【課題】半導体や各種造形物または各種切削工具等の目的物の表面に薄膜をコーティングする場合、その薄膜の組成比を薄膜の深さ方向に連続的に変化させることはもちろん、その用途によって組成比を選択して薄膜を蒸着させることで、薄膜の蒸着特性を向上させる拡散薄膜蒸着方法及び装置を提供する。
【解決手段】
一つ以上の薄膜物質を目的物に誘導及び蒸着するため、バイアス電圧、ガス量、アークパワー及びスパッタリングパワーの内いずれか１個以上の工程要素の値を、連続的に変化するように印加し、目的物表面のイオン衝突エネルギーを変化させることで拡散薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式Ｔｉ（Ｃ_１−Ｘ Ｎ_Ｘ ）（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．９８）を満足するＴｉの炭窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１１２＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示す改質Ｔｉ炭窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】 高速切削加工において、硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、硬質被覆層として（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（但し、Ｍは、Ｚｒ、Ｙ、Ｖ、Ｗ、Ｎｂ、ＭｏまたはＴｉから選ばれる１種または２種以上の元素）が蒸着形成され、該（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層は、立方晶構造からなる薄層Ａと、立方晶構造と六方晶構造の混在する薄層Ｂの交互積層構造からなる。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性を有した硬質皮膜被覆工具を提供する。
【解決手段】基材上にＴｉＣ_{（１−ｅ）}Ｎ_ｅからなり、Ｎの原子比ｅが０．５≦ｅ≦１である第１の硬質皮膜を被覆し、その上に（Ａｌ_ａＴｉ_ｂＣｒ_ｃ）（Ｃ_１−ｄＮ_ｄ）からなり、０．２≦ａ≦０．４５、０．５≦ｂ≦０．７５、０．０２≦ｃ≦０．２、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、０．５≦ｄ≦１となる第２の硬質皮膜を被覆する。また、第２の硬質皮膜表面のＸ線回折を行い、（２００）結晶面のピーク高さをｈ（２００）とし、（１１１）結晶面のピーク高さをｈ（１１１）としたときに、１≦ｈ（２００）／ｈ（１１１）≦１０とする。
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【課題】 微細な硬質相組織を有し、高い抗折強度を有するとともに、試料間の特性バラツキを小さくしたサーメット製スローアウェイチップを得る。
【解決手段】 Ｃｏおよび／またはＮｉを主体とする結合相：１〜３０質量％と、Ｔｉと、Ｔｉ以外の周期律表４ａ、５ａおよび６ａ族金属のうちの１種以上との複合金属炭窒化物からなる硬質相７０〜９９質量％からなり、前記硬質相の平均粒径が１．５μｍ以下であるとともに、前記サーメットから切り出された抗折試験片の抗折強度測定後の破面にて観察される破壊源の５０％以上が、一部または全部の表面がＣｏおよび／またはＮｉの溶出層にて覆われたボイドからなるサーメット製スローアウェイチップを作製する。 （もっと読む）

本発明は、アークソースを作動させる方法に関するものであり、電気火花放電がターゲット（５）の表面で点火または作動し、火花放電には、直流電圧ＤＶが割り当てられた直流電流と、周期的に印加される電圧信号によって生成されるパルス電流とが同時に供給される。このときアークソースの電圧は数マイクロ秒のうちに上昇し、または、電圧信号の信号形状は実質的に自由に調整可能である。
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【課題】 高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、下部層は、（Ｔｉ，Ａｌ）系複合窒化物あるいは複合炭窒化物層からなり、上部層は、（Ｃｒ，Ａｌ）系複合窒化物層であって、かつ、該上部層は、立方晶構造からなる薄層Ａと、立方晶構造と六方晶構造の混在する薄層Ｂの交互積層構造として構成されている。 （もっと読む）

【課題】 高速切削加工において、硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、硬質被覆層は、（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層または（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（但し、Ｍは、ＳｉまたはＢから選ばれる１種または２種の元素）を備え、該（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層は、立方晶構造からなる薄層Ａと、立方晶構造と六方晶構造の混在する薄層Ｂの交互積層構造からなる。 （もっと読む）

【課題】 高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、下部層は、（Ｔｉ，Ａｌ）系複合窒化物あるいは複合炭窒化物層からなり、上部層は、（Ｃｒ，Ａｌ）系複合窒化物層であって、かつ、該上部層は、立方晶構造からなる薄層Ａと、立方晶構造と六方晶構造の混在する薄層Ｂの交互積層構造として構成されている。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐ピッチング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、層厚方向に沿って、Ａｌ最高含有点とＣｒ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在するＡｌとＣｒの複合窒化物層、（ｂ）上部層として、組成式：（Ａｌ_１−ＸＣｒ_Ｘ）Ｎ_Ｙにおいて０．２≦Ｘ≦０．４、０．５≦Ｙ＜１（Ｘ、Ｙは原子比）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層表面におけるＹ値が、０≦Ｙ≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒの複合窒化物層、を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】
成膜時の蒸発速度、成膜速度が高く、導電性および透明性に優れ、さらには耐湿性に優れた緻密なＺｎＯ膜を形成するＺｎＯ蒸着材とその製造方法を提供する。
【解決手段】
透明導電膜の成膜に用いられるＺｎＯ蒸着材であって、ＣｅおよびＡｌを含み、Ｃｅ含有量がＡｌ含有量より多く、Ｃｅ含有量が０.１〜１４.９質量％の範囲内およびＡｌ含有量が０.１〜１０質量％の範囲内であるＺｎＯ多孔質焼結体を主体とし、該焼結体が３〜５０％の気孔率を有することを特徴とし、好ましくは、ＣｅとＡｌの合計含有量が０.２〜１５質量％、平均気孔径０.１〜５００μｍ、平均結晶粒径１〜５００μｍのＺｎＯ蒸着材であるＺｎＯ多孔質焼結体とその製造方法。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐ピッチング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ａｌ_{１−α−β}Ｃｒ_αＭ_β）Ｎ_γで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、（ｂ）上部層として、組成式：（Ａｌ_{１−α−β}Ｃｒ_αＭ_β）Ｎ_δで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１を満足する平均組成を有し、かつ、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、を蒸着形成する。 （もっと読む）

アノード（９）とカソード（７＝との間の真空プラズマ放電を用いてワークピースまたは基板の表面を処理し、このような処理により、アノード材料の直流インピーダンス比よりも高い直流インピーダンス比を有する固体（１９）がアノード表面（２１）上に形成および堆積する場合、当該アノード表面の少なくともある部分を、遮蔽プラズマ（２５）を当該部分に確立することにより、このような堆積物から遮蔽する。
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【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメット、ｃＢＮ基超高圧焼結材料で構成された工具基体の表面に、１〜１０μｍの平均層厚を有する硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、その表面研磨面の法線に対して、｛１００｝面の法線がなす傾斜角を測定して作成した傾斜角度数分布グラフにおいて、３０〜４０度の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数合計が、全体の６０％以上であり、かつ、組成式：（Ａｌ_{１−Ｘ−Ｙ}Ｃｒ_ＸＴｉ_Ｙ）Ｎを満足する（但し、原子比で、０．３≦Ｘ≦０．６、０．１≦Ｙ≦０．３）ＡｌとＣｒとＴｉの複合窒化物層から構成されている。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメット、ｃＢＮ基超高圧焼結材料で構成された工具基体の表面に、１〜１０μｍの平均層厚を有する硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、その表面研磨面の法線に対して、｛１００｝面の法線がなす傾斜角を測定して作成した傾斜角度数分布グラフにおいて、３０〜４０度の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数合計が、全体の６０％以上であり、かつ、組成式：ＴｉＣ_ＸＮ_１−Ｘを満足する（但し、原子比で、０．２≦Ｘ≦０．５）Ｔｉの複合炭窒化物層から構成されている。 （もっと読む）

【課題】低コストであり、且つ、摺動面に形成されたイオンプレーティング皮膜の耐剥離性と母材の耐摩耗性が良好な摺動部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｃ：０．５０〜０．６０質量％、Ｓｉ：１．２０〜１．６０質量％、Ｍｎ：０．５０〜０．８０質量％、Ｃｒ：０．５０〜０．８０質量％、Ｃｕ：０．２０質量％以下、Ｐ：０．０３質量％以下、Ｓ：０．０３質量％以下、残部：鉄及び不可避不純物からなる母材、又は、Ｃ：０．６９〜０．８１質量％、Ｓｉ：０．１５〜０．３５質量％、Ｍｎ：０．３０〜０．９０質量％、Ｐ：０．０３質量％以下、Ｓ：０．０３質量％以下、残部：鉄及び不可避不純物からなる母材の少なくとも摺動面に、イオンプレーティング皮膜を形成する摺動部材の製造方法であって、そのイオンプレーティング皮膜の形成時の処理温度を４００℃以上４８０℃以下の範囲内とすることにより、上記課題を解決する。こうして得られたピストンリングは、その母材のビッカース硬度が４５０ＨＶ０．１以上である。 （もっと読む）

【課題】高温であっても耐摩耗性を発揮することができる耐摩耗性皮膜およびこれを備えた工具、並びに、高温での耐摩耗性に優れた皮膜を製造するための装置を提供する。
【解決手段】基材上に形成され、金属窒化物とされた表層を備えた耐摩耗性皮膜であって、前記表層上に該表層を皮膜する最表層が設けられ、該最表層が、炭素が固溶された少なくともＬｉとＡｌとを含む複合酸化物であることを特徴とする耐摩耗性皮膜。 （もっと読む）

【課題】酸化タングステン材料を利用することによりマイクロメートル領域の形状を持つ金型部品の耐久性を向上し、それを用いた微小部品生産を実現する。
【解決手段】微細加工用超硬材料工具は、加工工具部の材料が炭化タングステンを主材料とした超硬材料からなり、その表面に２０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の厚さを持つ酸化タングステン５を主材料とした薄膜構造２を持たせ、酸化タングステン５を主材料とした薄膜構造２は、単結晶、多結晶構造及びアモルファス構造６のいずれか１つ、又は単結晶、多結晶構造及びアモルファス構造６の混合状態からなり、酸化タングステンを主材料とした薄膜構造は、酸化触媒効果を持つ金ナノ粒子７を含有し、打ち抜き用金型工具、絞り用金型工具、曲げ用金型工具のいずれかとして使用される。 （もっと読む）

【課題】被膜内部および被膜表面のマクロ粒子を減少させて、被膜の穴、ボイド、ポアの量を低減することで、クレーター摩耗、逃げ面摩耗、フリッティングを低減し、かつ、フリッティングやスポーリングを生じないで厚いＰＶＤ被膜を堆積させることができる、被膜付き切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】基材を用意する工程と、該基材上に陰極アーク蒸発ＰＶＤ堆積法で被膜を堆積させる工程とを含み、該被膜は窒化物、酸化物、硼化物、炭化物、炭窒化物、炭酸窒化物またはこれらの組合せである、被膜付き切削工具を製造する方法において、
上記堆積工程において、該被膜に別個の中間イオンエッチングを１回以上施す。 （もっと読む）

【課題】本発明は半導体の製造及び各種の成形材料の表面コーティングに使われる電圧可変型薄膜蒸着装置及び方法を提供する。
【解決手段】
本発明に係る電圧可変型薄膜蒸着方法は、薄膜物質を目的物に誘導及び蒸着するバイアス電圧の大きさを、使用者により設定された時間中に連続的に可変して印加するようにした。また、本発明に係る電圧可変型薄膜蒸着装置は、薄膜物質を目的物に誘導及び蒸着させるためのバイアス電圧を出力する電圧供給部と、前記出力されるバイアス電圧の大きさが使用者により設定された時間中に連続的に可変されるように前記電圧供給部とを制御する制御部を含むことを特徴とする。 （もっと読む）