本発明は、ターゲットとして実施され、アーク蒸発ソースの一部である第１の電極を有する真空処理システム内でワークピースを表面処理する方法であって、第１の電極によって、アーク電流を用いてアークを動作させ、ターゲットから、ワークピース上に少なくとも部分的に、かつ断続的に堆積させる材料を蒸発させ、ワークピースホルダとして実施され、ワークピースと共にバイアス電極を構成する第２の電極を有し、電圧供給部によって、バイアス電極にアーク電流と整合するようにバイアス電圧を印加し、したがって本質的に、表面上に材料が正味で蓄積されない方法に関する。
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【課題】本発明は、ＶＮの特性とＴｉＡｌＮの特性とを兼備し、特に耐摩耗性に優れた被覆膜を備えた表面被覆切削工具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、ＶＮからなるＡ層と、Ｔｉ_1-xＡｌ_xＮ（ただし式中ｘは０．３≦ｘ≦０．７）からなるＢ層とが交互に各々２層以上積層されてなり、該Ａ層の層厚λａと該Ｂ層の層厚λｂとは、それぞれ２ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、その層厚比λａ／λｂは、基材側から被覆膜の最表面側にかけて増大し、かつ基材に最も近いＡ層とＢ層の層厚比λａ／λｂは０．１以上０．７以下であり、最表面側に最も近いＡ層とＢ層の層厚比λａ／λｂは１．５以上１０以下であることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 従来の硬質皮膜であるＴｉＡｌＮ皮膜やＴｉＣｒＡｌＮ皮膜よりも耐酸化性に優れ、且つ、硬度の高い硬質皮膜およびその形成方法を提供する。
【解決手段】 (1) 〔（Ｔｉ，Ｃｒ，Ｖ）_a （Ｎｂ，Ｔａ）_b （Ａｌ，Ｓｉ，Ｂ）_C 〕（Ｃ_1-x Ｎ_x ）からなる硬質皮膜であって、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、ａ_Ti＋ａ_Cr＋ａ_V ＝ａ、ｂ_Nb＋ｂ_Ta＝ｂ、ｃ_Al＋ｃ_Si＋ｃ_B ＝ｃ、０．０５≦ｂ、０．５≦ｃ≦０．７３、０≦ｃ_Si＋ｃ_B ≦０．１５、ａ_Ti＞０、ａ_Cr＋ａ_V ＋ｃ_Si＋ｃ_B ＞０、０．４≦ｘ≦１．０を満たすことを特徴とする硬質皮膜（但し、上記式において、ａ_TiはＴｉの原子比、ａ_CrはＣｒの原子比、ａ_V はＶの原子比、ｂ_NbはＮｂの原子比、ｂ_TaはＴａの原子比、ｃ_AlはＡｌの原子比、ｃ_SiはＳｉの原子比、ｃ_B はＢの原子比、ｘはＮの原子比を示すものである。）等。 （もっと読む）

本発明は、フライス、切削インサート、射出成形用金型などのような工具のための摩耗保護層、特に物理的蒸着法を使用して蒸着させた摩耗保護層であって、当該層が、ＡｌＮｂＸの一般的な組成を有し（式中、Ｘは、Ｎ、Ｃ、Ｂ、ＣＮ、ＢＮ、ＣＢＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＢＯ、ＣＮＯ、ＢＮＯ、またはＣＮＣＯを表す）、Ｎｂの割合が４０原子％未満であり、かつ／または当該製造プロセスにおいて使用されるアルミニウム粉体が、アルミニウムに対して１０〜５０原子％のジルコニウムと混合されることを特徴とする摩耗保護層に関し、さらに摩耗保護層を製造するための方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】吸湿性に優れる吸湿層を有するガスバリア性シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材２と、基材２の上に設けられた吸湿層３と、を有するガスバリア性シート１Ａであって、吸湿層３がアルカリ金属酸化物又はアルカリ土類金属酸化物を含有し、ガスバリア性シート１Ａの表面の最大高低差（Ｒｍａｘ）を１０００ｎｍ以下とすることにより上記課題を解決する。吸湿層３は、室温（２５℃）よりも低い温度で形成する吸湿層形成工程によって形成される。 （もっと読む）

【課題】被削材の工具への溶着を抑えることで、耐摩耗性に優れるとともに、被削材の表面を高品位に仕上げ加工することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具は、基材１１０と該基材上に形成された被膜とを有し、該被膜は、化学式Ａｌ_1-xＣｒ_xＮ_yＯ_zＣ_u（式中ｘは０＜ｘ≦０．２であり、ｙ、ｚ、ｕは０＜ｙ＋ｚ＋ｕ≦１．１である）で表わされる化合物からなる層をその一部に含む。 （もっと読む）

【課題】プラズマを用いて活性化した原料から高純度の薄膜を確実に形成することができるようにする。
【解決手段】 プラズマ援用反応性薄膜形成装置におけるプラズマ発生用コイル４を、形成すべき薄膜を構成する元素からなる物質で構成されるかあるいは該物質で被覆されたものとする。そして、そのプラズマ発生用コイル４によってチャンバ１０内にプラズマを発生させ、蒸着源のルツボ６によって蒸発される原料の元素と気体導入口７から導入される気体の元素とがプラズマ雰囲気中で反応し、プラズマ発生用コイル４の表面がスパッタリングされて飛び出す上記物質の元素とともに基板２の表面に蒸着することによって所望の （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性および耐欠損性が向上する被覆層を備えた表面被覆工具を提供する。
【解決手段】 基体２の表面に、Ｔｉ_１−ａＭ_ａ（Ｃ_１−ｘＮ_ｘ）（ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ａｌ、ＳｉおよびＹの群から選ばれる少なくとも１種、0.35≦ａ≦0.55、0≦ｘ≦1）からなる第１薄層７と、Ｔｉ_１−ｂＭ_ｂ（Ｃ_１−ｙＮ_ｙ）（0.40≦ｂ≦0.60、ただしｂ＞ａ、0≦ｙ≦1）からなる第２薄層８とが交互に一定の周期で積層された下層９と、Ｔｉ_１−ｃＭ_ｃ（Ｃ_１−ｘＮ_ｘ）からなる第３薄層１１と、Ｔｉ_１−ｄＭ_ｄ（Ｃ_１−ｙＮ_ｙ）（0.45≦ｄ≦0.65、ただしｄ＞ｃ、0≦ｙ≦1）からなる第４薄層１２とが交互に一定の周期で積層された上層１３とを被覆し、第１薄層７の平均層厚ｔ_１と第２薄層８の平均層厚ｔ_２との比が1.2≦ｔ_２／ｔ_１≦2.5で、第３薄層１１の平均層厚ｔ_３と第４薄層１２の平均層厚ｔ_４との比が2.5≦ｔ_４／ｔ_３≦18（ただし、（ｔ_２／ｔ_１）＜（ｔ_４／ｔ_３））の表面被覆工具１である。 （もっと読む）

【課題】高速・高能率切削が可能な、ＴｉＡｌＮよりも耐摩耗性に優れた硬質皮膜を得るための有用な製造方法を提供する。
【解決手段】所定の組成および結晶構造を有する硬質皮膜を製造するための方法であって、ターゲットを構成する金属の蒸発およびイオン化をアーク放電にて行うアークイオンプレーティング法において、該ターゲットの蒸発面にほぼ直交して前方に発散ないし平行に進行する磁力線を形成し、この磁力線によって被処理体近傍における成膜ガスのプラズマ化を促進すると共に、前記被処理体に印加するバイアス電位をアース電位に対して−５０Ｖ〜−３００Ｖとして成膜する。 （もっと読む）

【課題】プラズマガンと電子銃を備えたイオンプレーティング装置を用いて、異常放電を防止しながら成膜を行い、膜素子を製造する方法を提供することにある。
【解決手段】プラズマガンに第１の放電ガスを供給して放電を生じさせた後、第１の放電ガスに代えて、第１の放電ガスより放電を生じにくい第２の放電ガスを供給して放電を継続させることによりプラズマを発生させ、電子銃から電子ビームを蒸発源に照射して蒸発させ、プラズマを通過した蒸気を基板上に堆積させ、薄膜を形成する。これにより、放電しにくい第２の放電ガスで安定にプラズマを発生させ、電子銃周辺での異常放電を防止できる。 （もっと読む）

【課題】安価な薄膜顔料を提供する。
【解決手段】
本発明の成膜装置Ａは、円筒形の成膜対象物２の下方にルツボ３が配置され、上方にアーク蒸発源４とスパッタリングターゲット５が配置されている。スパッタリングターゲット５によって剥離層を形成し、反応性ガスを導入しながらアーク蒸発源４による成膜とルツボ３からの蒸着成膜によって誘電体積層膜を形成する。金属材料の粒子を発生させる場合、アーク蒸発源の粒子放出量が多いので、成膜速度が速く、安価な薄膜顔料を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】砂付着に対して強い耐性を有し、粒子衝突時の表面仕上げ、硬度、高サイクル疲労強度の劣化が最小限又はゼロに抑えられ、且つ、エアフォイル領域及び表面形状に与える影響が最小限になる表面を有するタービンエンジン部品を提供すること。
【解決手段】耐砂付着性を有するタービンエンジン部品１０の表面１４であって、基材１２と、該基材上に堆積されてコーティング表面１６を形成する炭化物及び／又は窒化物コーティングとから成り、該コーティングの表面の粗度（Ｒａ）が１２マイクロインチ未満である、タービンエンジン部品１０の表面１４。 （もっと読む）

【課題】 切削工具基材の表面に形成する皮膜を改良し、耐酸化性や耐熱性や耐摩耗性に優れ、鋼のドライ加工や高硬度材の高速加工が長期にわたって安定して行える被覆切削工具基材を提供する。
【解決手段】 切削工具基材の表面に、結晶構造がＮａＣｌ型構造である一般式（Ａｌ_x，Ｃｒ_1-x）Ｎ（式中、ｘは、０．５５≦ｘ≦０．７５の条件を満たす。）で示されるＡｌ−Ｃｒ−Ｎ皮膜と、結晶構造がＮａＣｌ型構造である一般式（Ａｌ_y，Ｃｒ_1-y-z，Ｔｉ_z）Ｎ（式中、ｙ，ｚは、０．５５≦ｙ≦０．７５、０．２≦ｚ≦０．３、０．０５≦１−ｙ−ｚ≦０．２の条件を満たす。）で示されるＡｌ−Ｃｒ−Ｔｉ−Ｎ皮膜とを交互に積層させた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ナノメーターサイズの三次元連結孔を有する多孔質アルミニウム酸化物膜を有する積層体を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基材と、上記基材上に形成され、平均細孔径５００ｎｍ以下の三次元連結孔を有する多孔質アルミニウム酸化物膜と、を有することを特徴とする積層体を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は加工物のための少なくとも１層を有するコーティングに関し、その少なくとも１層はＡｌ_ｘＣｒ_１−ｘで表される金属成分を含み、ｘは０≦ｘ≦０．８４を満たす原子比であり、Ｏ_１−ｙＺ_ｙで表される非金属成分をも含み、ＺはＮ、Ｂ、およびＣの群から選択される少なくとも１種の元素であって０≦ｙ≦０．６５で好ましくはｙ≦０．５であり、そのコーティングはＸ線回折パターンがＣｒＮの立方晶相ではない立方晶相の生成を示すようにＣｒと酸化物を含む非ガンマ相を少なくとも部分的に含んでいる。
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【課題】高速加工およびドライ加工でさらなる長寿命化を達成することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と、基材上に形成された被覆膜とを備え、被覆膜は、Ｔｉ_1-xＣｒ_xＮ（ただし、０≦ｘ＜０．３）からなるＡ層と、Ｔｉ_1-yＡｌ_yＮ（ただし、０．３＜ｙ＜０．７）からなるＢ層とがそれぞれ交互に積層されて構成されており、Ａ層の厚みλａおよびＢ層の厚みλｂはそれぞれ２ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、互いに接しているＡ層およびＢ層の厚みの比であるλａ／λｂの値は、基材に最も近い位置においては０．４＜λａ／λｂ＜０．７であって、基材側から被覆膜の最表面側に進むにしたがって連続的および／または段階的に増加していき、被覆膜の最表面に最も近い位置においては１．５＜λａ／λｂ＜３となる表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】複数の異なる材料からなる蒸発源に対して複数の圧力勾配型Ａｒプラズマガンからのプラズマビームを照射することにより、所望特性の物理蒸着膜を得る成膜方法および装置を提供する。
【解決手段】複数の異なる材料からなる蒸発源のそれぞれに対して、複数の蒸発用圧力勾配型Ａｒプラズマガンからのプラズマビームを照射して、蒸発源を粒子として蒸発・プラズマ化し、所望の成分組成、均質性、結晶形態、密着性、強度・硬度等を備えた物理蒸着膜を基板表面に成膜する。 （もっと読む）

【課題】 離型剤が極めて少ない、又は離型材フリーの使用環境でも、焼付きやヒートチェックの発生を格段に抑制できる、耐久性に優れたダイカスト用被覆金型およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 工具鋼を基材とするダイカスト用金型の表面に皮膜を被覆したダイカスト用被覆金型であり、該皮膜がコランダム構造からなる酸化物皮膜であるダイカスト用被覆金型である。
そして、ＣｒターゲットおよびＡｌＣｒ合金ターゲットを用いた物理蒸着法により、工具鋼を基材とするダイカスト用金型の表面にコランダム構造からなる酸化物皮膜を被覆する方法であって、基材の表面にＣｒの酸化物であるＡ層を被覆した後に、ＡｌおよびＣｒの酸化物であるＢ層を交互に被覆するダイカスト用被覆金型の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】気体と直接接触する環境下における耐ドレンエロージョン性に優れた回転機械用の部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材１の表面１ａ上にセラミック硬質皮膜３が形成されてなり、該セラミック硬質皮膜３の表面３ａに存在するドロップレットの密度が１０００個／ｍｍ^２以内とされており、且つ、平均粒径が１μｍ以下のドロップレットの密度が５５０個／ｍｍ^２以内とされている。 （もっと読む）

【課題】溶着現象を抑制した耐摩耗性及び耐高温酸化特性を持つ多層皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】基材２表面に硬質皮膜１を２層以上被覆した多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜１は外層である第１硬質皮膜４と、内層である第２硬質皮膜３を有し、該第１硬質皮膜４は、ＳｉＢＮＣＯ系であり、該第２硬質皮膜３は、金属成分がＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｗ、Ｓｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｍｏから選択される２種以上、非金属成分がＮと、硼素、Ｃ、Ｏ、Ｓから選択される１種以上を有し、該第１硬質皮膜４の表層は、Ｓｉ−Ｃ結合を示すピークから求めた面積をα、Ｓｉ−Ｏ結合を示すピークから求めた面積をβとしたとき９≦α／β≦２２、Ｂ−Ｎ結合を示すピークから求めた面積をＸとし、Ｂ−Ｏ結合を示すピークから求めた面積をＹとし、比をＸ／Ｙとしたとき、５≦Ｘ／Ｙ≦１２、であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。 （もっと読む）