表面被覆切削工具
【課題】溶着性の高い被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐ピッチング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎγで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、（ｂ）上部層として、組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎδで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１を満足する平均組成を有し、かつ、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、を蒸着形成する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎγで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、（ｂ）上部層として、組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎδで表した場合、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１を満足する平均組成を有し、かつ、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、を蒸着形成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、軟鋼、ステンレス鋼などのように溶着性が高い被削材の切削加工を、高い発熱を伴う高速切削条件で行った場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、被覆工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
【０００３】
また、被覆工具として、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットで構成された工具基体の表面に、
組成式：（Ａｌ１−Ｐ−ＱＣｒＰＭＱ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分であり、また、Ｐ、Ｑは原子比によるＣｒ成分、Ｍ成分の含有割合を示す）
を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（以下、これらを総称して、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎで示す）からなる硬質被覆層を物理蒸着してなる被覆工具が知られており、かつ前記被覆工具の硬質被覆層である（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層が、構成成分であるＡｌによって高温硬さ、同Ｃｒによって高温強度、また、ＣｒとＡｌの共存含有によって耐熱性が向上し、さらに、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上からなるＭ成分が、硬質被覆層の耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性を向上させることから、これを各種の一般鋼や普通鋳鉄などの連続切削や断続切削加工に用いた場合にすぐれた切削性能を発揮することも知られている。
【０００４】
さらに、上記の被覆工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の工具基体を装入し、ヒータで装置内を、例えば５００℃の温度に加熱した状態で、硬質被覆層の目標組成に対応した所定組成を有するＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に、例えば電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記工具基体には、例えば−１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記工具基体の表面に、目標組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層をそれぞれ蒸着することにより製造されることも知られている。
【特許文献１】特開平９−４１１２７号公報
【特許文献２】特開２００４−１０６１８３号公報
【特許文献３】特開２００４−２６９９８５号公報
【特許文献４】特開２００６−８２２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の切削加工装置のＦＡ化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴って切削加工は一段と高速化するとともに切削工具の汎用性が求められる傾向にあるが、上記の従来被覆工具においては、これを低合金鋼、炭素鋼、鋳鉄などの通常の切削条件下での切削加工に用いた場合には問題はないが、特に、軟鋼、ステンレス鋼などのように溶着性が高い被削材の、高熱発生を伴う高速切削加工に用いた場合には、硬質被覆層の耐熱性、高温強度が不十分となり、その結果、チッピング（微少欠け）の発生、熱塑性変形、偏摩耗等による摩耗進行の促進により、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に軟鋼、ステンレス鋼等の溶着性が高い被削材の切削加工を、高い発熱を伴う高速切削条件で行った場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を示す被覆工具を開発すべく、上記の従来被覆工具に着目し、研究を行った結果、以下の知見を得た。
【０００７】
（ａ）上記従来被覆工具の硬質被覆層である（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層は、その層全体に亘ってほぼ単一な均一組成の層として構成されているが、これを、単一な均一組成の層とするのではなく、下部層と上部層の２層構造からなる層として構成し、そして、下部層は従来同様、ほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層として構成し、また、上部層は、下部層側から上部層表面に向かって（層厚方向に沿って）、該層の構成成分であるＮの含有割合が減少する組成傾斜型の濃度分布構造を有する（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層として形成すると、均一組成の下部層と組成傾斜型の上部層の２層構造からなる硬質被覆層は、所定の高温硬さ、高温強度、耐熱性を保持しつつ、さらに、すぐれた熱伝導性、熱放散性、潤滑性を有することにより、より一層耐摩耗性が向上すること。
【０００８】
（ｂ）つまり、ほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層は、その構成成分であるＡｌ成分が硬質被覆層における高温硬さと耐熱性を向上させ、同Ｃｒ成分が高温強度を向上させ、ＣｒとＡｌの共存含有によって高温耐酸化性を向上させる作用があり、さらに、Ｍ成分のうちの、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、には硬質被覆層の耐摩耗性を向上させる作用があり、また、Ｙには硬質被覆層の高温耐酸化性を向上させる作用があるが、蒸着により形成された層の表面粗度が大きいため、これを切削工具の硬質被覆層として供した場合には、特に溶着性が高い被削材との潤滑性が不十分となり、その結果、これらの被削材の高速切削においては満足できる耐摩耗性を発揮し得なかったが、下部層の表面に、上部層表面に向かってＮの含有割合が減少する濃度分布構造を有する組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着形成すると、Ｎ含有割合が少ない該上部層の表面は、表面粗度が小さく平滑性が向上するため潤滑性にすぐれ、さらに、Ｎ含有割合が少ない表面層を備えた該上部層は高熱伝導性を有し熱放散性にもすぐれるため、軟鋼、ステンレス鋼等の溶着性の高い被削材の高速切削加工で、硬質被覆層が高温に加熱されても熱が直ちに放散され、過熱されることがなく、熱塑性変形あるいは偏摩耗を生じることもなく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮すること。
【０００９】
（ｃ）ほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層および組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層で構成された硬質被覆層は、例えば、図１に概略平面図で示される従来から知られているアークイオンプレーティング装置を用い、所定組成のＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、工具基体の表面に、ほぼ均一かつ所定組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を２〜１０μｍの平均層厚で蒸着形成した後、Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を継続させたまま、装置内雰囲気の窒素含有割合を徐々に低減することにより、０．３〜１μｍの平均層厚を有し、上部層表面の窒素含有割合が少ない組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着形成できること。
【００１０】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
「 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層として、２〜１０μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎγ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、γはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、
（ｂ）上部層として、０．３〜１μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎδ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、γはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合が、下部層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、
上記（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
【００１１】
つぎに、この発明の被覆工具の下部層、上部層に関し、上記の通りに数値限定した理由を説明する。
【００１２】
（ａ）下部層
下部層は、ほぼ均一組成のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層）で構成されているが、その構成成分であるＡｌ成分には硬質被覆層における高温硬さと耐熱性を向上させ、同Ｃｒ成分には高温強度を向上させ、ＣｒとＡｌの共存含有によって高温耐酸化性を向上させる作用があり、また、Ｍ成分のうちの、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、には硬質被覆層の耐摩耗性を向上させる作用があり、さらに、Ｙには硬質被覆層の高温耐酸化性を向上させる作用がある。ただ、ＡｌとＭとの合量に占めるＣｒの含有割合を示すα値（原子比）が、０．２未満であると、溶着性の高い被削材の高速切削加工において最小限必要とされる高温強度を確保することができないためチッピングを発生しやすくなり、一方、α値（原子比）が０．４を超えると、相対的なＡｌ含有割合の減少により、高温硬さの低下、耐熱性の低下が生じ、偏摩耗の発生、熱塑性変形の発生等により耐摩耗性の向上が期待できなくなり、さらに、ＡｌとＣｒとの合量に占めるＭ成分の含有割合を示すβ値（原子比）が０．０１未満では、Ｍ成分を含有させたことによる耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性向上が期待できず、一方、同β値が０．２５を超えると、高温強度に低下傾向が現れるようになることから、α値を０．２〜０．４、β値を０．０１〜０．２５と定めた。
なお、β値は、Ｍ成分として含有される、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙからなる各成分の含有割合の合計値である。
また、下部層における金属成分Ａｌ、Ｃｒ、Ｍの合計量を１とした場合、これら金属成分に対するＮ成分の含有割合（但し、原子比）を示すγ値が０．９≦γ≦１の範囲を外れると、溶着性の高い被削材の高速切削加工において必要とされる高温硬さと高温強度を保持することができなくなるため、Ｎ成分の含有割合（γ値）（但し、原子比）を０．９≦Ｙ≦１と定めた。
さらに、下部層の平均層厚が２μｍ未満では、自身のもつすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方その平均層厚が１０μｍを越えると、高速切削加工で切刃部にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚は２〜１０μｍと定めた。
【００１３】
（ｂ）上部層
上部層を構成する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層）は、下部層側から上部層表面に向かってＮ含有割合が減少する濃度分布構造を有している。そのため、下部層近傍の上部層は、下部層の平均組成に近い組成を有し、下部層と上部層は組成的に連続性をもった層として形成されることから、上部層と下部層という２層構造から硬質被覆層が形成されていたとしても、層間の接合強度が高く、かつ、すぐれた高温硬さ、高温強度、耐熱性を備えた上部層が形成される。一方、上部層の表面側へ向かうにしたがって、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層中のＮ含有割合が減少するため、上部層の表面には、熱伝導性、熱放散性にすぐれしかも表面平滑性のすぐれた層が形成され、被削材との潤滑性が改善される。
上部層の平均組成について、ＡｌとＣｒとＭの合量に占めるＣｒの含有割合（α値）、Ｍの含有割合（β値）は、下部層の場合と同様な理由から、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５と定めた。
また、上部層における金属成分Ａｌ、Ｃｒ、Ｍの合計量を１とした場合、これら金属成分に対するＮの含有割合については、上部層全体として、所定の高温硬さ、高温強度、耐熱性を確保する必要があるという点から、平均組成としてのＮの含有割合（δ値）は０．５≦δ＜１と定めた。
しかし、上部層の表面における層中のＮ成分の含有割合（ε値）が０．３５を超えると、上部層表面における熱伝導性、熱放散性、表面平滑性の向上効果が少なく、その結果、被削材との潤滑性、耐摩耗性が十分でなくなることから、上部層の表面におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｍの合計量を１とした場合、これら金属成分に対する上部層表面でのＮの含有割合（ε値）を０〜０．３５に定めた。なお、ここで、εの値が０（ゼロ）とは、上部層表面が、ＡｌとＣｒとＭの複合窒化物ではなく、ＡｌとＣｒとＭの合金で形成されていることに他ならないが、この発明では、上部層表面がＡｌとＣｒとＭの複合窒化物であるばかりでなく、Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金である場合をも含め、便宜上、ＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層）と称することにする（上部層表面がＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金である場合は、当然に、ε＝０である）。
また、組成傾斜型の上部層の平均層厚が０．３μｍ未満であると、すぐれた熱伝導性・熱放散性という特性を十分発揮することができず、また、その平均層厚が１μｍを超えると、被削材との間で溶着を生じやすくなることから、上部層の平均層厚は０．３〜１μｍと定めた。
したがって、均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層と、組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層とで形成された２層構造の硬質被覆層は、すぐれた高温硬さ、高温強度、耐熱性を備えるとともに、すぐれた熱伝導性、熱放散性、表面平滑性をも相兼ね備え、溶着性の高い被削材の高速切削加工においてすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の被覆工具は、硬質被覆層の下部層を構成するほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層がすぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度を具備し、また、下部層側から上部層表面に向かってＮ含有割合が減少する濃度分布構造を有する組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層が、前記の特性に加えて、すぐれた熱伝導性、熱放散性、表面平滑性を備えていることから、硬質被覆層は全体として、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度、熱放散性および潤滑性を備え、その結果、軟鋼、ステンレス鋼のような溶着性の高い被削材を、高い発熱を伴う高速条件下で切削加工した場合にも、硬質被覆層にチッピング、偏摩耗、熱塑性変形が生じることなく、長期に亘ってすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
【実施例１】
【００１６】
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０を形成した。
【００１７】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比で、ＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ２Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体Ｂ−１〜Ｂ−６を形成した。
【００１８】
（ａ）ついで、上記の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、また、カソード電極（蒸発源）として、所定組成のＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金を配置し、さらに、ボンバード洗浄用の金属Ｔｉからなるカソード電極を配置し、
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ金属Ｔｉからなるボンバード洗浄用カソード電極とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面をボンバード洗浄し、
（ｃ）次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して４Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、上記Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表３、表４に示される目標（均一）組成、目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着形成した後、
（ｄ）前記Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を継続させつつ、同時に、装置内雰囲気を窒素ガス雰囲気からアルゴンガス雰囲気へと徐々に切り替え、最終的には０．５Ｐａの窒素−アルゴン混合ガス雰囲気中あるいはアルゴンガス雰囲気中で、上記カソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させて、表３、表４に示される目標平均組成、目標表面Ｎ量、目標平均層厚の組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を上部層として蒸着形成することにより、
本発明被覆工具としての本発明表面被覆スローアウエイチップ（以下、本発明被覆チップと云う）１〜１６をそれぞれ製造した。
なお、実施例１〜３でいう「表面Ｎ量」とは、組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層の表面の組成を（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎεで表した場合のε値（但し、０≦ε≦０．３５）をいう。
【比較例１】
【００１９】
比較の目的で、上記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として所定の組成をもったＡｌ−Ｃｒ合金を装着し、まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、カソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面をボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記工具基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれの表面に、表５、表６に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を硬質被覆層として蒸着形成することにより、
比較被覆工具としての比較表面被覆スローアウエイチップ（以下、比較被覆チップと云う）１〜１６をそれぞれ製造した。
【００２０】
つぎに、上記の各種の被覆チップを、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆チップ１〜１６および比較被覆チップ１〜１６について、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ５５Ｃの丸棒、
切削速度： ３５０ ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： １．２ ｍｍ、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： １０ 分、
の条件（切削条件Ａ）での炭素鋼の乾式高速連続切削加工試験（通常の切削速度は、２００ｍ／ｍｉｎ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の丸棒、
切削速度： ３７０ ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： １０ 分、
の条件（切削条件Ｂ）での合金鋼の乾式高速連続切削加工試験（通常の切削速度は、２５０ｍ／ｍｉｎ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の丸棒、
切削速度： ２５０ ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： １．２ ｍｍ、
送り： ０．３ ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５ 分、
の条件（切削条件Ｃ）でのステンレス鋼の乾式高速断続切削加工試験（通常の切削速度は、１８０ｍ／ｍｉｎ．）、
を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表７に示した。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】
【表３】
【００２４】
【表４】
【００２５】
【表５】
【００２６】
【表６】
【００２７】
【表７】
【実施例２】
【００２８】
原料粉末として、平均粒径：５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍのＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒＣ粉末、同２．３μｍのＣｒ３Ｃ２粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ［質量比で、ＴｉＣ／ＷＣ＝５０／５０］粉末、および同１．８μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表８に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の工具基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、表１０に示される組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ６ｍｍ×１３ｍｍ、１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍｍの寸法、並びにいずれもねじれ角３０度の４枚刃スクエア形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（エンドミル）Ｃ−１〜Ｃ−８をそれぞれ製造した。
【００２９】
ついで、これらの工具基体（エンドミル）Ｃ−１〜Ｃ−８の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表９に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を下部層として、また、同じく表９に示される目標平均組成、目標表面Ｎ量、目標平均層厚の組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を上部層として蒸着形成することにより、
本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製エンドミル（以下、本発明被覆エンドミルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【比較例２】
【００３０】
比較の目的で、上記の工具基体（エンドミル）Ｃ−１〜Ｃ−８の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示される一つのカソード電極（蒸発源）を備えたアークイオンプレーティング装置に装入し、上記比較例１と同一の条件で、表１０に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着することにより、
比較被覆工具としての比較表面被覆超硬製エンドミル（以下、比較被覆エンドミルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【００３１】
つぎに、上記本発明被覆エンドミル１〜８および比較被覆エンドミル１〜８のうち、
本発明被覆エンドミル１〜３および比較被覆エンドミル１〜３については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ５５Ｃの板材、
切削速度： １５０ ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： ５ ｍｍ、
テーブル送り： ４００ ｍｍ／分、
の条件での炭素鋼の乾式高速溝切削加工試験（通常の切削速度は、１００ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆エンドミル４〜６および比較被覆エンドミル４〜６については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、
切削速度： １８０ ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： ８ ｍｍ、
テーブル送り： ４５０ ｍｍ／分、
の条件での合金鋼の乾式高速溝切削加工試験（通常の切削速度は、１２０ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆エンドミル７、８および比較被覆エンドミル７、８については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度： １６０ ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １６ ｍｍ、
テーブル送り： ３５０ ｍｍ／分、
の条件でのステンレス鋼の乾式高速溝切削加工試験（通常の切削速度は、１００ｍ／ｍｉｎ．）、
をそれぞれ行い、いずれの高速溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表９、１０にそれぞれ示した。
【００３２】
【表８】
【００３３】
【表９】
【００３４】
【表１０】
【実施例３】
【００３５】
上記の実施例２で製造した直径が８ｍｍ（工具基体Ｃ−１〜Ｃ−３形成用）、１３ｍｍ（工具基体Ｃ−４〜Ｃ−６形成用）、および２６ｍｍ（工具基体Ｃ−７、Ｃ−８形成用）の３種の丸棒焼結体を用い、この３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ（工具基体Ｄ−１〜Ｄ−３）、８ｍｍ×２２ｍｍ（工具基体Ｄ−４〜Ｄ−６）、および１６ｍｍ×４５ｍｍ（工具基体Ｄ−７、Ｄ−８）の寸法、並びにいずれもねじれ角３０度の２枚刃形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（ドリル）Ｄ−１〜Ｄ−８をそれぞれ製造した。
【００３６】
ついで、これらの工具基体（ドリル）Ｄ−１〜Ｄ−８の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１１に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を下部層として蒸着形成し、また、同じく表１１に示される目標平均組成、目標表面Ｎ量、目標平均層厚の組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を上部層として蒸着形成することにより、
本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製ドリル（以下、本発明被覆ドリルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【比較例３】
【００３７】
比較の目的で、上記の工具基体（ドリル）Ｄ−１〜Ｄ−８の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記比較例１と同一の条件で、表１２に示される目標（均一）組成および目標平均層厚を有する（Ａｌ，Ｃｒ、Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、
比較被覆工具としての比較表面被覆超硬製ドリル（以下、比較被覆ドリルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【００３８】
つぎに、上記本発明被覆ドリル１〜８および比較被覆ドリル１〜８のうち、本発明被覆ドリル１〜３および比較被覆ドリル１〜３については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ５５Ｃの板材、
切削速度： １４０ ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２０ ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ８ ｍｍ、
の条件での炭素鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度は、８０ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆ドリル４〜６および比較被覆ドリル４〜６については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、
切削速度： １５０ ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： １５ ｍｍ、
の条件での合金鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度は、８０ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆ドリル７、８および比較被覆ドリル７、８については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度： １４０ ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．１５ ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ２８ ｍｍ、
の条件でのステンレス鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度は、８０ ｍ／ｍｉｎ．）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表１１、１２にそれぞれ示した。
【００３９】
【表１１】
【００４０】
【表１２】
【００４１】
この結果得られた本発明被覆工具としての本発明被覆チップ１〜１６、本発明被覆エンドミル１〜８および本発明被覆ドリル１〜８の硬質被覆層の下部層を構成する均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の組成、並びに、比較被覆工具としての比較被覆チップ１〜１６、比較被覆エンドミル１〜８および比較被覆ドリル１〜８の均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の組成、さらに、上記本発明被覆工具の上部層を構成する組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の組成（即ち、目標平均組成および目標表面Ｎ量）を、オージェ分光分析法を用いての面分析により測定したところ、それぞれの目標組成と実質的に同じ組成を示した。
【００４２】
また、上記本発明被覆工具の均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層、組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層および上記比較被覆工具の均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の平均層厚を走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値（５ヶ所の平均値）を示した。
【００４３】
表７、表９〜１２に示される結果から、本発明被覆工具は、軟鋼やステンレス鋼のような溶着性の高い被削材を、高い発熱を伴う高速切削条件で切削加工した場合でも、均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ、Ｍ）Ｎ層からなる下部層が、すぐれた高温硬さ、耐熱性および高温強度を有し、かつ、組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層が、特にすぐれた熱伝導性、熱放散性、潤滑性を発揮し、硬質被覆層が過熱されることを防止し、偏摩耗、熱塑性変形の発生を抑えることによって、チッピングの発生もなく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ、Ｍ）Ｎ層のみで構成された比較被覆工具においては、熱伝導性、熱放散性、潤滑性が不十分であるため、高速切削時に発生する高熱によって、チッピング、熱塑性変形、偏摩耗等を生じ、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
【００４４】
上述のように、この発明の被覆工具は、一般鋼や普通鋳鉄など通常条件での切削加工は勿論のこと、軟鋼やステンレス鋼のような溶着性の高い被削材の高い熱発生を伴う高速切削加工においても、長期に亘ってすぐれた切削性能を示すものであるから、切削加工装置のＦＡ化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置の概略平面図である。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、軟鋼、ステンレス鋼などのように溶着性が高い被削材の切削加工を、高い発熱を伴う高速切削条件で行った場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、被覆工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
【０００３】
また、被覆工具として、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットで構成された工具基体の表面に、
組成式：（Ａｌ１−Ｐ−ＱＣｒＰＭＱ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分であり、また、Ｐ、Ｑは原子比によるＣｒ成分、Ｍ成分の含有割合を示す）
を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（以下、これらを総称して、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎで示す）からなる硬質被覆層を物理蒸着してなる被覆工具が知られており、かつ前記被覆工具の硬質被覆層である（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層が、構成成分であるＡｌによって高温硬さ、同Ｃｒによって高温強度、また、ＣｒとＡｌの共存含有によって耐熱性が向上し、さらに、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上からなるＭ成分が、硬質被覆層の耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性を向上させることから、これを各種の一般鋼や普通鋳鉄などの連続切削や断続切削加工に用いた場合にすぐれた切削性能を発揮することも知られている。
【０００４】
さらに、上記の被覆工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の工具基体を装入し、ヒータで装置内を、例えば５００℃の温度に加熱した状態で、硬質被覆層の目標組成に対応した所定組成を有するＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に、例えば電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記工具基体には、例えば−１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記工具基体の表面に、目標組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層をそれぞれ蒸着することにより製造されることも知られている。
【特許文献１】特開平９−４１１２７号公報
【特許文献２】特開２００４−１０６１８３号公報
【特許文献３】特開２００４−２６９９８５号公報
【特許文献４】特開２００６−８２２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の切削加工装置のＦＡ化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴って切削加工は一段と高速化するとともに切削工具の汎用性が求められる傾向にあるが、上記の従来被覆工具においては、これを低合金鋼、炭素鋼、鋳鉄などの通常の切削条件下での切削加工に用いた場合には問題はないが、特に、軟鋼、ステンレス鋼などのように溶着性が高い被削材の、高熱発生を伴う高速切削加工に用いた場合には、硬質被覆層の耐熱性、高温強度が不十分となり、その結果、チッピング（微少欠け）の発生、熱塑性変形、偏摩耗等による摩耗進行の促進により、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に軟鋼、ステンレス鋼等の溶着性が高い被削材の切削加工を、高い発熱を伴う高速切削条件で行った場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を示す被覆工具を開発すべく、上記の従来被覆工具に着目し、研究を行った結果、以下の知見を得た。
【０００７】
（ａ）上記従来被覆工具の硬質被覆層である（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層は、その層全体に亘ってほぼ単一な均一組成の層として構成されているが、これを、単一な均一組成の層とするのではなく、下部層と上部層の２層構造からなる層として構成し、そして、下部層は従来同様、ほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層として構成し、また、上部層は、下部層側から上部層表面に向かって（層厚方向に沿って）、該層の構成成分であるＮの含有割合が減少する組成傾斜型の濃度分布構造を有する（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層として形成すると、均一組成の下部層と組成傾斜型の上部層の２層構造からなる硬質被覆層は、所定の高温硬さ、高温強度、耐熱性を保持しつつ、さらに、すぐれた熱伝導性、熱放散性、潤滑性を有することにより、より一層耐摩耗性が向上すること。
【０００８】
（ｂ）つまり、ほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層は、その構成成分であるＡｌ成分が硬質被覆層における高温硬さと耐熱性を向上させ、同Ｃｒ成分が高温強度を向上させ、ＣｒとＡｌの共存含有によって高温耐酸化性を向上させる作用があり、さらに、Ｍ成分のうちの、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、には硬質被覆層の耐摩耗性を向上させる作用があり、また、Ｙには硬質被覆層の高温耐酸化性を向上させる作用があるが、蒸着により形成された層の表面粗度が大きいため、これを切削工具の硬質被覆層として供した場合には、特に溶着性が高い被削材との潤滑性が不十分となり、その結果、これらの被削材の高速切削においては満足できる耐摩耗性を発揮し得なかったが、下部層の表面に、上部層表面に向かってＮの含有割合が減少する濃度分布構造を有する組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着形成すると、Ｎ含有割合が少ない該上部層の表面は、表面粗度が小さく平滑性が向上するため潤滑性にすぐれ、さらに、Ｎ含有割合が少ない表面層を備えた該上部層は高熱伝導性を有し熱放散性にもすぐれるため、軟鋼、ステンレス鋼等の溶着性の高い被削材の高速切削加工で、硬質被覆層が高温に加熱されても熱が直ちに放散され、過熱されることがなく、熱塑性変形あるいは偏摩耗を生じることもなく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮すること。
【０００９】
（ｃ）ほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層および組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層で構成された硬質被覆層は、例えば、図１に概略平面図で示される従来から知られているアークイオンプレーティング装置を用い、所定組成のＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、工具基体の表面に、ほぼ均一かつ所定組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を２〜１０μｍの平均層厚で蒸着形成した後、Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を継続させたまま、装置内雰囲気の窒素含有割合を徐々に低減することにより、０．３〜１μｍの平均層厚を有し、上部層表面の窒素含有割合が少ない組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着形成できること。
【００１０】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
「 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層として、２〜１０μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎγ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、γはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、
（ｂ）上部層として、０．３〜１μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎδ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、γはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合が、下部層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、
上記（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
【００１１】
つぎに、この発明の被覆工具の下部層、上部層に関し、上記の通りに数値限定した理由を説明する。
【００１２】
（ａ）下部層
下部層は、ほぼ均一組成のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層）で構成されているが、その構成成分であるＡｌ成分には硬質被覆層における高温硬さと耐熱性を向上させ、同Ｃｒ成分には高温強度を向上させ、ＣｒとＡｌの共存含有によって高温耐酸化性を向上させる作用があり、また、Ｍ成分のうちの、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、には硬質被覆層の耐摩耗性を向上させる作用があり、さらに、Ｙには硬質被覆層の高温耐酸化性を向上させる作用がある。ただ、ＡｌとＭとの合量に占めるＣｒの含有割合を示すα値（原子比）が、０．２未満であると、溶着性の高い被削材の高速切削加工において最小限必要とされる高温強度を確保することができないためチッピングを発生しやすくなり、一方、α値（原子比）が０．４を超えると、相対的なＡｌ含有割合の減少により、高温硬さの低下、耐熱性の低下が生じ、偏摩耗の発生、熱塑性変形の発生等により耐摩耗性の向上が期待できなくなり、さらに、ＡｌとＣｒとの合量に占めるＭ成分の含有割合を示すβ値（原子比）が０．０１未満では、Ｍ成分を含有させたことによる耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性向上が期待できず、一方、同β値が０．２５を超えると、高温強度に低下傾向が現れるようになることから、α値を０．２〜０．４、β値を０．０１〜０．２５と定めた。
なお、β値は、Ｍ成分として含有される、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙからなる各成分の含有割合の合計値である。
また、下部層における金属成分Ａｌ、Ｃｒ、Ｍの合計量を１とした場合、これら金属成分に対するＮ成分の含有割合（但し、原子比）を示すγ値が０．９≦γ≦１の範囲を外れると、溶着性の高い被削材の高速切削加工において必要とされる高温硬さと高温強度を保持することができなくなるため、Ｎ成分の含有割合（γ値）（但し、原子比）を０．９≦Ｙ≦１と定めた。
さらに、下部層の平均層厚が２μｍ未満では、自身のもつすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方その平均層厚が１０μｍを越えると、高速切削加工で切刃部にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚は２〜１０μｍと定めた。
【００１３】
（ｂ）上部層
上部層を構成する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層）は、下部層側から上部層表面に向かってＮ含有割合が減少する濃度分布構造を有している。そのため、下部層近傍の上部層は、下部層の平均組成に近い組成を有し、下部層と上部層は組成的に連続性をもった層として形成されることから、上部層と下部層という２層構造から硬質被覆層が形成されていたとしても、層間の接合強度が高く、かつ、すぐれた高温硬さ、高温強度、耐熱性を備えた上部層が形成される。一方、上部層の表面側へ向かうにしたがって、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層中のＮ含有割合が減少するため、上部層の表面には、熱伝導性、熱放散性にすぐれしかも表面平滑性のすぐれた層が形成され、被削材との潤滑性が改善される。
上部層の平均組成について、ＡｌとＣｒとＭの合量に占めるＣｒの含有割合（α値）、Ｍの含有割合（β値）は、下部層の場合と同様な理由から、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５と定めた。
また、上部層における金属成分Ａｌ、Ｃｒ、Ｍの合計量を１とした場合、これら金属成分に対するＮの含有割合については、上部層全体として、所定の高温硬さ、高温強度、耐熱性を確保する必要があるという点から、平均組成としてのＮの含有割合（δ値）は０．５≦δ＜１と定めた。
しかし、上部層の表面における層中のＮ成分の含有割合（ε値）が０．３５を超えると、上部層表面における熱伝導性、熱放散性、表面平滑性の向上効果が少なく、その結果、被削材との潤滑性、耐摩耗性が十分でなくなることから、上部層の表面におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｍの合計量を１とした場合、これら金属成分に対する上部層表面でのＮの含有割合（ε値）を０〜０．３５に定めた。なお、ここで、εの値が０（ゼロ）とは、上部層表面が、ＡｌとＣｒとＭの複合窒化物ではなく、ＡｌとＣｒとＭの合金で形成されていることに他ならないが、この発明では、上部層表面がＡｌとＣｒとＭの複合窒化物であるばかりでなく、Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金である場合をも含め、便宜上、ＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層（（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層）と称することにする（上部層表面がＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金である場合は、当然に、ε＝０である）。
また、組成傾斜型の上部層の平均層厚が０．３μｍ未満であると、すぐれた熱伝導性・熱放散性という特性を十分発揮することができず、また、その平均層厚が１μｍを超えると、被削材との間で溶着を生じやすくなることから、上部層の平均層厚は０．３〜１μｍと定めた。
したがって、均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層と、組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層とで形成された２層構造の硬質被覆層は、すぐれた高温硬さ、高温強度、耐熱性を備えるとともに、すぐれた熱伝導性、熱放散性、表面平滑性をも相兼ね備え、溶着性の高い被削材の高速切削加工においてすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の被覆工具は、硬質被覆層の下部層を構成するほぼ均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層がすぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度を具備し、また、下部層側から上部層表面に向かってＮ含有割合が減少する濃度分布構造を有する組成傾斜型の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層が、前記の特性に加えて、すぐれた熱伝導性、熱放散性、表面平滑性を備えていることから、硬質被覆層は全体として、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度、熱放散性および潤滑性を備え、その結果、軟鋼、ステンレス鋼のような溶着性の高い被削材を、高い発熱を伴う高速条件下で切削加工した場合にも、硬質被覆層にチッピング、偏摩耗、熱塑性変形が生じることなく、長期に亘ってすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
【実施例１】
【００１６】
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０を形成した。
【００１７】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比で、ＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ２Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体Ｂ−１〜Ｂ−６を形成した。
【００１８】
（ａ）ついで、上記の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、また、カソード電極（蒸発源）として、所定組成のＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金を配置し、さらに、ボンバード洗浄用の金属Ｔｉからなるカソード電極を配置し、
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ金属Ｔｉからなるボンバード洗浄用カソード電極とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面をボンバード洗浄し、
（ｃ）次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して４Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、上記Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表３、表４に示される目標（均一）組成、目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着形成した後、
（ｄ）前記Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を継続させつつ、同時に、装置内雰囲気を窒素ガス雰囲気からアルゴンガス雰囲気へと徐々に切り替え、最終的には０．５Ｐａの窒素−アルゴン混合ガス雰囲気中あるいはアルゴンガス雰囲気中で、上記カソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させて、表３、表４に示される目標平均組成、目標表面Ｎ量、目標平均層厚の組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を上部層として蒸着形成することにより、
本発明被覆工具としての本発明表面被覆スローアウエイチップ（以下、本発明被覆チップと云う）１〜１６をそれぞれ製造した。
なお、実施例１〜３でいう「表面Ｎ量」とは、組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層の表面の組成を（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎεで表した場合のε値（但し、０≦ε≦０．３５）をいう。
【比較例１】
【００１９】
比較の目的で、上記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として所定の組成をもったＡｌ−Ｃｒ合金を装着し、まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、カソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面をボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記工具基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれの表面に、表５、表６に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を硬質被覆層として蒸着形成することにより、
比較被覆工具としての比較表面被覆スローアウエイチップ（以下、比較被覆チップと云う）１〜１６をそれぞれ製造した。
【００２０】
つぎに、上記の各種の被覆チップを、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆チップ１〜１６および比較被覆チップ１〜１６について、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ５５Ｃの丸棒、
切削速度： ３５０ ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： １．２ ｍｍ、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： １０ 分、
の条件（切削条件Ａ）での炭素鋼の乾式高速連続切削加工試験（通常の切削速度は、２００ｍ／ｍｉｎ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の丸棒、
切削速度： ３７０ ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： １０ 分、
の条件（切削条件Ｂ）での合金鋼の乾式高速連続切削加工試験（通常の切削速度は、２５０ｍ／ｍｉｎ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の丸棒、
切削速度： ２５０ ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： １．２ ｍｍ、
送り： ０．３ ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５ 分、
の条件（切削条件Ｃ）でのステンレス鋼の乾式高速断続切削加工試験（通常の切削速度は、１８０ｍ／ｍｉｎ．）、
を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表７に示した。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】
【表３】
【００２４】
【表４】
【００２５】
【表５】
【００２６】
【表６】
【００２７】
【表７】
【実施例２】
【００２８】
原料粉末として、平均粒径：５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍのＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒＣ粉末、同２．３μｍのＣｒ３Ｃ２粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ［質量比で、ＴｉＣ／ＷＣ＝５０／５０］粉末、および同１．８μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表８に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の工具基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、表１０に示される組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ６ｍｍ×１３ｍｍ、１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍｍの寸法、並びにいずれもねじれ角３０度の４枚刃スクエア形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（エンドミル）Ｃ−１〜Ｃ−８をそれぞれ製造した。
【００２９】
ついで、これらの工具基体（エンドミル）Ｃ−１〜Ｃ−８の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表９に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を下部層として、また、同じく表９に示される目標平均組成、目標表面Ｎ量、目標平均層厚の組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を上部層として蒸着形成することにより、
本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製エンドミル（以下、本発明被覆エンドミルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【比較例２】
【００３０】
比較の目的で、上記の工具基体（エンドミル）Ｃ−１〜Ｃ−８の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示される一つのカソード電極（蒸発源）を備えたアークイオンプレーティング装置に装入し、上記比較例１と同一の条件で、表１０に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を蒸着することにより、
比較被覆工具としての比較表面被覆超硬製エンドミル（以下、比較被覆エンドミルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【００３１】
つぎに、上記本発明被覆エンドミル１〜８および比較被覆エンドミル１〜８のうち、
本発明被覆エンドミル１〜３および比較被覆エンドミル１〜３については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ５５Ｃの板材、
切削速度： １５０ ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： ５ ｍｍ、
テーブル送り： ４００ ｍｍ／分、
の条件での炭素鋼の乾式高速溝切削加工試験（通常の切削速度は、１００ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆エンドミル４〜６および比較被覆エンドミル４〜６については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、
切削速度： １８０ ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： ８ ｍｍ、
テーブル送り： ４５０ ｍｍ／分、
の条件での合金鋼の乾式高速溝切削加工試験（通常の切削速度は、１２０ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆エンドミル７、８および比較被覆エンドミル７、８については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度： １６０ ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １６ ｍｍ、
テーブル送り： ３５０ ｍｍ／分、
の条件でのステンレス鋼の乾式高速溝切削加工試験（通常の切削速度は、１００ｍ／ｍｉｎ．）、
をそれぞれ行い、いずれの高速溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表９、１０にそれぞれ示した。
【００３２】
【表８】
【００３３】
【表９】
【００３４】
【表１０】
【実施例３】
【００３５】
上記の実施例２で製造した直径が８ｍｍ（工具基体Ｃ−１〜Ｃ−３形成用）、１３ｍｍ（工具基体Ｃ−４〜Ｃ−６形成用）、および２６ｍｍ（工具基体Ｃ−７、Ｃ−８形成用）の３種の丸棒焼結体を用い、この３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ（工具基体Ｄ−１〜Ｄ−３）、８ｍｍ×２２ｍｍ（工具基体Ｄ−４〜Ｄ−６）、および１６ｍｍ×４５ｍｍ（工具基体Ｄ−７、Ｄ−８）の寸法、並びにいずれもねじれ角３０度の２枚刃形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（ドリル）Ｄ−１〜Ｄ−８をそれぞれ製造した。
【００３６】
ついで、これらの工具基体（ドリル）Ｄ−１〜Ｄ−８の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１１に示される目標（均一）組成および目標平均層厚の（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を下部層として蒸着形成し、また、同じく表１１に示される目標平均組成、目標表面Ｎ量、目標平均層厚の組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を上部層として蒸着形成することにより、
本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製ドリル（以下、本発明被覆ドリルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【比較例３】
【００３７】
比較の目的で、上記の工具基体（ドリル）Ｄ−１〜Ｄ−８の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記比較例１と同一の条件で、表１２に示される目標（均一）組成および目標平均層厚を有する（Ａｌ，Ｃｒ、Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、
比較被覆工具としての比較表面被覆超硬製ドリル（以下、比較被覆ドリルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【００３８】
つぎに、上記本発明被覆ドリル１〜８および比較被覆ドリル１〜８のうち、本発明被覆ドリル１〜３および比較被覆ドリル１〜３については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ５５Ｃの板材、
切削速度： １４０ ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２０ ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ８ ｍｍ、
の条件での炭素鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度は、８０ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆ドリル４〜６および比較被覆ドリル４〜６については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、
切削速度： １５０ ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： １５ ｍｍ、
の条件での合金鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度は、８０ｍ／ｍｉｎ．）、
本発明被覆ドリル７、８および比較被覆ドリル７、８については、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度： １４０ ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．１５ ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ２８ ｍｍ、
の条件でのステンレス鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度は、８０ ｍ／ｍｉｎ．）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表１１、１２にそれぞれ示した。
【００３９】
【表１１】
【００４０】
【表１２】
【００４１】
この結果得られた本発明被覆工具としての本発明被覆チップ１〜１６、本発明被覆エンドミル１〜８および本発明被覆ドリル１〜８の硬質被覆層の下部層を構成する均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の組成、並びに、比較被覆工具としての比較被覆チップ１〜１６、比較被覆エンドミル１〜８および比較被覆ドリル１〜８の均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の組成、さらに、上記本発明被覆工具の上部層を構成する組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の組成（即ち、目標平均組成および目標表面Ｎ量）を、オージェ分光分析法を用いての面分析により測定したところ、それぞれの目標組成と実質的に同じ組成を示した。
【００４２】
また、上記本発明被覆工具の均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層、組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層および上記比較被覆工具の均一組成（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の平均層厚を走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値（５ヶ所の平均値）を示した。
【００４３】
表７、表９〜１２に示される結果から、本発明被覆工具は、軟鋼やステンレス鋼のような溶着性の高い被削材を、高い発熱を伴う高速切削条件で切削加工した場合でも、均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ、Ｍ）Ｎ層からなる下部層が、すぐれた高温硬さ、耐熱性および高温強度を有し、かつ、組成傾斜型（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる上部層が、特にすぐれた熱伝導性、熱放散性、潤滑性を発揮し、硬質被覆層が過熱されることを防止し、偏摩耗、熱塑性変形の発生を抑えることによって、チッピングの発生もなく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が均一組成の（Ａｌ，Ｃｒ、Ｍ）Ｎ層のみで構成された比較被覆工具においては、熱伝導性、熱放散性、潤滑性が不十分であるため、高速切削時に発生する高熱によって、チッピング、熱塑性変形、偏摩耗等を生じ、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
【００４４】
上述のように、この発明の被覆工具は、一般鋼や普通鋳鉄など通常条件での切削加工は勿論のこと、軟鋼やステンレス鋼のような溶着性の高い被削材の高い熱発生を伴う高速切削加工においても、長期に亘ってすぐれた切削性能を示すものであるから、切削加工装置のＦＡ化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置の概略平面図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層として、２〜１０μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎγ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、γはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、
（ｂ）上部層として、０．３〜１μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎδ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、δはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合が、下部層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、
上記（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具。
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層として、２〜１０μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎγ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．９≦γ≦１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、γはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する均一組成のＡｌとＣｒのＭの複合窒化物層、
（ｂ）上部層として、０．３〜１μｍの平均層厚を有し、その組成を、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎδ
で表した場合、原子比で、０．２≦α≦０．４、０．０１≦β≦０．２５、０．５≦δ＜１（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合、δはＮの含有割合をそれぞれ示す）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合が、下部層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（ε値）が、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層、
上記（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具。
【図１】
【公開番号】特開２００９−９５９１５（Ｐ２００９−９５９１５Ａ）
【公開日】平成２１年５月７日（２００９．５．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２６８５３４（Ｐ２００７−２６８５３４）
【出願日】平成１９年１０月１６日（２００７．１０．１６）
【出願人】（０００００６２６４）三菱マテリアル株式会社 (4,417)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年５月７日（２００９．５．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１０月１６日（２００７．１０．１６）
【出願人】（０００００６２６４）三菱マテリアル株式会社 (4,417)
【Ｆターム（参考）】
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