本発明は、カーボンの基材上に耐摩耗層を備えた基材をコーティングするための、下記ステップｉ）カーボンに対する親和性を有する物質を含む基材を準備し、ｉｉ）該基材の表面を洗浄し、ｉｉｉ）該基材上に金属含有層を堆積し、ｉｖ）該コーティングされた表面にイオン衝撃を加え、ｖ）表面上にカーボン層を堆積する、を備えたプロセスに関する。さらに、本発明は、基材表面上にダイヤモンドライクカーボンコーティングを備えた基材、および該発明を実施するための装置に関する。
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【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点とＷ−Ｃ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｗ，Ｃ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．３〜０．５、０．１〜０．２５、０．０１〜０．１、０．０１〜０．３、０．０５〜０．３であり、また、Ｗ−Ｃ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｗ、Ｃの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．３、０．０３〜０．２５、０．０１〜０．２、０．２５〜０．５、０．１５〜０．３５である。 （もっと読む）

【課題】硬質難削材の高速連続切削加工ですぐれた仕上げ面精度を長期に亘って発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】分散相を形成する立方晶窒化ほう素相と連続相を形成する窒化チタン相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有するインサート本体の表面に硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具において、（ａ）硬質被覆層は、１〜３μｍの平均層厚を有する下部層と０．３〜３μｍの平均層厚を有する上部層とからなり、（ｂ）下部層は、特定の組成式を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層からなり、（ｃ）上部層は、一層平均層厚がそれぞれ０．０５〜０．３μｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａは、特定の組成式を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層、薄層Ｂは、Ｃｒ窒化物（ＣｒＮ）層からなる。 （もっと読む）

【課題】硬質難削材の高速切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】窒化チタン１３〜３０％、アルミニウムおよび／または酸化アルミニウム６〜１８％、残部窒化ほう素（以上、いずれも質量％）からなる圧粉体の超高圧焼結材料で構成され、分散相を形成する立方晶窒化ほう素相と連続相を形成する窒化チタン相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具において、（ａ）硬質被覆層は、１〜３μｍの平均層厚を有する下部層と０．３〜３μｍの平均層厚を有する上部層とからなり、（ｂ）下部層は、特定の組成式：［Ｔｉ_１−ＸＡｌ_Ｘ］Ｎからなり、（ｃ）上部層は、一層平均層厚がそれぞれ０．０５〜０．３μｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａは、特定の組成式：［Ｔｉ_１−ＸＡｌ_Ｘ］Ｎからなる。 （もっと読む）

【課題】硬質難削材の高速切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】窒化チタン１３〜３０％、アルミニウムおよび／または酸化アルミニウム６〜１８％、残部窒化ほう素（以上、いずれも質量％）からなる圧粉体の超高圧焼結材料で構成され、分散相を形成する立方晶窒化ほう素相と連続相を形成する窒化チタン相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具において、（ａ）硬質被覆層は、下部層と上部層とからなり、（ｂ）下部層は、特定の組成式：（Ｔｉ_{１−Ｘ−Ｙ}Ａｌ_ＸＳｉ_Ｙ）Ｎを満足するＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層からなり、（ｃ）上部層は、一層平均層厚がそれぞれ０．０５〜０．３μｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａは、特定組成式：（Ｔｉ_{１−Ｘ−Ｙ}Ａｌ_ＸＳｉ_Ｙ）Ｎからなる。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｔｉ最高含有点とＣｒ−Ｂ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｂ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｔｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｂの含有割合はそれぞれ、０．４０〜０．６０、０．３０〜０．５０、０．０１〜０．１０、０．０１〜０．１０であり、また、Ｃｒ−Ｂ最高含有点におけるＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．２０、０．０５〜０．２０、０．２５〜０．４０、０．４０〜０．５５である。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点とＣｒ−Ｂ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ，Ｃｒ，Ｂ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．４０〜０．６０、０．３０〜０．４５、０．００５〜０．１０、０．０１〜０．１０、０．０１〜０．１０であり、また、Ｃｒ−Ｂ最高含有点におけるＡｌ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｂの含有割合は、それぞれ、０．０５〜０．２０、０．０５〜０．２０、０．００１〜０．０３、０．２５〜０．４０、０．４０〜０．５５である。 （もっと読む）

【課題】摺動性と耐摩耗性とを両立する新規の構成の摺動層を備える摺動部材を提供する。
【解決手段】本発明の摺動部材は、基材３０と、基材３０の表面の少なくとも一部に形成され相手材と摺接する摺動層３１と、を備え、摺動層３１は、Ｃと、ＭｏＳ_２および／またはＷＳ_２と、Ｔｉおよび／またはＣｒと、からなり、基材３０の表面に形成され５〜２０ａｔ％のＴｉおよび／またはＣｒを含む第一摺動層３１１と、第一摺動層３１１に積層され第一摺動層３１１が最も高濃度となるように厚さ方向に濃度が傾斜したＴｉおよび／またはＣｒを含む第二摺動層３１２と、からなることを特徴とする。第一摺動層３１１は、Ｔｉおよび／またはＣｒを５〜２０ａｔ％含有する硬質な層であり、摺動の際の耐摩耗性が確保される。Ｔｉおよび／またはＣｒの濃度が傾斜する第二摺動層３１２は、優れた初期なじみ性を示し摺動性に優れる。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{１−Ｘ−Ｙ}Ａｌ_ＸＳｉ_Ｙ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０を示す）を満足するＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）それぞれ０．４〜２μｍの一層平均層厚を有する窒化バナジウム層と酸化バナジウム層の交互積層構造からなり、かつ、各層間には０．０２〜０．２μｍの一層平均層厚を有する酸窒化バナジウム層を介在させた、１〜５μｍの全体平均層厚を有する上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{１−Ｘ−Ｙ−Ｚ}Ａｌ_ＸＳｉ_ＹＣｒ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０、Ｚは０．０１〜０．１５を示す）を満足するＴｉとＡｌとＳｉとＣｒの複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）それぞれ０．４〜２μｍの一層平均層厚を有する窒化バナジウム層と酸化バナジウム層の交互積層構造からなり、かつ、各層間には０．０２〜０．２μｍの一層平均層厚を有する酸窒化バナジウム層を介在させた、１〜５μｍの全体平均層厚を有する上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】緻密かつ均一な膜を高い成膜速度にて形成することができる成膜装置及び成膜方法を提供すること。
【解決手段】成膜対象となる基材５を配置する真空槽１１内にプラズマを発生するプラズマ発生手段２と、プラズマ発生手段２によって発生させたプラズマを基材５の周辺の閉込め空間に閉じ込めるマルチカスプ磁界を形成するマルチカスプ磁界発生手段３と、基材５を保持すると共に閉込め空間の中心近傍を中心軸として回転する保持回転手段４とを有することを特徴とする成膜装置１。真空槽１１内に、プラズマを発生させると共に、プラズマを基材５の周辺の閉込め空間に閉じ込めるマルチカスプ磁界を形成し、基材５を閉込め空間の中心近傍を中心軸として回転させながら、基材５の表面に成膜を行うことを特徴とする成膜方法。 （もっと読む）

【課題】電磁波シールド特性に優れたＣｕを高い生産性で成膜することが可能な真空メッキ法を用いて作製することができ、ウイスカが発生しない保護膜を備え、導電性、シールド特性、密着性および耐食性に優れ、かつ、コストおよび生産性においても優れた電磁波シールド膜を提供する。
【解決手段】複数のプラスチック成型品をロット毎に処理し、各ロットにおいて、真空メッキ法で、成型品の表面にＣｕ膜からなる第１層を形成し、得られたＣｕ膜の表面にモネル合金膜からなる第２層を形成するに際し、第２ロット以降、第１ロットの成膜における溶融固化により得られたモネル合金インゴットを繰り返し使用し、ロット毎に、残存するインゴットの質量の４質量％〜１５質量％にあたるＣｕを添加したうえで、成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】本願発明の課題は耐酸化性と耐摩耗性及び耐熱性を改善し格段に優れた耐酸化性皮膜及びこれを被覆した被覆部材を提供することである。
【解決手段】基材表面に被覆する皮膜の少なくとも１層は、金属成分としてＡｌとＮｂを含有する窒化物、炭化物、硼化物、酸化物、硫化物から選択される１種若しくは２種以上であり、金属成分の総和に対する原子比で、Ａｌ含有量が０．５１〜０．９５、Ｎｂ含有量が０．０５〜０．４９であることを特徴とする耐酸化性皮膜である。 （もっと読む）

【課題】被覆物となる基材上に硬質材料層を作成する方法を提供する。
【解決手段】作成された物は、基材（３０）を少なくとも部分的に覆うように基材（３０）の上に施与されている硬質材料層（３６）を包含する。硬質材料層は、金属元素Ａｌ、ＣｒおよびＳｉと、Ｂ、Ｃ、Ｎ、Ｏの群から選択される非金属元素とを含有する。非金属元素中の酸素の原子割合は、３０％よりも高い。硬質材料層を、マグネトロンスパッタリングにより基材上に堆積させる。 （もっと読む）

【課題】回転板の回転滑りを適切に解消可能な角度調整式のプラネタリ回転構造体およびそれを備えた真空成膜装置を提供する。
【解決手段】プラネタリ回転構造体３０は、複数の内歯１０ａが内周面の全域に亘り形成された環状の枠体１０と、内歯１０ａに噛み合う複数の外歯１１ａが外周面の全域に亘り形成された回転板１１と、内外歯１０ａ、１１ａが噛み合った状態で、内周面に沿う方向に回転板１１を枠体１０に対し摺接移動させる際に、内外歯１０ａ、１１ａの噛み合せにより回転板１１を回転させる駆動手段２０と、内外歯１０ａ、１１ａが噛み合った状態で回転板１１の傾角を調整可能な角度調整手段１３、１４と、を備え、角度調整手段１３、１４による回転板１１の傾角変更の際に、内外歯１０ａ、１１ａの噛み合い量を一定に保ちつつ外歯１１ａと内歯１０ａとが干渉しないよう、内外歯１０ａ、１１ａの状態が設定されている。 （もっと読む）

【課題】クラスターイオンアシストによる成膜方法において、成膜中の電子チャージによるフッ化物膜のフッ素欠損を防ぐ。
【解決手段】ホルダー２に保持された被処理基板Ｗに、電子ビーム蒸発源２０からの蒸発粒子２０ａとクラスターイオン生成装置３０からのクラスターイオン３０ａを入射させることで、クラスターイオンアシストによるフッ化物膜の成膜を行う。電子ビーム加熱源２２からの反跳電子が被処理基板Ｗに到達してしまうと膜形成に悪影響を及ぼすため、被処理基板Ｗに反跳電子が到達するのを防ぐための反跳電子制御板２３を設けて、被処理基板Ｗのチャージ電位を制御する。 （もっと読む）

【課題】ＳｉとＢを含有する皮膜の耐摩耗性と耐熱性を活かし、靭性を更に高めることにより、高温環境下においても、チッピングや膜剥離が発生し難く、長時間安定して使用可能な、優れた寿命を有する被覆部材を提供することを課題とする。
【解決手段】基材表面に硬質皮膜を被覆した被覆部材において、該硬質皮膜の少なくとも１層はＳｉとＢを含有し、該ＳｉとＢを含有する皮膜は、高Ｓｉ濃度、低Ｂ濃度である帯域Ａと、低Ｓｉ濃度、高Ｂ濃度である帯域Ｂであり、該帯域Ａ、Ｂの交互積み重ね構造を有し、該交互積み重ね構造が膜厚方向に１〜６０ｎｍの周期であり、該周期における帯域ＡのＳｉ濃度をＳｉｈ、帯域ＢのＳｉ濃度をＳｉｌとしたとき、Ｓｉｈ／Ｓｉｌが１．５以上であることを特徴とする被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】内燃機関用部品やマリン用部品の耐食性を簡便に大きく向上させる。
【解決手段】本発明による内燃機関用部品は、少なくともクロムを含む金属材料から形成された部品本体５と、部品本体５の外側を覆うセラミックス膜１０とを備えている。部品本体５は、内部よりもクロム濃度の高い表面層５ａを有している。 （もっと読む）

【課題】低い摩擦係数を示すとともに耐焼付き性に優れた低摩擦複合膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】本発明の低摩擦複合膜の成膜方法は、成膜炉と、少なくとも炭素からなる炭素ターゲット１１と、硫化物からなる硫化物ターゲット１２，１４と、金属原子を含む金属ターゲット１３と、を成膜炉内でリング状に配列するターゲット固定手段１０と、基材（Ａ，Ｂ）を保持するとともに基材を移動させて基材と対向するターゲット１１〜１４を連続的に変更する基材保持手段２０と、少なくともターゲット固定手段１０に結線されターゲット１１〜１４を放電させる電源装置と、を具備するスパッタリング装置を用い、電源装置を操作してターゲット１１〜１４を放電させるとともに基材保持手段１０により基材を移動させて、非晶質炭素と前記硫化物を構成する原子と金属原子とを基材の表面に微視的かつ周期的に順次堆積させる。 （もっと読む）

【課題】耐焼付き性や低い摩擦係数を示すとともに圧縮機用途に優れた摺動部品の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の圧縮機用摺動部品の製造方法は、成膜炉と、少なくとも炭素からなる炭素ターゲット１１と、硫化物からなる硫化物ターゲット１２，１４と、金属原子を含む金属ターゲット１３と、を成膜炉内でリング状に配列するターゲット固定手段１０と、部品本体（Ａ、Ｂ）を保持するとともに部品本体を移動させて部品本体と対向するターゲット１１〜１４を連続的に変更する部品保持手段２０と、少なくともターゲット固定手段１０に結線されターゲット１１〜１４を放電させる電源装置と、を具備するスパッタリング装置を用い、電源装置を操作してターゲット１１〜１４を放電させるとともに部品保持手段１０により部品本体を移動させて、非晶質炭素と前記硫化物を構成する原子と金属原子とを部品本体の表面に微視的かつ周期的に順次堆積させる。 （もっと読む）