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Fターム[4K029JA03]の内容

物理蒸着 (93,067) | 基体支持 (2,291) | 基体ホルダー (1,340) | 回転機構 (957) | プラネタリー式 (178)

Fターム[4K029JA03]に分類される特許

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【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、下部層としてアークイオンプレーティングで蒸着形成されたCrとAlの複合窒化物層、上部層としてアークイオンプレーティングとスパッタリングの同時蒸着により形成されたCrとAlとMoとSの複合窒化物層を設けた表面被覆切削工具であって、上部層は、層厚方向にそって、Al−Cr最高含有点とMo−S最高含有点とが0.03〜0.1μmの間隔をおいて交互に繰り返し存在する平均層厚1〜8μmの組成変化(Al,Cr,Mo,S)N層からなる。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、下部層としてアークイオンプレーティングで蒸着形成されたTiとAlの複合窒化物層、上部層としてアークイオンプレーティングとスパッタリングの同時蒸着により形成されたTiとAlとMoとSの複合窒化物層を設けた表面被覆切削工具であって、上部層は、層厚方向にそって、Al−Ti最高含有点とMo−S最高含有点とが0.03〜0.1μmの間隔をおいて交互に繰り返し存在する平均層厚1〜8μmの組成変化(Al,Ti,Mo,S)N層からなる。 (もっと読む)


【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−Cr−V最高含有点とW−C最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,V,W,C)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−Cr−V最高含有点におけるAl、Cr、V、W、Cの含有割合は、それぞれ、0.3〜0.5、0.2〜0.35、0.1〜0.2、0.05〜0.25、0.05〜0.15であり、また、W−C最高含有点におけるAl、Cr、V、W、Cの含有割合は、それぞれ、0.1〜0.25、0.05〜0.15、0.01〜0.05、0.35〜0.45、0.25〜0.35である。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、下部層としてアークイオンプレーティングで蒸着形成されたTiとAlとSiの複合窒化物層、上部層としてアークイオンプレーティングとスパッタリングの同時蒸着により形成されたTiとAlとSiとMoとSの複合窒化物層を設けた表面被覆切削工具であって、上部層は、層厚方向にそって、Al−Ti−Si最高含有点とMo−S最高含有点とが0.03〜0.1μmの間隔をおいて交互に繰り返し存在する平均層厚1〜8μmの組成変化(Al,Ti,Si,Mo,S)N層からなる。 (もっと読む)


【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−Ti最高含有点とSi−C最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Ti,Si,C)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−Ti最高含有点におけるAl、Ti、Si、Cの含有割合は、それぞれ、0.3〜0.5、0.2〜0.3、0.05〜0.2、0.05〜0.2であり、また、Si−C最高含有点におけるAl、Ti、Si、Cの含有割合は、それぞれ、0.1〜0.25、0.05〜0.15、0.3〜0.45、0.3〜0.45である。 (もっと読む)


【課題】特に凹曲面状の被成膜面を有する被成膜体に対して、異なる形状や寸法のものが混載されていても均一な膜厚の薄膜が形成されるように制御することが可能な成膜制御装置を提供する。
【解決手段】被成膜体Wの凹曲面状をなす被成膜面Waへの成膜を制御する成膜制御装置16であって、被成膜面Waがなす凹曲面の底部と開口部の中央部とを結ぶ中心線Cに沿って延びるように配設される軸部材17と、この軸部材17の外周に突出するように設けられて、被成膜体Wに対して着脱自在かつ中心線C方向の位置が調整可能とされる制御部材19とを備える。 (もっと読む)


【課題】被成膜体の形状や寸法に応じた最適な傾斜角度に自転軸線を設定することができ、しかも個々の自転ドームにモーター等の駆動手段を要したりすることのない真空成膜装置を提供する。
【解決手段】真空容器1内に収容された被成膜体Wを回転機構によって回転させながら、成膜物質の発生機構5により薄膜を形成する真空成膜装置であって、回転機構においては、公転軸線O回りに回転される公転ドーム6に、公転軸線Oに対して傾斜した自転軸線P回りに回転される自転ドーム7が取り付けられて被成膜体Wが取り付けられ、この自転ドーム7は、その自転軸線Pの公転軸線Oに対する傾斜角度と、その公転ドーム6に対する位置との少なくとも一方が調整可能とされるとともに、公転ドーム6の回転による回転力が可撓性を有する伝達部材14を介して伝達させられて回転させられる。 (もっと読む)


【課題】一方では、被覆チャンバの内部の位置(部位)から被覆チャンバの外部の位置(部位)に情報を伝達し、他方では、被覆チャンバの外部の位置(部位)から被覆チャンバの内部の位置(部位)に命令を伝達することを、簡単且つフレキシブルな態様で可能にする手段を備えた被覆装置を提供する。
【解決手段】被覆チャンバ(2001)と、該被覆チャンバ(2001)内に可動に配され被覆されるべき基板(2003)を受容するための少なくとも1つの基板ホルダ(2002)と、無線装置を有する被覆装置(2000)であって、前記無線装置は、少なくとも、前記基板ホルダ(2002)に結合される第1無線器(2004)と、少なくとも部分的に前記被覆チャンバ(2001)の外部に配される第2無線器(2005)を有すること、前記第1無線器(2004)と前記第2無線器(2005)との間に、情報を伝送するための無線リンクが少なくとも一時的に形成されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】、基板に形成される膜の膜厚の均一性をより向上しつつ、回転制御が簡単であり、しかも、小型コンパクトに形成することのできる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】サンギヤ12、プラネタリギヤ13、キャリヤ14、およびインターナルギヤ15がリングギヤ19に、ジンバル機構24の支持ピン25で支持される。サンギヤ12には、自転制御モータ10の駆動力がユニバーサルジョイント11を介して伝達される。また、リングギヤ19には、公転制御モータ22の駆動力が公転制御ギヤ20′を介して伝達される。1つのプラネタリギヤ13の回転軸13aに。基板16を保持する基板ホルダー17が一体回転可能に取り付けられている。料モータ10,22を駆動制御することで、基板16の公転速度および自転速度が制御され、基板16は均一に蒸着される。 (もっと読む)


【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−Cr最高含有点とTi−B最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,Ti,B)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−Cr最高含有点におけるAl、Cr、Ti、Bの含有割合は、それぞれ、0.40〜0.60、0.30〜0.50、0.01〜0.10、0.01〜0.10であり、また、Ti−B最高含有点におけるAl、Cr、Ti、Bの含有割合は、それぞれ、0.05〜0.20、0.05〜0.20、0.25〜0.40、0.40〜0.55である。 (もっと読む)


【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜5μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−Cr−Si最高含有点とTi−B最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,Si,Ti,B)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−Cr−Si最高含有点におけるAl、Cr、Si、Ti、Bの含有割合は、それぞれ、0.40〜0.60、0.30〜0.45、0.005〜0.10、0.02〜0.10、0.01〜0.10であり、また、Ti−B最高含有点におけるAl、Cr、Si、Ti、Bの含有割合は、それぞれ、0.05〜0.20、0.05〜0.20、0.001〜0.03、0.25〜0.40、0.40〜0.55である。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−V−Si最高含有点とB最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,V,Si,B)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−V−Si最高含有点におけるAl、Cr、V、Si、Bの含有割合は、それぞれ、0.40〜0.60、0.20〜0.40、0.05〜0.20、0.01〜0.10、0.01〜0.10であり、また、B最高含有点におけるAl、Cr、V、Si、Bの含有割合は、それぞれ、0.05〜0.20、0.25〜0.45、0.01〜0.07、0.001〜0.03、0.40〜0.55である。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−V最高含有点とB最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,V,B)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−V最高含有点におけるAl、Cr、V、Bの含有割合は、それぞれ、0.40〜0.60、0.30〜0.50、0.05〜0.10、0.01〜0.10であり、また、B最高含有点におけるAl、Cr、V、Bの含有割合は、それぞれ、0.05〜0.19、0.25〜0.45、0.01〜0.08、0.40〜0.55である。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−Ti−Si最高含有点とB最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,Ti,Si,B)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−Ti−Si最高含有点におけるAl、Cr、Ti、Si、Bの含有割合は、それぞれ、0.40〜0.60、0.20〜0.40、0.05〜0.20、0.01〜0.10、0.01〜0.10であり、また、B最高含有点におけるAl、Cr、Ti、Si、Bの含有割合は、それぞれ、0.05〜0.20、0.25〜0.45、0.01〜0.07、0.001〜0.03、0.40〜0.55である。 (もっと読む)


本発明は、真空コーティング設備の中で物体(12)を旋回させるための装置に関する。この装置は、支持体(2)上で回転軸(23)を中心として回転自在に取り付けられている、物体(12)のためのホルダ(10)と、力発生器による回転軸(23)を中心とした回転によってホルダ(10)を旋回させる旋回手段(2,4,28)と、を具備する。本発明では、旋回手段(2,4,8)が、機械的な連結なしに、および旋回手段(2,4,8)とホルダ(10)との間の可動な機械的な構成部材なしにホルダ(10)を旋回させる力を発生させることが提案されている。本発明は、物体(12)を旋回するための対応の方法に関し、特に眼科用のプラスチックレンズ(12)を旋回するための装置または方法の使用に関する。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速重切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−Cr最高含有点とTi−Si最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,Ti,Si)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−Cr最高含有点におけるAl、Cr、Ti、Siの含有割合は、それぞれ、0.35〜0.50、0.15〜0.35、0.25〜0.45、0.03〜0.10であり、また、Ti−Si最高含有点におけるAl、Cr、Ti、Siの含有割合は、それぞれ、0.10〜0.25、0.10〜0.25、0.50〜0.70、0.10〜0.25である。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al最高含有点とTi−Si最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Ti,Si)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al最高含有点におけるAl、Ti、Siの含有割合は、それぞれ、0.35〜0.60、0.35〜0.55、0.03〜0.10であり、また、Ti−Si最高含有点におけるAl、Ti、Siの含有割合は、それぞれ、0.10〜0.25、0.60〜0.80、0.10〜0.25である。 (もっと読む)


【課題】高硬度鋼の高速切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al最高含有点とCr−Si最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,Si)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al最高含有点におけるAl、Cr、Siの含有割合は、それぞれ、0.35〜0.60、0.35〜0.55、0.03〜0.10であり、また、Cr−Si最高含有点におけるAl、Cr、Siの含有割合は、それぞれ、0.10〜0.25、0.60〜0.80、0.10〜0.25である。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al−Si最高含有点とB最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,Si,B)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al−Si最高含有点におけるAl、Cr、Si、Bの含有割合は、それぞれ、0.4〜0.65、0.3〜0.50、0.05〜0.15、0.05〜0.20であり、また、B最高含有点におけるAl、Cr、Si、Bの含有割合は、それぞれ、0.15〜0.35、0.25〜0.4、0.01〜0.03、0.40〜0.55である。 (もっと読む)


【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、1〜8μmの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Al最高含有点とB最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化(Al,Cr,B)N層を被覆した表面被覆切削工具において、Al最高含有点におけるAl、Cr、Bの含有割合は、それぞれ、0.4〜0.65、0.3〜0.50、0.05〜0.20であり、また、B最高含有点におけるAl、Cr、Bの含有割合は、それぞれ、0.15〜0.35、0.25〜0.4、0.40〜0.55である。 (もっと読む)


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