【課題】溶着現象を抑制した耐摩耗性及び耐高温酸化特性を持つ多層皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】基材２表面に硬質皮膜１を２層以上被覆した多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜１は外層である第１硬質皮膜４と、内層である第２硬質皮膜３を有し、該第１硬質皮膜４は、ＳｉＢＮＣＯ系であり、該第２硬質皮膜３は、金属成分がＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｗ、Ｓｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｍｏから選択される２種以上、非金属成分がＮと、硼素、Ｃ、Ｏ、Ｓから選択される１種以上を有し、該第１硬質皮膜４の表層は、Ｓｉ−Ｃ結合を示すピークから求めた面積をα、Ｓｉ−Ｏ結合を示すピークから求めた面積をβとしたとき９≦α／β≦２２、Ｂ−Ｎ結合を示すピークから求めた面積をＸとし、Ｂ−Ｏ結合を示すピークから求めた面積をＹとし、比をＸ／Ｙとしたとき、５≦Ｘ／Ｙ≦１２、であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】成膜中に膜材料の表面に付着または析出した異物を落下し易くできる成膜方法、膜材料、および成膜装置を提供すること。
【解決手段】成膜方法は、膜材料２２を蒸発させて基板２８の表面２８ａに成膜する成膜方法であって、膜材料２２は、表面が曲面で構成された形状を有する固体からなり、複数の膜材料２２をハース２０に収容し、膜材料２２の表面を加熱することにより膜材料２２を蒸発させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する切削工具を提供する。
【解決手段】 立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）を７０体積％以上含有するｃＢＮ焼結体からなる基体６の表面を被覆層７で被覆し、ｃＢＮ焼結体は、粒径４〜６μｍのｃＢＮ粗粒子と粒径０．５〜１．２μｍのｃＢＮ微粒子とのｃＢＮ粒子の周囲を、少なくとも周期表４、５、６族金属から選ばれる１種以上の元素の炭化物と鉄族金属を含む結合相で結合してなり、被覆層７は、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}Ａｌ_ａＷ_ｂＳｉ_ｃＭ_ｄ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｙから選ばれる１種以上、０．４５≦ａ≦０．５５、０．０１≦ｂ≦０．１、０．０１≦ｃ≦０．０５、０．０１≦ｄ≦０．１、０≦ｘ≦１）からなる切削工具１である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、内部応力が小さい酸化亜鉛薄膜を提供することを課題とする。
【解決手段】透明基材上に蒸着プロセスを経て形成される酸化亜鉛薄膜であり、該薄膜はＣｕＫα線を用いたＸ線回折法により酸化亜鉛の（００２）面からの回折線が得られ、最大ピーク強度Ｉｆ（ｃｐｓ：酸化亜鉛）を膜厚（ｎｍ）と透明基材が示すハローの最大ピーク強度Ｉｓ（ｃｐｓ：透明基材）とで除した数が０．１５以下とすることとし、さらに該薄膜の波長５５０ｎｍにおける屈折率が１．９８以下とすること。 （もっと読む）

【課題】十分な耐熱性と耐摩耗性を備え、より過酷な切削環境においても皮膜の性能を十分に発揮できる密着強度を有する多層皮膜被覆部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に硬質皮膜を２層以上被覆した多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜は外層である第１硬質皮膜と、内層である第２硬質皮膜を有し、該第１硬質皮膜は、ＳｉａＢｂＮｃＣｄＯｅであり、該第２硬質皮膜は、金属成分がＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｗ、Ｓｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｍｏから選択される２種以上、非金属成分がＮと、硼素、Ｃ、Ｏ、Ｓから選択される１種以上を有し、該第１硬質皮膜と該第２硬質皮膜との界面から少なくとも５００ｎｍまでの該第１硬質皮膜を低酸素濃度域とし、該低酸素濃度域における酸素含有量を原子比でｆとしたとき、０＜ｆ≦０．０５、であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】成膜する際に基板表面に異物が付着することにより膜に欠陥が生じるのを防止し、製造歩留りを向上できる成膜装置を提供すること。
【解決手段】成膜装置１００は、膜材料２２を蒸発させて基板２８の表面２８ａに成膜する成膜装置であって、成膜室１０と、成膜室１０内の底部１４側に配置されており、膜材料２２を収容するハース２０と、成膜室１０内にハース２０に対向して配置されており、基板２８を保持する保持部２６と、成膜室１０内にプロセスガス４９が導入されるガス導入口１８と、成膜室１０の底部１４に設けられた開口部１４ａと、開口部１４ａを介して成膜室１０に連通されており、成膜室１０内の雰囲気を排気する排気口３４が設けられた排気室３０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた自己潤滑性を発揮することにより、すぐれた耐摩耗性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の工具基体表面に、ＡｌとＴｉの複合窒化物系硬質被覆層あるいはＡｌとＣｒの複合窒化物系硬質被覆層を介して、または、介さずに、組成式：Ｎｉ（Ｃ_１−ＸＮ_Ｘ）で表した場合、０．１≦Ｘ≦１．０（但し、Ｘは原子比）を満足するＮｉの炭窒化物層、窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】本願発明の課題は、高硬度を維持しつつ残留圧縮応力の低減化を図り、硬質皮膜層１、２の密着強度を改善して硬質皮膜被覆切削工具の長寿命化を図る。
【解決手段】本願発明は、超硬合金を基材とする切削工具に硬質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆切削工具において、表面側に硬質皮膜層１、基材側に硬質皮膜層２が被覆され、硬質皮膜層１は（Ａｌ_ａＣｒ_１−ａ）Ｎ_ｘ、但し、０．５≦ａ≦０．７５、０．９≦ｘ≦１．１であり、硬質皮膜層２は（Ｔｉ_ｂＡｌ_１−ｂ）Ｎ_ｙ、但し、０．４≦ｂ≦０．６、０．９≦ｙ≦１．１であり、Ｘ線回折における硬質皮膜層１の（２００）面の格子定数をα１（ｎｍ）の時、０．４１１≦α１≦０．４１５であり、硬質皮膜層２の（２００）面の格子定数をα２（ｎｍ）の時、０．４１３≦α２≦０．４１８、であることを特徴とする硬質皮膜被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する表面被覆部材を提供する。
【解決手段】 硬質相２を結合相３で結合したサーメット基体４と、その表面を被覆する被覆層５とからなり、硬質相２が第１硬質相２ａと第２硬質相２ｂとからなり、サーメット基体４の表面について、第１硬質相２ａの平均粒径をａ_ｓと第２硬質相２ｂの平均粒径をｂ_ｓとの比率（ｂ_ｓ／ａ_ｓ）が２〜１０、表面における硬質相２全体に対する第１硬質相２ａが占める平均面積をＡ_ｓと第２硬質相２ｂが占める平均面積をＢ_ｓとの比率（Ｂ_ｓ／Ａ_ｓ）が２〜１０であり、被覆層５は、層厚が３．５〜１０μｍで、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}Ａｌ_ａＷ_ｂＳｉ_ｃＭ_ｄ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｙから選ばれる少なくとも１種、０．４５≦ａ≦０．５５、０．０１≦ｂ≦０．１、０．０１≦ｃ≦０．０５、０≦ｄ≦０．１、０≦ｘ≦１）からなる切削工具１等の表面被覆部材である。 （もっと読む）

コーティングシステムは、（Ａｌ_ｙＣｒ_１−ｙ）Ｘ（式中、Ｘは、Ｎ、ＣＮ、ＢＮ、ＮＯ、ＣＮＯ、ＣＢＮ、ＢＮＯおよびＣＮＢＯからなる群の１種を表し、ｙは、金属相部分の化学量論組成を記載する）から実質的になる少なくとも１つのタイプＡ層と、（Ａｌ_ｕＣｒ_{１−ｕ−ｖ−ｗ}Ｓｉ_ｖＭｅ_ｗ）Ｘ（式中、Ｘは、Ｎ、ＣＮ、ＢＮ、ＮＯ、ＣＮＯ、ＣＢＮ、ＢＮＯおよびＣＮＢＯからなる群の１種を表し、Ｍｅは、Ｗ、Ｎｂ、ＭｏおよびＴａからなる群の１種または該群の構成要素の２種以上の混合物を表し、ｕ、ｖおよびｗは、金属相部分の化学量論組成を記載する）から実質的になる少なくとも１つのタイプＢ層とを含む。上記タイプＡ層対上記タイプＢ層の厚さ比は、１を超える。ワークピースは、このようなコーティングシステムを含む。これにより、非常に優れた摩耗保護が提供され、コーティングシステムおよびワークピースは、広範な種々の適用に用いられ得る。
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【課題】本願発明の課題は、硬質炭素膜が有する高硬度の特性を維持しつつ耐熱性を改善して、非鉄材料の切削工具表面やダイキャスト金型表面等、高温に曝される工具の耐久性を向上させることである。
【解決手段】本願発明は、基材上に固体カーボンターゲットを用いたフィルタードアーク蒸着により硬質炭素膜を被覆した被覆工具であって、該硬質炭素膜はＳｉを原子％で２％以上、１０％以下含有し、Ｘ線光電子分光分析によりもとめたＳｉＣピーク強度比は０．０５以上、０．５以下であり、ナノインデンテーションによりもとめた硬度は４０ＧＰａ以上、７４ＧＰａ以下であり、該硬質炭素膜表面の凸部及び凹部の面積率をＤ（％）としたとき、Ｄ≦０．０１であることを特徴とする硬質炭素膜被覆工具である。 （もっと読む）

【課題】耐溶損性に優れた中間層の表面に耐焼付き性に優れた機能性被膜を形成することで、耐焼付き性、及び、耐溶損性を向上させるダイカスト用金型等を提供すること。
【解決手段】ダイカスト用金型１は、金型基材ＫＫと、金型基材ＫＫの表面に形成される中間層ＣＳであって、Ｃｒ，Ｔｉ及びＡｌから選ばれる少なくとも１種の金属、又は、Ｃｒ，Ｔｉ及びＡｌから選ばれる少なくとも１種の元素を含む化合物の単層又は複層からなる中間層ＣＳと、中間層ＣＳの上に形成される機能性被膜ＫＨであって、Ｆｅを２０質量％以上含有し、かつ、Ｆｅ酸化物が形成された機能性被膜ＫＨとを備える。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性および密着性に優れた硬質皮膜被覆部材および成形用冶工具を提供する。
【解決手段】硬質皮膜被覆部材は、Ｃｒを含有する鉄基合金からなる基材と、基材の表面に膜厚１〜１０μｍで形成された第１皮膜層と、第１皮膜層の表面に膜厚２〜１０μｍで形成された第２皮膜層とを備え、第１皮膜層が、Ｃｒ_{１−ａ−ｂ}Ｍ_ａＢ_ｂ（Ｃ_ｃＮ_１−ｃ）からなり、ＭがＷ、Ｖ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｔｉ、Ａｌから選ばれる１種以上の元素であり、ａ、ｂ、ｃが原子比であるときに、０≦ａ≦０．７、０≦ｂ≦０．１５、０≦ｃ≦０．５、０．３≦１−ａ−ｂを満足し、第２皮膜層が、Ｎｂ_{１−ｄ−ｅ−ｆ}Ｃｒ_ｄＡｌ_ｅＬ_ｆ（Ｃ_ｇＮ_１−ｇ）からなり、ＬがＳｉ、Ｙ、Ｂから選ばれる１種以上の元素であり、ｄ、ｅ、ｆ、ｇが原子比であるときに、０．０５≦１−ｄ−ｅ−ｆ≦０．５、０．０５≦ｄ≦０．５、０．４≦ｅ≦０．７、０≦ｆ≦０．１５、０≦ｇ≦０．５を満足する。 （もっと読む）

【課題】圧電効果の大きな組成範囲の強誘電体膜を備えた素子を効率よく製造する。
【解決手段】第３中間電極７を備えた圧力勾配型プラズマガンを用いてＨｅガスと酸素ガスの混合プラズマを発生させ、この混合プラズマ中の酸素ラジカルにより成膜材料を酸化させる強誘電体膜を形成する。放電ガスとしてＨｅを用いることにより高濃度の酸素ラジカルを発生させることができるため、圧電効果の大きな組成範囲、例えばＰｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（ｘ＞０．４）の膜を効率よく製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＴｉＮ膜について耐摩耗性が確実に高い物性であるものを選択的に得ることができ、またはそのような好ましい物性のＴｉＮ膜が形成された耐摩耗性ＴｉＮ膜形成体とし、またはそのような耐摩耗性ＴｉＮ膜形成体を効率よく製造することである。
【解決手段】 ＴｉＮ膜についてＸ線回折分析で測定される結晶方位の（１１１）面、（２００）面、（２２０）面、（３１１）面、（２２２）面および（４００）面の合計ピーク強度を１００％とした場合における（１１１）面強度比が８０％以上であり、かつ（２２０）面強度比が３％以下である耐摩耗性ＴｉＮ膜またはこれを金属製基材の表面に形成して、摺動材、工具、金型などのＴｉＮ膜形成体とする。基材とＴｉＮ膜との間にＴｉ金属の中間層を設けるとＴｉＮ膜の耐剥離性が向上し、基材に窒化層を形成するとＴｉＮ膜との密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】岩塩構造型硬質皮膜の結晶粒子径を微細化させて、硬質皮膜の耐摩耗性などの特性を改善した微細結晶硬質皮膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】立方晶岩塩型構造を有する硬質皮膜層A と、立方晶岩塩型構造以外の結晶構造を有する硬質皮膜層B とが交互に積層された構造の結晶皮膜を形成する際、磁場印加機構を有するアーク蒸発源とスパッタリング蒸発源とが各々１台以上具備された成膜装置によって、前記硬質皮膜層A の構成成分をアーク蒸発源にて蒸発させるとともに、前記硬質皮膜層B を特定の化合物として、これら硬質皮膜層B の構成成分をスパッタリング蒸発源で蒸発させ、基板上に硬質皮膜層A とB とを交互に順次積層していく。 （もっと読む）

【課題】摺接部の耐摩耗性を向上し易い摺動部材を提供することを課題とし、そのような摺動部材を製造し易い製造方法を提供する。
【解決手段】被接部２１に当接して摺動する摺接部２３、２５、２６、２７を備え、摺接部２３、２５、２６、２７の表面に、複数の被覆層４１、４２・・・が界面を有して積層された被覆膜４０が形成された摺動部材２１、２２において、被覆膜４０は、界面を複数設けることにより、各被覆層４１、４２・・・を単独で被覆膜４０の膜厚に形成した場合に比べ、摩耗速度を小さくしたものである。 （もっと読む）

【課題】高硬度被削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）組成式：（Ｔｉ_1−αＡｌ_α）Ｎあるいは組成式：（Ｔｉ_1−α−βＡｌ_αＭ_β）Ｎ（但し、Ｍは、Ｔｉを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５）を満足するＴｉとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）組成式：（Ｃｒ_１−γＹ_γ）Ｎ（但し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層からなる上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】高硬度材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）組成式：（Ｔｉ_1−αＡｌ_α）Ｎあるいは組成式：（Ｔｉ_1−α−βＡｌ_αＭ_β）Ｎ（但し、Ｍは、Ｔｉを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５）を満足するＴｉとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層からなるＴｉＡｌ（Ｍ）Ｎ薄層、（ｂ）組成式：（Ｃｒ_１−γＹ_γ）Ｎ（但し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層からなるＣｒＹＮ薄層、上記（ａ）、（ｂ）の交互積層からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた自己潤滑性を発揮することにより、すぐれた耐摩耗性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、マトリックス相と分散相とから構成される硬質被覆層を少なくとも１層以上蒸着形成した表面被覆切削工具において、マトリックス相は、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒのうちの１種以上の元素の窒化物および／または炭窒化物からなり、分散相は、Ｎｉ窒化物、Ｎｉ炭窒化物のうちの少なくとも１種以上のＮｉ化合物からなる。 （もっと読む）