【課題】 レジスト溶剤への溶解性に優れ、ベーク温度依存性が少なく、また現像後のパターンのラインエッジラフネスを低減する。
【解決手段】 式（１）と、式（２）と、式（３）および／または式（４）とを含有することを特徴とする。【化１】 Ｒ、Ｒ’、Ｒ’’、およびＲ’’’は水素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基を、Ｒ^１は、水素原子、炭素数１〜４の直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、アルコキシ基、または、炭素数１〜４の直鎖状あるいは分岐状のフッ素化アルキル基を、Ｘは炭素数７〜２０の炭素原子および水素原子のみからなる多環型脂環式炭化水素基を、Ｒ^２およびＲ^３は相互に独立に炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基を、Ｒ^４は炭素数４〜２０の脂環式炭化水素基を、Ｒ^５は炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基を、Ｒ^６およびＲ^７は水素原子、または炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基をそれぞれ表す。 （もっと読む）

本発明は、リビングフリーラジカル重合技法によるフォトレジストポリマーの調製に関する。立体的にかさ高いエステルモノマーは、重合成分として利用される。連鎖移動剤の使用は重合処理条件に含まれる。ヘテロ原子を含むポリマー末端基の開裂について述べる。本発明のフォトレジスト組成物は、光酸発生剤と、式［Ａ］_ｘ［Ｂ］_ｙ［Ｃ］_ｚ（式中、Ａ、ＢおよびＣはそれぞれ個別に以下の構造の１つであり、式中、Ｂ≠Ｃという条件で、ｘは両方の数値を含めて約０〜約２００であり、ｙは両方の数値を含めて約１〜約２００、ｚは両方の数値を含めて約１〜約２００である）を含むポリマー樹脂を含む。
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本発明は、リビングフリーラジカル重合の技術によるフォトレジストポリマーの調製を対象とする。本発明は、一側面において、立体的に大きなエステルモノマーを、重合成分として利用する。連鎖移動剤を用いることは、重合プロセス条件に含まれる。ヘテロ原子を含むポリマーの末端基を切断することが記載されている。一側面において、本発明のポリマーはランダムコポリマーであり、バッチプロセスにてまたは半連続的な重合反応条件下で調製され得る。 （もっと読む）

本発明はリビングフリーラジカル重合技術によるフォトレジストポリマーの調製に関する。立体的にかさばるエステルモノマーが重合成分として用いられる。連鎖移動剤の使用が重合処理条件に含められる。ヘテロ原子を含むポリマー末端基の開裂が記される。本発明は、エッチングおよび／または他の露光後処理工程に耐えるのに十分な厚さでもありながらレジストの底部に光が透過するのを許容するように十分に薄い単層または多層薄レジストを製造するための物質および方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、電子（又は陽電子）捕獲解離を実行可能な質量分析器、タンデム質量分析法を実行する方法、電子捕獲解離を実行する方法、及び陽電子捕獲解離を実行する方法に関する。一実施形態においては、電子捕獲解離又は陽電子捕獲解離を実行可能な質量分析器が提供され、質量分析器は、第１の質量分析器と、第１の質量分析器の下流側の磁気トラップと、磁気トラップの下流側の第２の質量分析器と、磁気トラップに電子又は陽電子が供給されるように配置された電子源又は陽電子源とを具備する。
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【課題】 ニトロキサイド化合物存在下において、分子量、および分子量分布の制御が困難とされていたラジカル重合性単量体の重合を制御し、リビングラジカル重合を利用した新規材料開発の範囲を著しく広げる。
【解決手段】 メタクリル酸エステル単位と、スチレン誘導体単位またはアクリル酸エステル単位とを含む共重合体を重合する際に、一般式（３）〜（６）で示される化合物の少なくとも１種以上の存在下、メタクリル酸エステルを含む重合系に対して、少なくとも１種以上のスチレン誘導体またはアクリル酸エステルを分割して加えて、アルコキシアミン基を有する共重合体を製造する。 （もっと読む）

【課題】 照明用に好適の透明性、耐候性及び曲げ加工性に優れた光伝送用プラスチックロッドを提供する。
【解決手段】 コア及びコアより低屈折率のクラッドからなるプラスチック光伝送体において、コアが（メタ）アクリル単量体及び多官能性単量体を必須成分とし、重合収縮率が１０％以下となるような混合液から作製される光伝送用プラスチックロッド。 （もっと読む）