２０ｎｍ以下の波長域に透光性を有する透光管に内挿してなる。 （もっと読む）

【課題】 光源から放出される光線のエネルギーを無駄にすることなく、照射対象物の温度コントロールのために有効に活用することが可能な紫外線照射装置の実現を目的とする。
【解決手段】 紫外線を含んだ光を放射する紫外線ランプ１と、この紫外線ランプ１からの光を紫外線とそれ以外の光線に分離するコールドミラー２と、このコールドミラー２で分離された紫外線以外の光線を吸収する光吸収板４と、この光吸収板４の光線吸収に伴う温度上昇の結果、発生する赤外線と、コールドミラー２で分離された紫外線とを照射対象物に照射し、紫外線によってワーク５表面の処理を行うとともに、赤外線によってワーク５の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法を提供する。
【解決手段】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法は、（ｉ）ＵＶ照射チャンバーに設けられた光透過窓を透過したＵＶ光で基板を照射することを完了した後に、ＵＶ照射チャンバー外でクリーニングガスのラジカル種を発生させる工程と、（ii）ＵＶ照射チャンバーの外部からＵＶ照射チャンバー内へラジカル種を導入することによって、光透過窓をクリーニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】
外部電極を不要にしてランプ構造の簡素化を図った誘電体バリア放電ランプ装置およびこれを備えた紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】
誘電体バリア放電ランプ装置は、紫外線透過性の材料からなる細長い管状をなす気密容器１、気密容器内に封入したエキシマ生成ガス、気密容器内にその管軸方向のほぼ全長にわたって配設された長い内部電極２を備え、互いに密接して隣接する複数の誘電体バリヤ放電ランプ１０Ａ、１０Ｂと、複数の誘電体バリヤ放電ランプの内部電極間に電圧を印加する高周波点灯回路１１とを具備し、互いに密接して隣接する複数の誘電体バリヤ放電ランプの内部電極間に印加された電圧によってそれぞれ一方の誘電体バリヤ放電ランプから見て他方の誘電体バリヤ放電ランプの内部電極が外部電極として機能して気密容器内に誘電体バリヤ放電が生起する。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射装置にて発生した光から不要な波長の光を遮断し、有効な光のみを対象物に照射する。
【解決手段】紫外線を発光して照射するためのランプ１と、ランプ１より発光した紫外線を反射して所定の方向へ向けるためのリフレクタ２と、ランプ１で発光した光のうち不要な波長の光を遮断するためのフィルタ３と、フィルタ３を透過した紫外線が照射される対象物４と、を備える。ランプ１より紫外線が照射され、吸収型フィルタにより構成されたフィルタ３により、入射光の角度依存性を示すことなく所望の波長以下の光が遮断され、所望とする波長の光のみが対象物４に照射される。 （もっと読む）

【課題】 空冷制御方式の紫外線照射装置において、光源収納室外の空気だけを利用した空冷とヒーターを利用した加熱とによって紫外線ランプのランプベースの温度を効率的に制御する。
【解決手段】 ランプベースの温度調整を行う温調機構は、光源収納室内でランプベースに接触する熱伝達部と、光源収納室を構成する外壁を貫通し光源収納室外に突き出して形成された突出部とを有する金属製温調ブロックと、光源収納室外に配置され該温調ブロックの突出部に光源収納室外の空気を吹き付ける冷却ファンと、該温調ブロック内部に設置されその部位の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出温度に基づいて冷却ファンを駆動させる温度制御回路とから構成する。 （もっと読む）

【課題】この発明が解決しようとする課題は、エキシマ光を利用した液晶パネル用ガラス基板等の洗浄装置において、効率の良い洗浄を行い、大型基板に対しても洗浄ムラを少なくすることのできるエキシマ光照射装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のエキシマ光照射装置は、複数のエキシマランプを並列配置したランプハウス内に少なくとも窒素等の不活性ガスを含むガスを噴出するブロー管を備え、該ブロー管と該エキシマランプ上面部分と該ランプハウスの仕切壁とで囲まれる第一の置換空間と、該ブロー管と該エキシマランプ下面部分と搬送される基板とで囲まれる第二の置換空間を備え、該ブロー管から該第一の置換空間に向かって不活性ガスを噴出することによって該第一の置換空間を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機能性微粒子をデバイス等に応用する場合に必用となる微粒子の高次構造（集
合体）を作製する。
【解決手段】
ナノメーターオーダーの微粒子が分散した微粒子分散液に光を照射して、微粒子の集合
体を作製する。微粒子分散液と固体基板を接触させて、この接触近傍に光を照射して固体
基板上に微粒子集合体を固着させる。使用する光の光回折限界（数百ｎｍ以下）程度を最
小単位とする微細な微粒子集合体の作製する。照射する光の波長、強度、照射時間等を調
節することで、特定の微粒子のみの集合体を作ることができる。
（もっと読む）

【課題】照射雰囲気における空気循環を効果的に行うことができる光照射装置を提供すること。
【解決手段】紫外線照射装置は、ランプユニットと、ワークを載置するためのステージ２０と、ステージ２０をランプユニットに対して走査させる走査機構とを備えている。載置面２１には排気口２５が配設されている。排気口２５は吸引ポンプに連通されており、載置面２１上のワークに紫外線が照射される状態において、照射雰囲気の空気を強制排気する。 （もっと読む）

【課題】ワークに照射される光量のばらつきを抑えることができる光照射装置を提供すること。
【解決手段】紫外線照射装置は、ランプユニットと、ワークを載置するためのステージ２０と、ステージ２０をランプユニットに対して走査させる走査機構とを備えている。載置面２１には、個々のワークの載置領域に対応して、吸引口２３と溝部２４が設けられている。吸引口２３は吸引ポンプに連通されており、ワークを載置面２１に吸着させる役割を果たす。また、溝部２４は、載置面２１においてワークの外縁に対応する領域に溝状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】排気ガスの有害な成分の低減または無害化効果が充分にあり、しかも自動車の燃費の改善効果も高い自動車の排気ガスの清浄化方法とし、また可及的に簡単な構造で軽量化可能であり燃費改善にも効果の高い排気ガスの清浄化装置とすることである。
【解決手段】自動車のエンジンルーム内におけるラジエータ１の金属製の放熱部２に紫外線が照射されるように紫外線ランプ３を設け、紫外線ランプ３は放熱部２を形成するアルミニウム等の金属が光電効果を起す限界波長以下の紫外線を含む光電子活性紫外線を照射可能である紫外線ランプ３である自動車の排気ガスの清浄化装置とする。 （もっと読む）

【課題】 基板の大型化に好適に対応できると共にランニングコストを低減でき、基板表面の処理を確実に行うことができる、エキシマランプ装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係るエキシマランプ装置は、エキシマランプが収納されたランプハウスと、ランプハウス内に配置されてエキシマランプに対して平行かつ交互に位置されたガス噴出口が設けられてなるガス供給用配管と、ガス供給用配管に水蒸気を含む不活性気体を導入するガス供給手段とを具備し、前記ガス供給手段により絶対湿度が所定に制御された不活性気体が前記ガス供給用配管に供給されることを特徴とする。また前記絶対湿度は重量絶対湿度に換算して０．５〜６．５ｇ／ｋｇであるのがよい。 （もっと読む）