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Fターム[4J100CA06]の内容

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【課題】硬化後の透過率が高く、且つ加熱しても透過率の低下が小さい硬化膜が得られ、PEBを行わない場合でも、非常に高い感度を有する感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)アセタール系樹脂、(B)光酸発生剤、および、(C)溶剤を含み、該(A)アセタール系樹脂が、酸によりカルボキシル基を生成する構造を有する構造単位(a1)、カルボキシル基またはフェノール性水酸基を有する構造単位(a2)、エポキシ基またはオキセタニル基を有する構造単位(a3)、および水酸基またはアルキレンオキシ基を有する構造単位(a4)を含有し、(a1)〜(a4)の含有比率が、モル換算で、(a1):(a2):(a3):(a4)=0.2〜0.65:0.02〜0.2:0.2〜0.6:0.005〜0.3であり、且つ、該(A)アセタール系樹脂における(a4)の含有量が3〜30質量%の範囲である感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高感度で安定した感度で製造でき、コンタクトホールのパターニング性能やITOスパッタ耐性、耐熱透明性に優れる硬化膜を、スリットコートで製造する製造方法を提供すること。
【解決手段】感光性樹脂組成物を10℃以下の温度にする工程、感光性樹脂組成物を基板上にスリットコートする工程、塗布された感光性樹脂組成物から溶剤を除去する工程、溶剤を除去した感光性樹脂組成物を活性光線により露光する工程、室温で45秒以上経過させる工程、水性現像液により現像する工程、熱硬化する工程を含み、感光性樹脂組成物が、(成分A)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、架橋基を有する構成単位、カルボキシ基及び/又はフェノール性水酸基を有する構成単位を含有する共重合体、(成分B)光酸発生剤並びに(成分C)溶剤を含有する硬化膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 塗布欠陥、塗布膜厚均一性、PEBS性能に優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位(S1)と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位(S2)とを備えた繰り返し単位(A)を含む樹脂(P)と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、溶剤を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であり、前記溶剤として、下記X群およびY群に列挙された溶剤のうち少なくとも1種を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
(X群)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類、乳酸アルキルエステル類、アルコキシ酢酸アルキル類、アルコキシプロピオン酸アルキル類、ピルビン酸アルキル類、酢酸アルキルエステル;
(Y群)環状ラクトン類、アルキレンカーボネート類。 (もっと読む)


【課題】加飾成形品に優れた高硬度性及び耐スクラッチ性を付与すると同時に、より形状が複雑な成形品を得られる成形性を付与するインキ組成物及び該インキ組成物を用いた加飾シート、該加飾シートを用いた加飾成形品を提供する。
【解決手段】電離放射線硬化性官能基としてビニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基及びエポキシ基から選ばれる少なくとも一種を有するポリマー及びモノマーと、異形無機粒子の表面に反応性官能基を有する反応性異形無機粒子とを含むインキ組成物であって、該ポリマーの配合量が該ポリマーと該モノマーとの合計に対して5〜75質量%であり、該インキ組成物中の該反応性異形無機粒子の含有量が20〜60質量%であるインキ組成物、これを用いた加飾シート、及び該シートを用いた加飾成形品。 (もっと読む)


【課題】酸分解性基を含有するラクトン化合物を高収率で得ることができる製造方法、及び、レジスト性能が改善された感活性光線性または感放射線性樹脂組成物の製造方法を提供すること
【解決手段】下記一般式(IB)で表される化合物の製造方法であって、下記一般式(IA)で表される化合物を用いる製造方法。
【化1】


式中、Qは、重合性基を表す。Lは、mが2以上の場合は各々独立に、連結基を表す。Lcはラクトン構造を有する基を表す。Aは酸の作用により脱離する基、又は酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する基を有する基を表す。mは0以上の整数を表す。 (もっと読む)


【課題】薄膜で基板上に反射防止膜を形成していない場合であっても、段差のある基板上であっても、良好なパターン形状を有し、パターン変動幅の小さいレジスト膜を形成可能であり、かつ、良好な感度を有し、焦点余裕度及び露光余裕度にも優れた新規な感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、下記式(1)で表される構造単位を有する感放射線性樹脂組成物であり、感放射線性酸発生体を含有することが好ましい。
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【課題】破壊強度を良好に保ちながら、高さの異なる樹脂パターンを同時に製造する樹脂パターンの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る樹脂パターンの製造方法は、アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、光重合開始剤(C)、及び特定の波長領域の光を吸収する光吸収剤(D)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、上記感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、露光した上記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】加飾成形品に優れた高硬度性及び耐スクラッチ性を付与すると同時に、より形状が複雑な成形品を得られる成形性を付与するインキ組成物及び該インキ組成物を用いた加飾シート、該加飾シートを用いた加飾成形品を提供することを課題とする。
【解決手段】電離放射線硬化性官能基としてビニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基及びエポキシ基から選ばれる少なくとも一種を有するポリマー及びモノマーと、無機粒子の表面に反応性官能基を有する反応性無機粒子とを含むインキ組成物であって、該ポリマーの配合量が該ポリマーと該モノマーとの合計に対して25質量%以上であり、該インキ組成物中の該反応性無機粒子の含有量が20〜60質量%であるインキ組成物、これを用いた加飾シート、該シートを用いた加飾成形品である。 (もっと読む)


【課題】現像欠陥性能、液浸欠陥性能、及び限界解像力に優れ、且つ良好な形状を有したパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルコール性ヒドロキシ基を生じる基を備えた第1繰り返し単位を含み且つ酸の作用により有機溶剤を含んだ現像液に対する溶解度が減少する樹脂と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、疎水性樹脂とを含有している。 (もっと読む)


【課題】低色分散、高光線透過率等の優れた光学特性を有し、光学レンズ・プリズム材料に求められる種々の特性バランスに優れ、湿熱条件のような厳しい実使用条件でも、屈折率の分岐を生じることなく、高度の光学特性を維持した共重合体とその製造方法を提供する。
【解決手段】脂環式構造を有する単官能(メタ)アクリル酸エステル(a)、アルコール性水酸基を有する単官能(メタ)アクリル酸エステル(b)、2官能(メタ)アクリル酸エステル(c)と、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(d)を含む成分を共重合して得られる共重合体であって、側鎖に2官能(メタ)アクリル酸エステル由来の反応性の(メタ)アクリレート基を有し、末端に2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン由来の構造単位を有する可溶性多官能(メタ)アクリル酸エステル共重合体である。 (もっと読む)


【課題】耐溶剤性及び耐熱透明性に優れる硬化膜が得られ、高い感度を有するとともに、露光量の変化に対するパターン形状の変化が小さい感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法、有機EL表示装置、並びに、液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(A)酸によりカルボキシ基を生成する式(Ia)で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式(Ib)で表される構造を有するモノマー単位(a1)、酸によりカルボキシ基を生成する式(IIa)で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式(IIb)で表される構造を有するモノマー単位(a2)、並びに、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a3)、を含有する重合体、(B)光酸発生剤、並びに、(C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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【課題】撥インキ剤の相溶性に優れ、製膜後の表面外観ならびにパターン形状が良好であり、表面撥インキ性に優れる一方で、通常の洗浄や時間が経過しても表面撥インキ性を維持することができるアルカリ現像感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】撥インク剤としての含フッ素樹脂(A)と、波長300〜450nmの紫外光に反応するアルカリ現像可能な感光性成分とを含んだアルカリ現像性感光性樹脂組成物であって、含フッ素樹脂(A)が、所定のランダム又はブロック共重合体であると共に、平均分子量Mwが2000〜20000の範囲であり、また、溶剤を除いた合計成分100質量部に対する含フッ素樹脂(A)の割合が、0.05〜1質量部であることを特徴とするアルカリ現像性感光性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】反応性ポリマー界面活性剤を利用した粒子懸濁液を安定化する方法、及び該方法によって得られる粒子懸濁液を提供することを目的とする。
【解決手段】実質的に混和しない有機溶媒が含まれた水相を含んでいて、その水相には、その水相に実質的に溶けない固体農薬が懸濁されている粒子懸濁液の安定性は、(i)少なくともいくつかのビニルモノマーは架橋反応することのできる官能基を有する複数のビニルモノマー(ビニルエステルまたはその加水分解生成物には限られない)を重合することによって親水部と疎水部を備えるポリマー安定剤を形成し、(ii)そのポリマー安定剤を、水相に含まれていて(溶解または懸濁していて)上記官能基と架橋することのできる1種類以上の物質と反応させる操作によって向上する。ただし(a)架橋前のポリマー安定剤と(b)懸濁させた農薬の重量比は、懸濁させた農薬5部に対してポリマー安定剤が1部未満である。 (もっと読む)


【課題】高い感度を有し、高い透明性及び優れたITOスパッタ耐性を有する硬化膜が得られる感光性樹脂組成物、高い透明性及び優れたITOスパッタ耐性を有する硬化膜及びその製造方法、並びに、かかる硬化膜を層間絶縁膜として具備する有機EL表示装置及び液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(A)酸によりカルボキシ基又はフェノール性水酸基を生成する残基を有するモノマー単位(a1)、及び、末端にエチレン性不飽和結合を有する炭素数3〜16の基を有するモノマー単位(a2)を含有し、重量平均分子量が1,000より大きい重合体、(B)光酸発生剤、並びに、(C)溶媒を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法、有機EL表示装置、並びに、液晶表示装置。 (もっと読む)


【課題】エッチング耐性及びPEDに対する安定性に優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルコール性ヒドロキシ基を生じる基を備えた繰り返し単位を含んだ樹脂と、活性光線又は放射線の照射によりpKa≧−1.5の酸を発生する化合物とを含有している。 (もっと読む)


【課題】耐薬品性等の安定性、親水性及び溶媒に対する溶解性に優れる高機能性高分子化合物の提供。
【解決手段】高分子化合物は、下記式(I-2)


[X2はメチレン基、酸素原子又は硫黄原子を、n1は1又は2を示す。]で表されるモノマー単位等を有する。 (もっと読む)


【課題】優れた解像度を有するパターンを形成することができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表されるモノマーに由来する構造単位を有する樹脂と、式(B1)で表される塩を有効成分とする酸発生剤とを含有するレジスト組成物。[R〜Rは脂肪族炭化水素基を表すか、又はR及びR並びにR及びRは、互いに結合して環を形成する。Rは水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよいアルキル基を表す。Tは2価の飽和炭化水素基を表す。mは0又は1を表す。]
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【課題】ラフネス特性、露光ラチチュード(Exposure Latitude)、及び現像欠陥性能の改善、並びに、定在波の抑制を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位(S1)と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位(S2)とを備えた繰り返し単位(A)を含んだ樹脂(P)と、酸の作用により脱離する基を備え且つ下記一般式(C−I)より表される化合物、又は、酸の作用により脱離する基を備え且つ前記一般式(C−I)により表される化合物の複数が連結基を介して結合された構造を有する化合物とを含有している。
【化1】
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【課題】露光ラチチュード、フォーカス余裕度及びパターン形状の改善、並びに、定在波の抑制を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位(S1)と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位(S2)とを備えた繰り返し単位(A)を含んだ樹脂(P)と、下記一般式(1)乃至(5)の何れかにより表される化合物(Q)とを含有している。
【化1】
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【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネス(LER)を有するパターンを形成することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される化合物。


[式中、Wは飽和炭化水素環を表し、該環に含まれる−CH−は、−O−、−SO−又は−CO−で置き換わっていてもよい;Aは、単結合又は2価の飽和炭化水素基を表し、前記基に含まれる−CH−は、−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい;Rは、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基を表す。] (もっと読む)


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