【課題】引張強度の向上した膨張黒鉛シートを提供する。また、引張強度の向上した膨張黒鉛シートを炭素質ルツボの中敷として使用することにより、作業時間が格段に低減し、しかも、シートを破損することなくルツボの内面に隙間なく覆うことが可能であると共に、ルツボの大型化にも適した炭素質ルツボの保護方法並びに単結晶引き上げ装置を提供する。
【解決手段】膨張黒鉛シート１０は、膨張黒鉛材料からなる基材１１の少なくとも片面に、炭素繊維からなる補強材１２が積層状に形成されていることを特徴とする。上記膨張黒鉛シート１０を、石英ルツボと該石英ルツボが載置される炭素質ルツボとの間に介在させて炭素質ルツボの内面を覆う中敷に使用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属坩堝を１０００℃以上の高温で使用するための坩堝炉において、高温時の坩堝近傍の雰囲気を制御すると共に、ルツボ内の温度制御の精密化、ルツボの長寿命化が可能となる坩堝炉を提供する。
【解決手段】１０００℃以上の高温において、金属坩堝４中で化合物の処理を行うための坩堝炉であって、坩堝４の周辺に耐熱性で着脱可能な薄い緻密質セラミックスからなる第一のスリーブ１を置き、該第一のスリーブ１の外側に断熱材からなる第二のスリーブ２並びに加熱装置３を置いたことを特徴とする坩堝炉である。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引上げに用いられる石英ルツボを内側に装入して保持するカーボンルツボであって、強度特性に優れ、かつ、耐久性を向上させた炭素繊維強化炭素複合材ルツボを提供する。
【解決手段】周縁部に湾曲部１を有する底部２と、湾曲部１から上方に延びる直胴部３とを有する炭素繊維強化炭素複合材ルツボにおいて、少なくとも湾曲部１において、ルツボ最内層及び最外層が炭素繊維織物の積層体１１，１２からなり、これらの積層体１１，１２の間に少なくとも１層の膨張黒鉛シート２１が挟み込まれている構成とする。 （もっと読む）

【課題】長寿命化を可能とした単結晶引き上げ装置用黒鉛ルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】石英ルツボ１を保持する黒鉛ルツボ２は、黒鉛ルツボ成形体としての黒鉛ルツボ基材３と、黒鉛ルツボ基材３の表面全体に形成された熱分解炭素被膜４とから構成されている。被膜４は黒鉛ルツボ基材３表面に存在する開気孔の内面まで生成されている。この被膜４はＣＶＩ法によって形成されたものである。被膜４形成は、黒鉛ルツボの表面の全体に限らず、ＳｉＣ化が進みやすい部分のみであってもよい。例えば、ルツボの内面だけ全体的に析出させるとか、内面のうち湾曲部（小Ｒ部）のみに、又は湾曲部と直胴部のみに析出させることも可能である。 （もっと読む）

【課題】長寿命化を可能とした単結晶引き上げ装置用黒鉛ルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】石英ルツボ１を保持する黒鉛ルツボ２は、黒鉛ルツボ成形体としての黒鉛ルツボ基材３と、黒鉛ルツボ基材３の表面全体に形成されたフェノール樹脂の炭素化物からなる被膜４とから構成されている。フェノール樹脂は黒鉛ルツボ基材３表面に存在する開気孔５の内部まで含浸されている。被膜４の形成は、黒鉛ルツボの表面の全体に限らず、ＳｉＣ化が進みやすい部分のみであってもよい。例えば、ルツボの内面だけ全体的に析出させるとか、内面のうち湾曲部（小Ｒ部）のみに、又は湾曲部と直胴部のみに析出させることも可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体材料あるいは太陽電池材料等の単結晶あるいは多結晶を製造する装置において溶融材料を収容する石英ガラスルツボを支持、保持するために用いられる炭素ルツボであって、石英ガラスルツボを支持し変形を防止できるとともに、冷却後に石英ガラスルツボを容易に取り外すことができる炭素ルツボを提供する。
【解決手段】ルツボ底部を構成する架台部２と、架台部２に載置または嵌挿される筒状体３とを備えた炭素ルツボ１であって、架台部２が黒鉛材からなり、筒状体３は炭素繊維織布４が積層された炭素繊維強化炭素複合材からなり、筒状体３の一端部から他の一端部にかけて不連続部Ｆが設けられており、不連続部Ｆにおいて筒状体３の軸線に垂直な方向の少なくとも一部に炭素繊維強化複合材が存在し、かつ筒状体３の周方向に拘束力を発揮する構造を有する。 （もっと読む）

【課題】網状体の寿命の向上、石英ルツボからの外れ易さ、網状体への食い込み防止等に加えて、特に、融液の流れの乱れに起因した金属結晶の品質の低下を防止することができるルツボ保持部材を提供する。
【解決手段】直胴部９と受け皿部１０とが組み合わされ、金属単結晶引上げ装置に使用される石英ルツボ４を保持するルツボ保持部材であって、直胴部９は、炭素繊維強化炭素材から成り網状に織り込まれた網状体で構成され、石英ルツボ４と直胴部９との間には、少なくとも直胴部９の内面全体を覆うように黒鉛質シート１１が配置されている。黒鉛質シート１１は膨張黒鉛シートであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】直胴部と受け皿部との境界部分からのＳｉＯガスの漏洩を防止し、ＳｉＣ化の早期進行を防止するようにしたカーボン製ルツボを提供する。
【解決手段】シリコン等の金属単結晶引上げ装置に使用される石英ルツボ４を保持するためのカーボン製ルツボ５であり、直胴部９と受け皿部１０とが分割されて構成されている。石英ルツボ４とカーボン製ルツボ５との間には、カーボン製ルツボ５の内面の、少なくとも直胴部９と受け皿部１０との境界部分Ａを覆うように、黒鉛質シート１１が配置されている。黒鉛質シート１１は膨張黒鉛シートである。 （もっと読む）

【課題】高強度でかつ耐熱性の高いＣ／Ｃ複合材からなるＣ／Ｃ複合材成形体を提供する。
【解決手段】炭素繊維１と炭素質マトリックス２とを含むＣ／Ｃ複合材成形体１００であって、このＣ／Ｃ複合材成形体は、表面が３次元曲面１００ａあるいは複数の面１００ａ，１００Ｔの組み合わせで構成され、全体の組成が均一である連続体からなる殻状構造体３であり、炭素繊維１は、その長手方向が表面に沿って配向していることを特徴とするＣ／Ｃ複合材成形体。 （もっと読む）

【課題】半導体材料あるいは太陽電池材料等の単結晶あるいは多結晶を製造する装置において溶融材料を収容するルツボを支持、保持するために用いられる炭素繊維強化炭素複合材ルツボであって、底部湾曲部において、皺あるいは重ね合わせの段差部分をなくし、耐久性を向上させた炭素繊維強化炭素複合材ルツボを提供する。
【解決手段】周縁部に湾曲部を有する底部３と、前記底部湾曲部から上方に延びる直胴部２とを有する炭素繊維強化炭素複合材ルツボ１であって、前記底部３と直胴部２が、炭素繊維の縦糸と横糸とを交互に織り上げた炭素繊維織布１１，１２，１３（１０）を複数枚、貼り合わせることにより形成されると共に、前記底部湾曲部に位置する炭素繊維織布の縦糸と横糸の軸線が、ルツボ周方向に対し斜め方向に形成されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性にすぐれたシリコン単結晶製造装置用ルツボ保護シートを提供する。
【解決手段】黒鉛ルツボと石英ルツボとの間に配されるルツボ保護シート２１は、黒鉛シート材２２と、この黒鉛シート材２２の一面に形成された炭化ケイ素層（ＳｉＣ層）２３とからなり、黒鉛シート材２２は、膨張性黒鉛、例えば、炭素繊維を含む。前記ルツボ保護シート２１は、複数回の単結晶製造工程に渡って反復利用することが可能となるので、シリコン単結晶製造のコストや廃棄物の減量による環境負荷の低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】強度向上が可能となり、周方向に強い張力が働いたときにも形状が安定し、しかも、ほつれによる開口部の強度低下が生じない、シリコン単結晶引上げ装置用のＣ／Ｃ複合材製ルツボ保持部材を提供する。
【解決手段】炭素繊維からなるストランドを軸線Ｌに対して斜めに織り合わせて中空のメッシュ体１３を形成し、このメッシュ体１３の軸線方向の一方側１７を、一周部１９を境に内方又は外方へ折り返し他方側と重ねて二重の開口部２３を形成し、且つメッシュ体１３の炭素繊維間にマトリクスを充填した。メッシュ体１３は、軸線Ｌに対して傾斜する第一ストランドと、第一ストランドと同角度で逆方向に傾斜する第二ストランドとを有することが好ましい。また、メッシュ体１３は、軸線Ｌと同一面内で織り合わされる縦ストランドを含むものであってもよい。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引き上げ装置に用いられる、高強度なルツボ受け皿を得る。
【解決手段】ルツボ受け皿の基材をＣ／Ｃコンポジットにより形成し、さらには基材の一部もしくは全面に熱分解炭素を含浸するとともに被膜を形成したこと。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定し、しかも、熱伝導性の良好なルツボ保持部材及びその製造方法を得る。
【解決手段】高温の溶融物を収容するルツボを保持するためのルツボ保持部材１００であって、ルツボ保持部材１００は、複数の炭素繊維からなるストランドを、軸線に対して斜めに配向するように織り合せて形成した、有底カゴ状のメッシュ体１３と、炭素繊維間に充填されたマトリックスと、メッシュ体１３の内周面に形成されルツボの外周面に密接する平滑面を有した炭素質層１５とで構成される。炭素質層１５は、炭素前駆体となる樹脂材に炭素骨材を含んで形成されることが好ましい。メッシュ体１３は、メッシュ体１３の軸線Ｌに対して所定の傾斜角度で配向する第一ストランドと、第一ストランドと同角度で逆方向に配向する第二ストランドとを有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】小型のＣＩＰ装置で製造可能であり、周方向に強い張力が働いたときにも形状が安定し、しかも、クラックが入った場合であっても操業が継続できるルツボ保持部材を得る。
【解決手段】軸線Ｌと平行な縦方向に分割され放射状に配置された複数の黒鉛分割片１３からなる石英ルツボ受け部１５と、環状に形成され石英ルツボ受け部１５の胴部１７に嵌められて石英ルツボ受け部１５を円周方向に集結させる外嵌部材１９とを備え、外嵌部材１９が、炭素繊維からなるストランドを軸線Ｌに対して斜めに織り合わせたメッシュ体で形成され、且つメッシュ体の炭素繊維間にマトリクスを充填した。メッシュ体は、軸線に対して傾斜する第一ストランドと、第一ストランドと同角度で逆方向に傾斜する第二ストランドとを有することが好ましい。メッシュ体は、軸線直交面内の周方向のストランドを有しないことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】シリコンの製造に使用される内側るつぼの損傷を防止し、かつ、外側るつぼのＳｉＣ化を抑制することができ、外側るつぼから内側るつぼに均一に熱を伝えることができる膨張黒鉛シートの使用方法及びこの使用方法を用いたシリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】石英製の内側るつぼ２と黒鉛製の外側るつぼ３を有するるつぼ１において、両るつぼの間に、ガス透過率が１．０×１０^−４ｃｍ^２／ｓより小さく、熱伝導率が１２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である膨張黒鉛シート４を配設する。これによりガス遮蔽性が保たれ、るつぼの均一加熱が可能となる。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定した容器保持部材を提供する。
【解決手段】シリコン融液を収容する石英ルツボを保持するものであり、複数の炭素繊維からなるストランド２２を、中心軸Ｌに対して斜めに配向するように織り合せて形成した、有底カゴ状のメッシュ体２０と、炭素繊維間に充填されたマトリックスとで構成されている。メッシュ体２０は、メッシュ体２０の中心軸Ｌに対して所定の傾斜角度θで配向するストランド２２Ａ，２２Ｂ、及び、メッシュ体２０の中心軸Ｌと同一面内に配向する縦ストランド２２Ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定したルツボ保持部材を提供する。
【解決手段】シリコン融液を収容する石英ルツボを保持するものであり、上下開口した中空のメッシュ体２０からなる。メッシュ体２０は、複数の炭素繊維を束ねてなるストランド２２を織り合せて形成され、メッシュ体２０の中心軸Ｌに対して斜めに配向するストランド２２Ａ，２２Ｂを有している。ストランド２２を構成する炭素繊維間にはマトリックスが充填されている。 （もっと読む）

【課題】充分な強度を確保しつつ、周方向に強い張力が働いたときにも形状の安定した容器保持部材を提供する。
【解決手段】有底カゴ状のメッシュ体１０と、メッシュ体１０をコーティングするマトリックスとで構成されている。メッシュ体１０は、複数の炭素繊維を束ねてなるストランド１２を織り合せて形成され、メッシュ体１０の中心軸Ｌに対して斜めに配向するストランド１２Ａ，１２Ｂを有している。さらに、メッシュ体１０の中心軸と同一面内に配向する縦ストランド１２Ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防止して作業性を向上し、かつ、外側るつぼのＳｉＣ化や減肉等の発生を防ぐことができ、また、ガス遮蔽性が保たれることにより、製品品質の低下を防ぐことができる。
【解決手段】内側るつぼ２と外側るつぼ３を有するるつぼ１において、両るつぼの間に膨張黒鉛からなるシート４を複数枚積層して配設する。 （もっと読む）