【課題】ナノサイズの表面平滑性を備え、すぐれた切屑排出性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、幅１０〜１００ｎｍ、高さ０．２〜２μｍの柱状晶を有し、さらに、原子間力顕微鏡により表面形状を測定した場合、幅１０〜１００ｎｍ、高さ２０ｎｍ以下の均一な凹凸を有し、かつ、１μｍ×１μｍの領域における平均面粗さを測定した場合、５ｎｍ以下の平均面粗さを有するＴｉＮ層からなる硬質被覆層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】Ｎｉ基合金、Ｃｏ基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、薄層Ａと薄層Ｂと薄層Ｃの積層構造からなり、かつ、薄層Ｂと薄層Ｃが薄層Ａを介して交互に積層されてなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Ａは、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層あるいは（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層のいずれか、薄層Ｂは、（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層あるいは（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層のいずれか、また、上記薄層Ｃは、（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層からなる。 （もっと読む）

【課題】高硬度材の高速切削加工で、すぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】ｃＢＮ含有量が７０容量％以上であるｃＢＮ基超高圧焼結材料からなる工具基体の表面に、下部層、中間層および上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成し、下部層は、組成式：Ｂ_{１−Ｘ−Ｙ}Ｃ_ＸＮ_Ｙで表した場合、Ｘ＝０．０５〜０．３、Ｙ＝０．１〜０．４（Ｘ、Ｙは原子比）を満足するＢ、ＣおよびＮの複合化合物層、中間層はＢ_４Ｃ層、上部層は、組成式：（Ｔｉ_１−ＺＡｌ_Ｚ）Ｎ層で表した場合、Ｚ＝０．３〜０．６５（Ｚは原子比）であるＴｉとＡｌの複合窒化物層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】ナノサイズの表面平滑性を備え、すぐれた切屑排出性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、幅１０〜１００ｎｍ、高さ０．２〜２μｍの柱状晶を有し、さらに、原子間力顕微鏡により表面形状を測定した場合、幅１０〜１００ｎｍ、高さ２０ｎｍ以下の均一な凹凸を有し、かつ、１μｍ×１μｍの領域における平均面粗さを測定した場合、５ｎｍ以下の平均面粗さを有する（Ｔｉ_１−Ｘ Ａｌ_Ｘ ）Ｎ層（但し、Ｘは原子比で０．３〜０．６５）からなる硬質被覆層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】Ｎｉ基合金、Ｃｏ基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層は薄層Ａと薄層Ｂの交互積層からなり、また、上部層は薄層Ａと薄層Ｃの交互積層からなり、さらに、上記薄層Ａは、（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層あるいは（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層のいずれか、上記薄層Ｂは、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層あるいは（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層のいずれか、また、上記薄層Ｃは、（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層からなる。 （もっと読む）

【課題】Ｎｉ基合金、Ｃｏ基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層は薄層Ａと薄層Ｂの交互積層からなり、また、上部層は薄層Ａと薄層Ｃの交互積層からなり、さらに、上記薄層Ａは、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層あるいは（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層のいずれか、上記薄層Ｂは、（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層あるいは（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層のいずれか、また、上記薄層Ｃは、（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層からなる。 （もっと読む）

【課題】被膜の摩耗が生じても金型や工具の損傷を未然に防止できるバナジウム含有被膜およびバナジウム含有被膜を被覆した金型および工具を提供する。
【解決手段】鉄系合金製基材上に被覆する被膜であって、Ｖ_{（１−Ｘ）}Ｃ_Ｘから成り、かつＸは７０ａｔ％超９５ａｔ％以下であるバナジウム含有被膜とする。また、鉄系合金製基材上にＶ被膜、Ｖ_{（１−Ｙ）}Ｃ_Ｙ被膜（ただし、Ｙは原子％で４０ａｔ％以上６０ａｔ％以下）から成る複合被膜を被覆させた後に、Ｖ_{（１−Ｘ）}Ｃ_Ｘから成り、かつＸは７０ａｔ％超９５ａｔ％以下であるバナジウム含有被膜を被覆した金型および工具とする。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる工具基体表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、下部層として、組成式：（Ｔｉ_１−ＸＡｌ_Ｘ ）Ｎで表した場合、Ｘは０．３〜０．６（Ｘは原子比）を満足するＴｉとＡｌの複合窒化物層、上部層として、組成式：（Ｃｒ_{１−Ｙ―Ｚ} Ｓｉ_ＹＭｏ_Ｚ） Ｎで表した場合、Ｙは０．０５〜０．３、Ｚは０．２〜０．５（Ｙ、Ｚは原子比）を満足するＣｒとＳｉとＭｏの複合窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる工具基体表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、下部層として、組成式：（Ｃｒ_１−ＸＡｌ_Ｘ ）Ｎで表した場合、Ｘは０．４〜０．７（Ｘは原子比）を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層、上部層として、組成式：（Ｃｒ_{１−Ｙ―Ｚ} Ｓｉ_ＹＷ_Ｚ） Ｎで表した場合、Ｙは０．０５〜０．３、Ｚは０．２〜０．５（Ｙ、Ｚは原子比）を満足するＣｒとＳｉとＷの複合窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】水分等による腐食を防ぐことにより、耐久性を向上させて銀系光反射鏡の高反射率という利点を長期間維持できる光反射鏡及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水分に対する耐腐食性が銀より優れる、所定の銀合金を使用し、さらに、形成される各構成膜の密着性および緻密性を高めることによって、高反射率と高耐久性を両立させ得る多層膜構造の銀合金光反射鏡及びその製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】各種鋼板、特に、高張力鋼板等をプレス加工するのに好ましく用いられうる、高い密着力を有する硬質被膜が表面に形成された硬質被膜を有する球状化黒鉛鋳鉄材を提供することを目的とする。
【解決手段】窒化処理された球状化黒鉛鋳鉄の表面にチタン系硬質被膜が形成されており、前記表面における球状黒鉛の平均粒子径が３０μｍ以下である硬質被膜を有する球状化黒鉛鋳鉄材を得る。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる工具基体表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、下部層として、組成式：（Ｃｒ_１−ＸＡｌ_Ｘ ）Ｎで表した場合、Ｘは０．４〜０．７（Ｘは原子比）を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層、上部層として、組成式：（Ｃｒ_{１−Ｙ―Ｚ} Ｓｉ_ＹＭｏ_Ｚ） Ｎで表した場合、Ｙは０．０５〜０．３、Ｚは０．２〜０．５（Ｙ、Ｚは原子比）を満足するＣｒとＳｉとＭｏの複合窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】クレータ摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与することができる被膜を備えた表面被覆切削工具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具はＡ層とＢ層とを含む被膜を備え、Ａ層は、化学式Ti_1-a(M1)_aN_b（M1はCr、Hf、Ta、NbまたはSiの少なくとも１種の元素、0＜a≦0.3、0.9＜b≦1.1）で示される組成を有するa1層と、化学式Ti_1-c(M2)_cN_d（M2はCr、Hf、Ta、NbまたはSiの少なくとも１種の元素、M1とM2とは少なくとも１種が相異なり、0＜c≦0.3、0.9＜d≦1.1）、または化学式Ti_1-eAl_eN_f（0.4＜e≦0.8、0.9＜f≦1.1）で示される組成を有するa2層とを含み、Ｂ層は、化学式Ti_1-α(M3)_αC_βN_γ（M3はCr、Hf、Ta、NbまたはSiの少なくとも１種の元素、0≦α≦0.3、0.9＜β＋γ≦1.1、0.1＜β≦1.1）で示される組成を有するb1層を含み、Ａ層におけるa1層とa2層とは交互に積層され、Ｂ層がＡ層よりも基材の表面層側に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高度な耐摩耗性を付与することができ、かつ熱亀裂による影響を低減する被膜を備えた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材上の少なくとも一部に形成された被膜が、Ａ層とＢ層とを含み、Ａ層は、化学式Ｔｉ_1-X（Ｍ１）_XＮ_Y（Ｍ１はＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｎｂ、ＶおよびＳｉからなる群より選択されるいずれか１の元素であり、ＸおよびＹは原子比であり、０≦Ｘ≦０．８、０．９＜Ｙ≦１．１）で表わされる化合物により構成されるａ１層を含み、Ｂ層は、化学式Ｔｉ_1-p（Ｍ３）_pＣ_rＮ_s（Ｍ３はＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｎｂ、ＶおよびＳｉからなる群より選択されるいずれか１の元素であり、ｐ、ｒおよびｓは原子比であり、０≦ｐ≦０．３、０．９＜ｒ+ｓ≦１．１、０．１＜ｒ≦１．１）で表わされる化合物により構成されるｂ１層を含み、Ａ層とＢ層との積層数の合計は３層以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも高温に耐え得るｃＢＮ膜を含む高硬度被膜を提供する。
【解決手段】 本発明に係る高硬度被膜は、母材１０としての超硬合金の上に形成された中間層３０と、この中間層３０の上に形成されたｃＢＮ膜５０と、を具備する。中間層３０は、その本体としてのＣｒＮ層３４と、これを挟んで形成された接着層としてのＣｒ層３２および３６と、から成る。ｃＢＮ膜５０は、その本体としてのｃＢＮ層５４と、このｃＢＮ層５４の下層側に形成された接着層としてのＢ膜と、から成る。ここで、ＣｒＮ層３４の熱膨張率は、７．５［×１０^−６／℃］であり、ｃＢＮ層５４の熱膨張率（＝６．０［×１０^−６／℃］）に近い。従って、ＣｒＮ層３４を含む中間層３０と、ｃＢＮ層５４を含むｃＢＮ膜５０と、の間における熱膨張差が抑制され、熱応力によるｃＢＮ膜５０の剥離が防止される。つまり、ｃＢＮ膜５０を含む母材１０全体の耐熱性が向上する。 （もっと読む）

【課題】低コストで、基板フィルムと蒸着ドラムの密着性を高め、蒸着熱による基板フィルムのダメージも防止できる蒸着方法及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】ホローカソード型プラズマガン３を使用して、蒸着ドラム５上を搬送させているフィルム基板９にプラズマアシスト蒸着を行う方法は、フィルム基板９に蒸着材料を蒸着させる前段に電子加速電極２によりプラズマ中から電子を取出し、該電子でフィルム基板９を帯電させることを特徴とする。装置としては、プラズマアシスト蒸着を行うためのホローカソード型プラズマガン３と、フィルム基板９を搬送する蒸着ドラム５と、フィルム基板９に蒸着材料を蒸着させる前段にプラズマ中から電子を取出し該電子でフィルム基板９を帯電させるための電子加速電極２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成膜の生産性が高く、低い体積抵抗率を有しかつ高湿環境下において体積抵抗率の上昇が抑制されるＺｎＯ蒸着膜、及びその成膜方法を提供する。
【解決手段】希土類元素を０．１〜１５質量％含むＺｎＯ焼結体を蒸着材に用い、反応性プラズマ蒸着法により酸素ガス流量０〜５００ｓｃｃｍ、成膜速度０．５〜５．０ｎｍ／秒で成膜を行い、高耐湿性のＺｎＯ膜を成膜する。希土類元素は、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ又はＳｍの少なくとも１種であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】チップやドリル、エンドミルなどの切削工具や鍛造金型や打ち抜きパンチなどの冶工具などに形成する硬度と潤滑性に優れた硬質皮膜およびその関連技術を提供する。
【解決手段】（Ａｌ_1-a-d-ｅＶ_aＭｏ_dＷ_ｅ）（Ｃ_1-XＮ_X）からなる硬質皮膜であって、０．２≦ａ≦０．７５、０＜ｄ＋ｅ≦０．３、０．３≦Ｘ≦１（式中、ａ、ｄ、ｅおよびＸは互いに独立して原子比を示す：なおｄおよびｅは、一方が０であってもよいが、両方が０になることはない）である組成を特徴とする硬質皮膜を、例えば、チャンバー１、アーク式蒸発源２、支持台３、バイアス電源４、ターゲット６、アーク電源７、磁界形成手段８、排気口１１、ガス供給口１２、被処理体ＷからなるＡＩＰ装置を用いて成膜する。 （もっと読む）

【課題】成膜不良を抑制する成膜装置を提供する。
【解決手段】被処理基板Ｗを収納する真空容器２と、真空容器２内において被処理基板Ｗを戴置すると共に、所定の搬送方向に搬送するホルダー３と、搬送される被処理基板Ｗに対向して真空容器２内に設けられるハース４Ａ，４Ｂと、ハースにプラズマビームを照射するプラズマガン６，７と、ハースに対向するとともに、被処理基板Ｗを挟んでハースと反対側に設けられる歪曲手段１５Ａと、を備え、歪曲手段１５Ａは、Ｎ極側が材料源に対向する第１の磁石と、Ｓ極側が材料源に対向する第２の磁石と、を有し、ハース４Ａ，４Ｂと被処理基板Ｗとの間の空間に磁界を発生させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温・高湿環境でガスバリア性に対して優れた耐久性を有するガスバリア積層体を提供することを目的とする。
【解決手段】プラスチックフィルム基材の両面または片面に酸化珪素膜を積層するガスバリア積層体において、前記プラスチックフィルム基材の前記酸化珪素膜を積層する面の中心線平均粗さＲａが３〜３０ｎｍであり、高分解能ラザフォード後方散乱法（ＨＲ−ＲＢＳ法）測定によって算出される前記酸化珪素膜の密度が１．９〜２．６ｇ／ｃｍ^３の範囲内であること、酸素と珪素の比（Ｏ／Ｓｉ）が１．４〜２．０の範囲内であることにより、高温高湿環境下でガスバリア性の劣化を抑えることができるガスバリア積層体を提供することができる。 （もっと読む）